一种硅处理碱洗液浸泡装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于浸泡装置技术领域，具体涉及一种硅处理碱洗液浸泡装置，该装置包括碱洗槽、浸泡篮和旋转升降机构；碱洗槽顶部设有支撑架，支撑架内壁设有旋转升降机构，旋转升降机构连接浸泡篮，浸泡篮位于碱洗槽正上方，使用状态下，浸泡篮位于碱洗槽内；所述浸泡篮上设有若干条形镂空，本装置通过设置碱洗槽、浸泡篮和旋转升降机构，有利于待处理硅片浸泡完全，提高浸泡效果，升降机构和丝杆可带动浸泡篮上下升降，灵活调节位置，旋转电机可带动浸泡篮进行旋转角度，既能提高浸泡效果，又能方便取料。便取料。便取料。

【技术实现步骤摘要】
一种硅处理碱洗液浸泡装置


[0001]本技术属于浸泡装置
，具体涉及一种硅处理碱洗液浸泡装置。

技术介绍

[0002]由于具有优良的半导体性质，硅可以用来制作高纯半导体、光导纤维通信材料等，被广泛应用于航空航天、能源、电子电气等行业。
[0003]为了节能降耗，硅处理再利用势在必行。硅处理再利用通常是将使用后的硅材料进行破碎形成片材，再对硅片进行表面处理除杂，进一步后处理再利用。除杂过程通常是将硅片浸泡到碱洗液中进行清洗，该浸泡过程一般为静止状态，浸泡不均匀，除杂效果不佳；同时除杂后的硅片不能从碱洗液中方便地取出。

