The present invention provides a gas analysis device, gas analysis device comprises a main pipe, for the passage of gas detection; detection device, detection device for detecting port and the main pipe; guiding device is arranged on the main pipe for gas detection, port detection oriented to detection device. The technical proposal provided by the invention can solve the problem that the detection data is inaccurate in the prior art.
【技术实现步骤摘要】
气体分析装置
本专利技术涉及气体检测
,具体而言,涉及一种气体分析装置。
技术介绍
目前,在对真空系统中的残余气体成分进行分析时,需要利用气体分析仪对真空系统进行分析。现有技术中是将气体分析仪连接在真空管道的支路上,在进行检测时,由于气体在支路中的量较少,造成检测困难,并导致检测数据不准确。
技术实现思路
本专利技术提供一种气体分析装置,以解决现有技术中的检测数据不准确的问题。根据本专利技术提供的一种气体分析装置,气体分析装置包括主管道,用于通入检测气体;检测装置,检测装置的检测端口与主管道连通;导向装置,设置在主管道内,用于将检测气体导向到检测装置的检测端口。进一步地,导向装置包括设置在主管道内的第一导向段及延伸至检测装置的检测端口的第二导向段,第一导向段与第二导向段连通,第一导向段与第二导向段将主管道内的检测气体导入至检测端口处。进一步地,气体分析装置还包括分支管道,分支管道的一端与主管道的中部连通,分支管道的另一端与检测装置的检测端口连接,第二导向段设置在分支管道内。进一步地,导向装置包括设置在主管道内的第一导向管段及设置在分支管道内的第二导向管段,第一导向管段设置在主管道内,第二导向管段与检测装置的检测端口之间具有预定距离。进一步地,主管道具有入口端和出口端,第一导向段的开口朝主管道的入口端设置。进一步地,导向装置包括收集部,收集部设置在第一导向段的开口处。进一步地,第一导向段的轴线与第二导向段的轴线呈夹角设置。进一步地,第一导向段的轴线与第二导向段的轴线的夹角为90度。进一步地,第一导向段上设置有环形板,环形板为圆盘形或漏斗形,环形板为收集部。 ...
【技术保护点】
一种气体分析装置,其特征在于,所述气体分析装置包括:主管道(10),用于通入检测气体;检测装置(30),所述检测装置(30)的检测端口与所述主管道(10)连通;导向装置(40),设置在所述主管道(10)内,用于将所述检测气体导向到所述检测装置(30)的检测端口。
【技术特征摘要】
1.一种气体分析装置,其特征在于,所述气体分析装置包括:主管道(10),用于通入检测气体;检测装置(30),所述检测装置(30)的检测端口与所述主管道(10)连通;导向装置(40),设置在所述主管道(10)内,用于将所述检测气体导向到所述检测装置(30)的检测端口。2.根据权利要求1所述的气体分析装置,其特征在于,所述导向装置(40)包括设置在所述主管道(10)内的第一导向段及延伸至所述检测装置(30)的检测端口的第二导向段,所述第一导向段与所述第二导向段连通,所述第一导向段与所述第二导向段将所述主管道(10)内的检测气体导入至所述检测端口处。3.根据权利要求2所述的气体分析装置,其特征在于,所述气体分析装置还包括:分支管道(20),所述分支管道(20)的一端与所述主管道(10)的中部连通,所述分支管道(20)的另一端与所述检测装置(30)的检测端口连接,所述第二导向段设置在所述分支管道(20)内。4.根据权利要求3所述的气体分析装置,其特征在于,所述导向装置包括设置在所述主管道(10)内的第一导向管段及设置在所述分支管道(20)内的第二导向管段,所述第一导向管段设置在所述主管道(10)内,所述第二导向管段与所述检测装置(30)的检测...
【专利技术属性】
技术研发人员:于甄,解金库,高建聪,
申请(专利权)人:张家港康得新光电材料有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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