一种单晶硅棒加工用酸洗装置制造方法及图纸

技术编号:32063548 阅读:22 留言:0更新日期:2022-01-27 15:11
本实用新型专利技术公开了一种单晶硅棒加工用酸洗装置,属于酸洗设备技术领域,包括工作台,工作台的上端通过转环转动连接有酸洗罐,工作台的上端固定连接有两个固定杆,两个固定杆的上端固定连接有顶板,顶板的下侧设置有多个安装筒,顶板上设置有转动机构,转动机构与多个安装筒相连以实现多个单晶硅棒同时酸洗,最终可以实现通过安装筒与酸洗罐的相反转动优化了单晶硅棒酸洗的方式。单晶硅棒酸洗的方式。单晶硅棒酸洗的方式。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅棒加工用酸洗装置


[0001]本技术涉及酸洗设备
,更具体地说,涉及一种单晶硅棒加工用酸洗装置。

技术介绍

[0002]单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。单晶硅材料制造要经过如下过程:石英砂

冶金级硅

提纯和精炼

沉积多晶硅锭

单晶硅

硅片切割。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。
[0003]现有的酸洗设备的大多都是将单硅晶棒放入酸洗罐内直接酸洗,酸洗方式较为单一,为了优化酸洗单硅晶棒的方式提出了一种单晶硅棒加工用酸洗装置。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的问题,本技术的目的在于提供一种单晶硅棒加工用酸洗装置,它可以实现通过安装筒与酸洗罐的相反转动优化了单晶硅棒酸洗的方式。
[0005]为解决上述问题,本技术采用如下的技术方案:
[0006]一种单晶硅棒加工用酸洗装置,包括工作台,所述工作台的上端通过转环转动连接有酸洗罐,所述工作台的上端固定连接有两个固定杆,两个所述固定杆的上端固定连接有顶板,所述顶板的下侧设置有多个安装筒,所述顶板上设置有转动机构,所述转动机构与多个安装筒相连以实现多个单晶硅棒同时酸洗。
[0007]作为本技术的一种优选方案,所述工作台的下端固定连接有支撑架,所述支撑架的下端固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出端活动贯穿工作台,且驱动电机的输出端上固定连接有圆板,所述圆板与酸洗罐固定连接。
[0008]作为本技术的一种优选方案,所述驱动电机的输出端固定连接有主动齿轮,所述支撑架的上端转动连接有第一转杆,所述第一转杆的表面固定连接有从动齿轮,所述从动齿轮与主动齿轮相啮合。
[0009]作为本技术的一种优选方案,所述支撑架的上端转动连接有第二转杆,所述第二转杆活动贯穿顶板,所述第一转杆和第二转杆的表面均固定连接有第一皮带轮,两个所述第一皮带轮的表面套设有第一传动皮带,且两个第一皮带轮之间通过第一传动皮带传动连接。
[0010]作为本技术的一种优选方案,所述转动机构包括第三转杆、第二皮带轮、第二传动皮带和连杆,所述第三转杆转动连接于顶板内,所述第二皮带轮设置为两个,两个所述第二皮带轮分别固定连接于第二转杆和第三转杆的表面,所述第二传动皮带套设于两个第二皮带轮的表面,且两个第二皮带轮通过第二传动皮带传动连接,所述连杆设置为多个,多个所述连杆固定连接于多个安装筒和第三转杆之间。
[0011]作为本技术的一种优选方案,所述工作台的下端固定连接有两个支撑腿,且
两个支撑腿对称设置。
[0012]相比于现有技术,本技术的优点在于:
[0013](1)本技术当需要使用本装置时,首先将酸洗溶液放入酸洗罐内,然后将单晶硅棒逐个放入安装筒内,启动驱动电机转动,驱动电机的转动通过圆板带动酸洗罐转动,同时驱动电机的转动带动主动齿轮转动,主动齿轮的转动带动第一转杆和从动齿轮转动,由于主动齿轮和从动齿轮相啮合,所以从动齿轮的转动方向与主动齿轮相反,第一转杆的转动通过第一皮带轮和第一传动皮带的相互配合带动第二转杆转动,第二转杆的转动通过第二皮带轮和第二传动皮带的相互配合带动第三转杆转动,第三转杆的转动通过连杆带动安装筒转动,此时安装筒与酸洗罐转动的方向相反,通过安装筒与酸洗罐的相反转动优化了单晶硅棒酸洗的方式。
[0014](2)本技术中,工作台的下端固定连接有两个支撑腿,且两个支撑腿对称设置,支撑腿是为了便于支撑工作台的,对称设置是为了便于优化稳定性的。
附图说明
[0015]图1为本技术的一种单晶硅棒加工用酸洗装置的主视立体图;
[0016]图2为本技术的一种单晶硅棒加工用酸洗装置的仰视立体图;
[0017]图3为本技术的一种单晶硅棒加工用酸洗装置的整体爆炸图;
[0018]图4为本技术的一种单晶硅棒加工用酸洗装置的转动机构爆炸图。
[0019]图中标号说明:
[0020]1、工作台;2、转环;3、酸洗罐;4、支撑架;5、驱动电机;6、圆板;7、主动齿轮;8、第一转杆;9、从动齿轮;10、第二转杆;11、第一皮带轮;12、第一传动皮带;13、固定杆;14、顶板;15、第三转杆;16、第二皮带轮;17、第二传动皮带;18、连杆;19、安装筒;20、支撑腿。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等,应做广义理解,例如“连接”,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]实施例:
[0025]请参阅图1

