一种双波段探测器的制作方法技术

一种双面红外/紫外双波段探测器制作方法，通过红外探测区以及紫外探测区的结构和位置的设置，紫外探测区域在正面入射光探测时使用正面入光p－i－n结构，在背面入射光探测时使用背面入光p－i－n结构，红外探测区域分别使用衬底正面和背面的探测结构进行探测，使制作的双面红外/紫外双波段探测器，能够对于正面/背面入射的红外/紫外光都能够进行探测，并且红外和紫外光探测区域互不干扰，从而实现了双面探测的功能。

【技术实现步骤摘要】
一种双波段探测器的制作方法
本专利技术涉及半导体器件的
，尤其是涉及一种双面红外/紫外双波段探测器。
技术介绍
紫外光是指波长范围为10nm-400nm的电磁辐射，其光谱在可见光中紫光的外侧。紫外探测技术可广泛的用于导弹制导系统、紫外通信技术、生物医药分析、臭氧监测、紫外树脂固化、燃烧工程、太阳照度监测、公安侦察等非常广泛的领域。随着科技的发展，紫外探测技术在军事和民用方面均得到的广泛的应用。红外光是指波长范围在700nm~1mm的电磁辐射，对应的光子能量范围1.24meV~1.7eV。任何温度高于绝对零度的物体都在不停地发射红外辐射，物体的温度越高所发射的红外辐射波长越短，反之温度越低发射的红外辐射波长越长。红外探测技术在气象预报、地貌学、环境监测、遥感资源调查、煤矿井下测温和测气中及隐蔽火源探测、消防和石化报警以及医疗和森林火灾预报中的都得到了广泛的应用。紫外光在近地面空气中衰减较快，有效的探测距离在500m左右，红外光可对目标实行远距离识别和追踪，然而空气中该波段背景辐射强度较大。如果能够同时获取紫外和红外两个波段的信息，就能够实现远距离和近距离的监控，就能够提高对目标的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双面红外/紫外双波段探测器制作方法，包括如下步骤：（1）通过MOCVD法在衬底上表面生长N型GaN层；（2）通过MOCVD法在N型GaN层上第一区域上依次生长i型GaN层以及P型GaN层；（3）通过溶胶－凝胶法在N型GaN层上第二区域上依次生长SiO2钝化层，多孔SO2隔热层，红外热吸收层以及PZT薄膜层；（5）通过MOCVD法在衬底下表面对应第二区域的位置生长GaN缓冲层；（6）通过溶胶－凝胶法在GaN缓冲层外依次生长SiO2钝化层，多孔SO2隔热层，红外热吸收层以及PZT薄膜层；（7）通过IPC刻蚀得到N型GaN层左侧台面，以及第一区域与第二区域之间的间隔；（8）通过电子束蒸发在N型G...

【技术特征摘要】
1.一种双面红外/紫外双波段探测器制作方法，包括如下步骤：（1）通过MOCVD法在衬底上表面生长N型GaN层；（2）通过MOCVD法在N型GaN层上第一区域上依次生长i型GaN层以及P型GaN层；（3）通过溶胶－凝胶法在N型GaN层上第二区域上依次生长SiO2钝化层，多孔SO2隔热层，红外热吸收层以及PZT薄膜层；（5）通过MOCVD法在衬底下表面对应第二区域的位置生长GaN缓冲层；（6）通过溶胶－凝胶法在GaN缓冲层外依次生...

【专利技术属性】
技术研发人员：张清，
申请(专利权)人：张清，
类型：发明
国别省市：山东,37