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一种双面红外/紫外双波段探测器制作方法，通过红外探测区以及紫外探测区的结构和位置的设置，紫外探测区域在正面入射光探测时使用正面入光p－i－n结构，在背面入射光探测时使用背面入光p－i－n结构，红外探测区域分别使用衬底正面和背面的探测结构进行...
该专利属于张清所有，仅供学习研究参考，未经过张清授权不得商用。

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