4,一种单晶硅棒加工用酸洗装置,包括工作台1,工作台1的上端通过转环2转动连接有酸洗罐3,工作台1的上端固定连接有两个固定杆13,两个固定杆13的上端固定连接有顶板14,顶板14的下侧设置有多个安装筒19,顶板14上设置有转动机构,转动机构与多个安装筒19相连以实现多个单晶硅棒同时酸洗。
[0026]本实施例中,转环2是为了便于转动连接酸洗罐3的,酸洗罐3是为了便于酸洗单晶硅棒的,固定杆13是为了便于固定顶板14的,顶板14是为了便于转动连接第三转杆15的,转动机构是为了便于带动多个安装筒19同时酸洗的。
[0027]具体的,工作台1的下端固定连接有支撑架4,支撑架4的下端固定连接有驱动电机5,驱动电机5的输出端活动贯穿工作台1,且驱动电机5的输出端上固定连接有圆板6,圆板6与酸洗罐3固定连接。
[0028]本实施例中,支撑架4是为了便于支撑第二转杆10的,驱动电机5是为了便于通过圆板6带动酸洗罐3转动的。
[0029]具体的,驱动电机5的输出端固定连接有主动齿轮7,支撑架4的上端转动本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅棒加工用酸洗装置,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的上端通过转环(2)转动连接有酸洗罐(3),所述工作台(1)的上端固定连接有两个固定杆(13),两个所述固定杆(13)的上端固定连接有顶板(14),所述顶板(14)的下侧设置有多个安装筒(19),所述顶板(14)上设置有转动机构,所述转动机构与多个安装筒(19)相连以实现多个单晶硅棒同时酸洗。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒加工用酸洗装置,其特征在于:所述工作台(1)的下端固定连接有支撑架(4),所述支撑架(4)的下端固定连接有驱动电机(5),所述驱动电机(5)的输出端活动贯穿工作台(1),且驱动电机(5)的输出端上固定连接有圆板(6),所述圆板(6)与酸洗罐(3)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒加工用酸洗装置,其特征在于:所述驱动电机(5)的输出端固定连接有主动齿轮(7),所述支撑架(4)的上端转动连接有第一转杆(8),所述第一转杆(8)的表面固定连接有从动齿轮(9),所述从动齿轮(9)与主动齿轮(7)相啮合。4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒加工用酸洗装置,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴宝佳江志荣陆沁
申请(专利权)人:江苏宇太光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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