基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导制造技术
Elliptic crossed waveguide based on multimode interference principle
A cross elliptical waveguide based on multimode interference principle, including vertical and horizontal part part, consistent the vertical part and the transverse part of the structure, including front straight waveguide region, nose cone pattern matching region, oval multimode interference region, back cone pattern matching device area, rear straight waveguide region, the the horizontal and vertical section and vertical cross center symmetry, symmetry center at the center of the oval multimode interference region. The invention provides a crosstalk and loss of inhibition, compact structure, simple manufacturing process, easy implementation and versatility, robustness, low cost based on elliptical cross waveguide multimode interference principle.
【技术实现步骤摘要】
基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导
本专利技术属于光通信
，尤其是用于集成光路，以及含有十字光波导的微纳米级集成光通信器件中，涉及一种基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导。
技术介绍
光波导是集成光路的基本单元，基于Silicon-On-Insulator(SOI)材料的光波导，因其所具有的约束光信号能力强、传输损耗低、制作工艺与标准COMS工艺兼容、可批量制作等优点，已成为集成光学器件和系统(特别是片上系统)中最常用的光波导材料。十字交叉光波导结构是光信号传输以及构建SOI基集成光学器件的常用结构，比如实现多通道的光通信、或是基于微环谐振腔的滤波和波分复用，必须使用大量的十字交叉波导单元。然而SOI结构的高折射率差会使其导模的空间角变的很大，从而使得光在光波导的交叉部位产生严重的散射。普通SOI基矩形十字交叉波导的单次损耗和串扰分别为1dB至1.5dB和-10dB至-15dB。很显然，光信号多次经过这种普通十字交叉波导所累积的损耗和串扰是难以接受的，因此，专利技术一种低串扰低损耗、结构紧凑、与标准微结构制作技术适配的波导交叉单元是非常有意义的。本专利技术...
【技术保护点】
一种基于椭圆形多模干涉原理的十字交叉波导，包括竖向部分和横向部分，所述竖向部分和横向部分结构上完全一致，其特征在于：依次包括前端直波导区域、前端锥形模式匹配器区域、椭圆形多模干涉区域、后端锥形模式匹配器区域、后端直波导区域组成，所述横向和竖向部分垂直交叉且中心对称，对称中心在椭圆形多模干涉区域的中心。
【技术特征摘要】
1.一种基于椭圆形多模干涉原理的十字交叉波导，包括竖向部分和横向部分，所述竖向部分和横向部分结构上完全一致，其特征在于：依次包括前端直波导区域、前端锥形模式匹配器区域、椭圆形多模干涉区域、后端锥形模式匹配器区域、后端直波导区域组成，所述横向和竖向部分垂直交叉且中心对称，对称中心在椭圆形多模干涉区域的中心。2.如权利要求1所述的基于椭圆形多模干涉原理的十字交叉波导，其特征在于：所述竖向部分或横向部分的前端直波导区域的前端为光的输入端口，光波由输入端口输入，依次经过前端直波导区域、前端锥形模式匹配器区域、椭圆形多模干涉区域、后端锥形模式匹配器区域、后端直波导区域，然后输出，所述后端直波导区域的后端...
【专利技术属性】
技术研发人员：乐孜纯，孙琛，徐自力，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。