技术实现思路

[0004]针对现有浸泡装置除杂效果差、收取不便的问题，本技术提供一种硅处理碱洗液浸泡装置，浸泡效果好、除杂效果佳、硅片收取方便。
[0005]本技术的技术方案为：
[0006]一种硅处理碱洗液浸泡装置，包括碱洗槽、浸泡篮和旋转升降机构；碱洗槽顶部设有左、右两个支撑架，支撑架内壁均设有旋转升降机构，旋转升降机构连接浸泡篮，浸泡篮位于碱洗槽正上方，使用状态下，浸泡篮位于碱洗槽内；
[0007]所述浸泡篮设有若干条形镂空；
[0008]所述旋转升降机构包括第一安装座，第一安装座内设有升降电机，升降电机输出端连接丝杆，丝杆上活动设有丝母座，丝母座连接第二安装座，第二安装座内设有旋转电机，旋转电机输出端连接转轴，转轴另一端连接浸泡篮；所述转轴为Z型结构。
[0009]进一步地，浸泡篮顶部设有进料口，进料口处转动连接活动门，且浸泡篮上设有与活动门相匹配的门栓。通过开启活动门，实现待处理硅片的进料和收取，关闭活动门，开启浸泡工序。
[0010]进一步地，左、右两个支撑架之间还设有接料槽，使用时，接料槽设置于碱洗槽和浸泡篮之间。当需要卸料时，放置接料槽，翻转浸泡篮，开启活动门，经碱洗液清洗后的硅片落入接料槽中放置，便于收取。
[0011]进一步地，接料槽两侧设有突起，且支撑架上设有凹槽，突起和凹槽配合连接。接料槽方便置于支撑架上，当接料槽内的硅片需转移进行后处理时，可直接取下接料槽。
[0012]进一步地，接料槽的底部设有过滤网。浸泡篮浸泡完成后会夹带少量的碱洗液，卸料时此部分碱洗液由过滤网漏入碱洗槽中，可回收利用。
[0013]进一步地，碱洗槽底部设有出液口，出液口上设有阀门。当需要更换碱洗槽中的碱洗液时，打开阀门，碱洗槽中的废液由出液口流入排污管道中。
[0014]进一步地，浸泡篮的长度与碱洗槽的长度比为0.5
‑
0.7，浸泡篮的宽度与碱洗槽的宽度比为0.5
‑
0.7。确保浸泡清洗效果。
[0015]本技术的工作原理为：
[0016]碱洗槽中注满碱洗液，将待处理硅片放入浸泡篮中，关闭活动门，升降电机驱动丝杆进实现丝母座下降，浸泡篮随之下降，最终浸泡篮位于碱洗槽中进行浸泡，可持续或间隔控制旋转电机带动浸泡篮旋转，使得待处理硅片与碱洗液充分接触，有利于待处理硅片浸泡完全，提高浸泡效果；清洗完成后，升降电机实现浸泡篮上升，此时浸泡篮移出碱洗槽并位于碱洗槽上方，将接料槽安装于支撑架上的凹槽内，开启旋转电机翻转，当浸泡篮的活动门朝下时，开启活动门，浸泡篮中的硅片落入接料槽中，取下浸泡篮将除杂后的硅片转移至下一步工序，碱洗槽中的碱洗液可以重复利用多次，当碱洗槽中的杂质过多时，打开阀门，废液将由出液口流入排污管道。
[0017]本技术的有益效果在于，
[0018](1)通过设置碱洗槽、浸泡篮和旋转升降机构，有利于待处理硅片浸泡完全，提高浸泡效果，升降机构和丝杆可带动浸泡篮上下升降，灵活调节位置，旋转电机可带动浸泡篮进行旋转角度，既能实现接触充分，又能方便取料；通过配合设置接料槽，经碱洗液清洗后的硅片落入接料槽中放置，便于收取；
[0019](2)本技术提供的硅处理碱洗液浸泡装置，浸泡效果好、除杂效果佳、硅片收取方便。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1是实施例1提供的硅处理碱洗液浸泡装置的结构示意图；
[0022]图2是实施例1提供的旋转升降机构的结构示意图；
[0023]图3是实施例1提供的碱洗槽的结构示意图；
[0024]图4是实施例2提供的硅处理碱洗液浸泡装置的结构示意图；
[0025]图中，1、碱洗槽；2、支撑架；3、旋转升降机构；4、浸泡篮；5、条形镂空；6、活动门；7、门栓；8、第一安装座；9、升降电机；10、丝杆；11、丝母座；12、第二安装座；13、旋转电机；14、转轴；15、出液口；16、阀门；17、接料槽；18、突起；19、凹槽；20、过滤网。
具体实施方式
[0026]下面结合具体实施例对本技术进行进一步描述，但本技术的保护范围并不仅限于此。
[0027]实施例1
[0028]一种硅处理碱洗液浸泡装置，包括碱洗槽1、浸泡篮4和旋转升降机构3；
[0029]碱洗槽1可为顶部开口的箱体结构，碱洗槽1底部设有出液口15，出液口上设有阀门16；当需要更换碱洗槽中的碱洗液时，打开阀门，碱洗槽中的废液由出液口流入排污管道中；
[0030]浸泡篮4可为半圆柱形结构，也可为其他形状，既可以满足浸泡需要，又可以满足旋转卸料要求即可；浸泡篮设有若干条形镂空5，条形镂空5避免硅片从浸泡篮4中掉落，同
时实现碱洗液能够与浸泡篮4中的待处理硅片充分接触，提高浸泡效果；浸泡篮4顶部设有进料口，进料口处转动连接活动门6，且浸泡篮4上设有与活动门6相匹配的门栓7；通过开启活动门6，实现待处理硅片的进料和收取，关闭活动门6，开启浸泡工序；
[0031]旋转升降机构3包括第一安装座8，第一安装座8内设有升降电机9，升降电机9输出端连接丝杆10，丝杆10上活动设有丝母座11，丝母座11连接第二安装座12，第二安装座12内设有旋转电机13，旋转电机13输出端连接转轴14，转轴14另一端连接浸泡篮4；所述转轴14为Z型结构；
[0032]碱洗槽1顶部设有左、右两个支撑架2，每个支撑架2内壁同一位置均设有旋转升降机构3，旋转升降机构3连接浸泡篮4，浸泡篮4位于碱洗槽1正上方，其中，浸泡篮的长度与碱洗槽长度比为0.7，浸泡篮的宽度与碱洗槽的宽度比为0.7，满足浸泡篮升降和翻转，使用状态下，浸泡篮4位于碱洗槽1内。
[0033]实施例2
[0034]在实施例1的基础之上，两个支撑架2之间还设有接料槽17，接料槽17呈箱体状，接料槽17的底部设有过滤网20。浸泡篮4浸泡完成后会夹带少量的碱洗液，卸料时此部分碱洗液由过滤网20漏入碱洗槽1中，可回收利用，接料槽17顶部两侧设有突起18，左、右两个支本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅处理碱洗液浸泡装置，其特征在于，包括碱洗槽(1)、浸泡篮(4)和旋转升降机构(3)；碱洗槽(1)顶部设有左、右两个支撑架(2)，支撑架(2)内壁设有旋转升降机构(3)，旋转升降机构(3)连接浸泡篮(4)，浸泡篮(4)位于碱洗槽(1)正上方，使用状态下，浸泡篮(4)位于碱洗槽(1)内；所述浸泡篮(4)上设有若干条形镂空(5)。2.根据权利要求1所述的一种硅处理碱洗液浸泡装置，其特征在于，所述旋转升降机构(3)包括第一安装座(8)，第一安装座(8)内设有升降电机(9)，升降电机(9)输出端连接丝杆(10)，丝杆(10)上活动设有丝母座(11)，丝母座(11)连接第二安装座(12)，第二安装座(12)内设有旋转电机(13)，旋转电机(13)输出端连接转轴(14)，转轴(14)另一端连接浸泡篮(4)；所述转轴(14)为Z型结构。3.根据权利要求1所述的一种硅处理碱洗液浸泡装置，其特征在于，浸泡篮(4)顶部设有进料口，进料口处转动连接活动门(6)，且浸...

【专利技术属性】
技术研发人员：石坚，刘世伟，
申请(专利权)人：山东辰宇稀有材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：