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一种基于微环腔实现多种共振线型的紧凑光子结构制造技术
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文档序号:15878196
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本发明涉及一种基于微环腔实现多种共振线型的紧凑光子结构,包括直波导(1)、微环腔(2)和衬底(4);直波导(1)和微环腔(2)位于衬底(4)之上,且两者之间设有间隙(3);所述直波导(1)上设有两个空气孔;所述直波导(1)和微环腔(2)的厚...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。
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