气体分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种气体分析装置，气体分析装置包括主管道，用于通入待检测气体；检测装置，检测装置的检测端口与主管道连通，检测装置用于检测主管道内的待检测气体；清洁管道，与主管道的管段连通，清洁管道用于通入清洁气体。通过本发明专利技术提供的技术方案，能够解决现有技术中的气体清除时间长、清除效果差的问题。

Gas analysis unit

The present invention provides a gas analysis device, gas analysis device comprises a main pipe, used to pass into the gas to be detected; detection device, detection device for detecting port and the main pipeline is connected, detecting device for detecting the main pipeline of the gas to be detected; clean pipe, pipe is communicated with the competent Road, clean pipeline for pass clean gas. The technical proposal provided by the invention can solve the problems that the gas cleaning time is long and the scavenging effect is poor in the prior art.

【技术实现步骤摘要】
气体分析装置
本专利技术涉及气体分析
，具体而言，涉及一种气体分析装置。
技术介绍
目前，在对真空系统中的残余气体成分进行分析时，需要利用气体分析仪对真空系统进行分析。现有技术中是将气体分析仪连接在真空管道的支路上进行测量，测量后需要将真空管道内的残余气体清除，以避免对下次测量产生影响。现有技术中在对残余气体进行清除时，是对真空管道进行抽空处理，但其抽空时间长、且残余气体清除效果差。
技术实现思路
本专利技术提供一种气体分析装置，以解决现有技术中的气体清除时间长、清除效果差的问题。根据本专利技术提供的一种气体分析装置，气体分析装置包括主管道，用于通入待检测气体；检测装置，检测装置的检测端口与主管道连通，检测装置用于检测主管道内的待检测气体；清洁管道，与主管道的管段连通，清洁管道用于通入清洁气体。进一步地，主管道具有入口端和出口端，清洁管道设置在检测装置和入口端之间。进一步地，清洁气体为氮气。进一步地，气体分析装置还包括阀门，阀门设置在清洁管道上。进一步地，气体分析装置还包括分支管道，分支管道的第一端与主管道的管段连通，检测装置的检测端口与分支管道连接。进一步地，气体分析装置还包括导向装置，包括设置在主管道内的第一导向段及延伸至分支管道内的第二导向段，第一导向段与第二导向段连通，并将主管道内的检测气体导入至分支管道内。进一步地，主管道具有入口端和出口端，第一导向段的开口朝主管道的入口端设置。进一步地，导向装置包括收集部，收集部设置在第一导向段的开口处。进一步地，第二导向段与检测装置的检测端口之间具有预定距离。进一步地，第一导向段上设置有环形板，环形板为圆盘形或漏斗形，环形板为收集部。进一步地，主管道包括第一管道和第二管道，第一管道与第二管道相互连通，收集部设置在第一管道与第二管道的连接处，收集部通过卡簧分别与第一管道和第二管道卡接。应用本专利技术的技术方案，通过在主管道上设置清洁管道，使得在结束气体检测后，将清洁气体从清洁管道通入主管道，进而能够通过清洁气体带走残留在主管道内的残余气体。如此可方便、快捷地清除残留的检测气体，避免对下次检测带来干扰。附图说明构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本专利技术实施例提供的气体分析装置的结构示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、主管道；20、分支管道；30、检测装置；40、导向装置；41、收集部；50、清洁管道；51、阀门。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。如图1所示，本专利技术实施例为一种气体分析装置，该装置包括：主管道10、检测装置30以及清洁管道50。其中，主管道10用于通入检测气体，检测装置30的检测端口与主管道10连通，检测装置30用于检测主管道10内的待检测气体。清洁管道50与主管道10的管段连通，清洁管道50用于通入清洁气体。在进行完气体检测后，在清洁管道50内通入清洁气体，以通过清洁气体带走残余在装置内的检测气体。应用本专利技术提供的实施例，通过在主管道10上设置清洁管道50，使得在结束气体检测后，将清洁气体从清洁管道50通入主管道，进而能够通过清洁气体带走残留在主管道10内的残余气体。如此可方便、快捷地清除残留气体，避免对下次检测带来干扰。其中，在主管道10不通入检测气体的情况下，只通入清洁气体，能够通过清洁气体带走装置内的检测气体。可选地，为了进一步提高清除效果，将清洁管道50清洁管道50设置在检测装置30和入口端之间。