A lifetime test probe and lifetime tester, which belongs to the technical field of semiconductor test the lifetime less, the probe comprises a shell body and body detection, which is characterized in that the cylindrical cavity is arranged in the middle of the shell body, a cylindrical cavity on both sides symmetrically arranged wire pipe communicated with the wire line is arranged at the lower end of the laser. Which is communicated with the accommodating chamber, to accommodate the indoor side laser laser irradiation channel end; detecting body from top to bottom set lead holding section and probe clamp section, probe clamping section before and after fixed symmetrically arranged clamping piece, a fixed clamp in the clamping probe, the tester comprises a control module and the control module is electrically connected with the power supply module, AD module and counting module, the invention has the beneficial effects, the minority carrier lifetime tester probe overall stable structure and layout The utility model has the advantages of compactness and rationality, portability of the tester and higher accuracy of testing, and is suitable for popularization and application.
【技术实现步骤摘要】
一种少子寿命测试仪探头和少子寿命测试仪
本专利技术涉及半导体少子寿命测试
,尤其涉及一种少子寿命测试仪探头和少子寿命测试仪。
技术介绍
少数载流子寿命(简称少子寿命)是半导体材料的一项重要参数,它对半导体器件的性能、太阳能电池的效率都有重要的影响。半导体材料的少子寿命是评估半导体材料的重要参数之一。作为工艺调整以及材料区分的依据,少子寿命的准确测量具有重要的实际意义。微波光电导衰退法测试少子寿命,包括光注入产生电子-空穴对和微波探测信号的变化两个过程。激光注入产生电子-空穴对,样品电导率增加,当撤去外界光注入时,电导率随时间指数衰减,这种趋势放映了少子的衰减趋势,则可以通过观测电导率随时间变化的趋势可以测少子的寿命。现有的测试设备存在以下问题:第一,由于探头采用非接触式测量,即采用涡流法采集激光器照射时的电阻率变化,适用于薄片类半导体的测量,而且当测量含不平整表面的样品时,不平整表面填充的载流子经过较长时间后才能释放出来,使测量得出的结果不准确,误差大;第二,市场上大多为进口设备,价格昂贵且后期维修技术受限;第三,现有探头体积大,呈圆柱形,使用时需要把被测硅料搬到操作台上进行测量,一手持探头接触硅料,一手持鼠标操作上位机,探头一般是固定在操作台上,主机体积和重量大,不能随意移动,使用不方便。
技术实现思路
为了解决上述技术问题,本专利技术提供了一种少子寿命测试仪探头和少子寿命测试仪,有效解决了目前测试少子寿命用探头和测试仪体积大、使用不方便,而且大都为非接触式测量以及测量半导体材料表面不平整使测量误差大的问题,目的在于,提供一种少子寿命测试仪探头和少子寿 ...
【技术保护点】
一种少子寿命测试仪探头,包括探头本体,探头本体包括外壳体(1)和探测体(2),其特征在于,所述外壳体(1)中部设置圆柱形空腔(11),圆柱形空腔(11)与探测体(2)相配合,圆柱形空腔(11)的左右两侧对称设置有与之相通的导线管路(12),导线管路(12)与圆柱形空腔(11)之间设置有手持部(13),导线管路(12)下端设置与之相通的激光器容纳室(14),激光器容纳室(14)内安装有激光器(16),激光器容纳室(14)内侧端部设置激光照射通道(15),激光照射通道(15)与圆柱形空腔(11)底部相通;所述探测体(2)设置为圆柱形,由上到下设置有导线容纳段(21)和探针夹持段(22),探针夹持段(22)内部前后对称设置有固定夹持件(23),固定夹持件(23)内夹持有探针(24)。
【技术特征摘要】
1.一种少子寿命测试仪探头,包括探头本体,探头本体包括外壳体(1)和探测体(2),其特征在于,所述外壳体(1)中部设置圆柱形空腔(11),圆柱形空腔(11)与探测体(2)相配合,圆柱形空腔(11)的左右两侧对称设置有与之相通的导线管路(12),导线管路(12)与圆柱形空腔(11)之间设置有手持部(13),导线管路(12)下端设置与之相通的激光器容纳室(14),激光器容纳室(14)内安装有激光器(16),激光器容纳室(14)内侧端部设置激光照射通道(15),激光照射通道(15)与圆柱形空腔(11)底部相通;所述探测体(2)设置为圆柱形,由上到下设置有导线容纳段(21)和探针夹持段(22),探针夹持段(22)内部前后对称设置有固定夹持件(23),固定夹持件(23)内夹持有探针(24)。2.根据权利要求1所述的少子寿命测试仪探头,其特征在于:所述外壳体(1)设置为左右对称的扁平塑料壳体,外壳体(1)上的手持部(13)设置为半圆形空腔,所述外壳体(1)内部的激光器容纳室(14)与圆柱形空腔(11)之间的夹角设置为0°~90°。3.根据权利要求2所述的少子寿命测试仪探头,其特征在于:所述圆柱形空腔(11)左右两侧的激光照射通道(15)之间的交点与两探针(24)之间的中间位置重合。4.根据权利要求1所述的少子寿命测试仪探头,其特征在于:所述导线容纳段(21)和探针夹持段(22)以螺旋连接方式相连,探针夹持段(22)内卡接有扁平的固定夹持件(23),固定夹持件(23)包括夹持架(231),夹持架(231)上端设置有导线焊接部(232),夹持架(231)内部设置有弹形部件(233),弹形部件(233)下端与探针(24)接触。5.根据权利要求4所述的少子寿命测试仪探头,其特征在于:所述夹持架(231)下部对称设置有向内弯折的夹持支脚(234)。6.根据权利要求1所述的少子寿命测试仪探头,其特征在于:所述导线容纳段(21)外部设置有防滑纹。7.一种包括权利要求1~6任意一项所述探头的少子寿命测试仪,...
【专利技术属性】
技术研发人员:李杰,于友,刘世伟,石坚,
申请(专利权)人:山东辰宇稀有材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:山东,37
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