一种基于微环腔实现多种共振线型的紧凑光子结构制造技术

本发明专利技术涉及一种基于微环腔实现多种共振线型的紧凑光子结构，包括直波导(1)、微环腔(2)和衬底(4)；直波导(1)和微环腔(2)位于衬底(4)之上，且两者之间设有间隙(3)；所述直波导(1)上设有两个空气孔；所述直波导(1)和微环腔(2)的厚度d相等，且宽度w相等，相互采用侧向耦合。有益效果包括：光子结构紧凑，不仅可以在波导‑微环腔耦合结构的传输谱特定共振波长处实现多种共振线型，而且在较宽波段范围内的多个共振波长处也能够具备这一特征，可满足利用单个微环腔实现多种应用的需求。

Compact photonic structure based on micro ring resonator with multiple resonant lines

The invention relates to a compact photonic structure of micro ring resonator to achieve a variety of resonance based on linear, including straight waveguide micro ring resonator (1), (2) and the substrate (4); (1) and straight waveguide micro ring resonator (2) is arranged on the substrate (4), and a gap is arranged between the two (3); the straight waveguide (1) is provided with two air holes; the straight waveguide micro ring resonator (1) and (2) the thickness is equal to D, and the width of W is equal to each other by lateral coupling. The beneficial effects include: photonic compact structure, not only in micro ring waveguide transmission cavity coupling structure to achieve a variety of specific spectrum at the resonance wavelength resonance line, and a plurality of resonant wavelength in a wide wavelength range can also have this feature, which can meet with the use of a single micro ring resonator to achieve a variety of application needs.

【技术实现步骤摘要】
一种基于微环腔实现多种共振线型的紧凑光子结构
本专利技术属于光电子集成芯片领域，具体涉及一种基于光子芯片上微环腔可实现多种共振线型的紧凑光子结构。
技术介绍
微环腔是一种典型的光学谐振腔。具有非常紧凑的结构尺寸、较高的品质因子和消光比，是构成光电子集成芯片的重要光子器件之一。通过与其它主动或被动器件的集成，微环腔已被广泛应用于片上光互连、光传感芯片等领域。在光子芯片上，微环腔的功能实现一般需与一根通道波导侧耦合，即构成波导-微环腔耦合结构，以使微环腔中共振光场信号可测量。光在耦合进入直波导后，在波导与微环腔靠近的部位通过空气间隙直接耦合进入微环腔，在波导-微环腔耦合结构的传输谱线上，表现出在共振波长处的凹陷线型。在数学上可以用洛伦兹线型来描述这段凹陷。对于波导-微环腔耦合结构来说，通过探测凹陷中心位置的移动或是由于中心位置移动引起的功率变化，就可以实现诸如传感、滤波、调制以及开关等功能。因此，这些功能的实现很大程度上取决于这些凹陷的线宽以及陡峭程度。提高微环腔的品质因子，可以减小这些凹陷的线宽，从而实现诸如提高传感灵敏度的作用。但品质因子的提高总是有限的。另一种提高微环腔功能的手段是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于微环腔实现多种共振线型的紧凑光子结构，其特征在于包括直波导(1)、微环腔(2)和衬底(4)；直波导(1)和微环腔(2)位于衬底(4)之上，且两者之间设有间隙(3)；所述直波导(1)上设有两个空气孔；所述直波导(1)和微环腔(2)的厚度d相等，且宽度w相等，相互采用侧向耦合。

【技术特征摘要】
1.一种基于微环腔实现多种共振线型的紧凑光子结构，其特征在于包括直波导(1)、微环腔(2)和衬底(4)；直波导(1)和微环腔(2)位于衬底(4)之上，且两者之间设有间隙(3)；所述直波导(1)上设有两个空气孔；所述直波导(1)和微环腔(2)的厚度d相等，且宽度w相等，相互采用侧向耦合。2.根据权利要求1基于微环腔实现多种共振线型的紧凑光子结构，其特征在于：所述微环腔(2)的形状为圆环或椭圆环。3.根据权利要求1基于微环腔实现多种共振线型的紧凑光子结构，其特征在于：所述直波导(1)和微环腔(2)采用相对其衬底和包层具有高折射率的材料。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘雪涛，顾林棚，赵建林，赵晨阳，郑建邦，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61