可选地，为了避免对检测气体的检测数据产生干扰，选取氮气作为清洁气体。为了便于控制清洁气体流量，具体地，在清洁管道50上设置有阀门51。在具体操作过程中，先关闭检测气体的通入，然后打开氮气阀门51，并通过阀门51控制氮气的流量，逐渐将氮气通入到装置内，并保持一段时间，在此过程中，检测装置30持续工作，当检测装置检测不到检测气体时，关闭阀门51即可。具体地，该气体分析装置还包括分支管道20，分支管道20的第一端与主管道10的管段连通，检测装置30的检测端口与分支管道20连接。通过分支管道20给检测装置30提供连接端口，如此可便于检测装置30检测。在本专利技术实施例中，该装置还包括导向装置40，导向装置40包括设置在主管道10内的第一导向段及延伸至分支管道20内的第二导向段，第一导向段与第二导向段连通以将主管道10内的检测气体导入分支管道20内，如此可增加检测气体通入分支管道20内的流量，以便于检测装置30对检测气体进行检测。可选地，该检测装置30为残余气体分析仪。应用本专利技术的技术方案，通过在主管道10和分支管道20之间增加导向装置40，能够增加检测气体进入分支管道20的流量，进而使得位于分支管道20内的检测装置30检测的数据更加准确。具体地，该主管道10具有入口端和出口端，第一导向段的开口朝主管道10的入口端方向设置，以便于检测气体进入导向装置40内，并送入分支管道20。可选地，为了使由导向装置40导入的气体易被检测装置30检测到，将导向装置40的一端靠近检测装置30的检测端口设置。在本实施例中，为了进一步收集主管道10内的检测气体，在导向装置40的第一导向段上设置有收集部41，以便于收集检测气体并将检测气体送至检测装置30的检测端口处。可选地，导向装置40可选用导向管。第一导向段的轴线与第二导向段的轴线呈夹角设置，可选地，该夹角为90度。其中，收集部41可设置为漏斗形，且漏斗开口直径较大的一端方向朝向主管道10的入口端，如此能够增加进入导向装置40内的体积。也可将收集部41设置为圆盘形，且该圆盘环形设置在导向管上位于主管道10的端部。其中，环形板的直径可等于主管道10的内径，以使检测气体全部通过导向装置40进入分支管道20。在本实施例中，该主管道10包括第一管道和第二管道，并且第一管道与第二管道相互连通，将收集部41设置在第一管道与第二管道的连接处，如此可便于工作人员对导向装置40进行安装。收集部41可通过多种方式固定在主管道10内，可通过螺钉等连接件进行固定，也可通过焊接的方式固定在主管道10内，可选地，在本实施例中，采用卡簧将收集部41分别与第一管道和第二管道卡接。如图1所示，通入主管道10内的检测气体通过导向装置40进入分支管道20，从导向装置40流出后进入分支管道20，经检测装置30检测后，从分支管道20流入主管道10，最后随主管道10内的检测气体流向出口端。在做完实验后，通过清洁管道50清洁管内气体，能够节省清洁时间，如此可在保证下次实验准确率的同时提高清洁效率。通过本专利技术实施例提供的气体分析装置，能够提高气体分析准确率，并且，该装置结构简单，便于生产或操作，并且在进行完分析后，通过清洁管道50能够方便、快速的清除装置内的残余气体，降低了对后续检测带来的干扰。以上所述仅为本专利技术的优选实施例而已，并不用于限制本专利技术，对于本领域的技术人员来说，本专利技术可以有各种更改和变化。凡在本专利技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体分析装置，其特征在于，所述气体分析装置包括：主管道(10)，用于通入待检测气体；检测装置(30)，所述检测装置(30)的检测端口与主管道(10)连通，所述检测装置(30)用于检测所述主管道(10)内的所述待检测气体；清洁管道(50)，与所述主管道(10)的管段连通，所述清洁管道(50)用于通入清洁气体。

【技术特征摘要】
1.一种气体分析装置，其特征在于，所述气体分析装置包括：主管道(10)，用于通入待检测气体；检测装置(30)，所述检测装置(30)的检测端口与主管道(10)连通，所述检测装置(30)用于检测所述主管道(10)内的所述待检测气体；清洁管道(50)，与所述主管道(10)的管段连通，所述清洁管道(50)用于通入清洁气体。2.根据权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，所述主管道(10)具有入口端和出口端，所述清洁管道(50)设置在所述检测装置(30)和所述入口端之间。3.根据权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，所述清洁气体为氮气。4.根据权利要求1所述的气体分析装置，其特征在于，所述气体分析装置还包括：阀门(51)，所述阀门(51)设置在所述清洁管道(50)上。5.根据权利要求1至4中任一项所述的气体分析装置，其特征在于，所述气体分析装置还包括：分支管道(20)，所述分支管道(20)的第一端与所述主管道(10)的管段连通，所述检测装置(30)的检测端口与所述分支管道(20)连接。6.根据权利要求5所述的气体分析装置，其特征在于，所述气体分析装置还包括：导向装置(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：于甄，解金库，高建聪，
申请(专利权)人：张家港康得新光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32