多定位平台的微纳操作系统方案设计技术方案

多定位平台的微纳操作系统方案设计。微纳操作控制器的操作范围小、种类单一，效率不高，因此提出一种多定位平台的操作系统实现对不同被测物的操作，各平台采用不同的定位方法实现对被测物的精细定位。本发明专利技术中：定位平台（1）对被测物的放置及定位；伺服电机（2）调整定位平台和操作器；旋转盘1（3）旋转操作器对不同平台进行操作；交叉移动平台（4）移动操作器实现对每个平台的操作；CCD相机、光学显微镜（5）辅助操作探针进行粗定位；光源照明系统（6）提供照明，方便操作进行；微夹持器（7）夹持并旋转探针；当相机对被测物进行提取分析之后，通过转盘2（8）使探针与相机位置互换，完成操作任务。本发明专利技术用于微纳操作控制领域。

【技术实现步骤摘要】
多定位平台的微纳操作系统方案设计
本专利技术属于微纳操作控制领域中多定位操作平台的设计方案。
技术介绍
在纳米科学与
，纳米定位技术是纳米测量和原子操作工程研究及走向产业化的前提条件和工作基础。传统的定位操作平台采用单平台，所以对于被测物的类型有所局限，系统经济效率不高，且当整个操作系统成品在确定的情况下很难对它进行修改，所以充分考虑的情况下对系统给予实现对不同类被测物的机会，提高经济效益，例如对微小零件检测，多操作定位平台就能提高很大的灵活性。基于此，提出多定位操作平台的微纳操作系统方案设计，该设计由传统的单定位操作平台增加为四个，采用对称分布，使机构更加紧凑，有利于提高系统的灵活性，实现更广的应用领域。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种多定位操作平台系统的设计方案。该方案采用4定位操作平台，对称分布，其中：该系统采用多定位操作平台来实现不同操作物的定位操作，合理分配操作腔内的空间，均匀分布，运动控制部分采用三轴运动平台作为执行机构，通过控制X轴，Y轴实现测量视场的自动移动转移，通过控制Z轴，使载物台上下运动，实现自动聚焦。被设计的执行机构可以沿机身进行十字移动，以对各个本文档来自技高网...

【技术保护点】
多定位平台的微纳操作系统方案设计，其特征在于，该系统采用多定位操作平台来实现不同操作物的定位操作，合理分配操作腔内的空间，均匀分布，运动控制部分采用三轴运动平台作为执行机构，通过控制X轴，Y轴实现测量视场的自动移动转移，通过控制Z轴，使操作臂上下运动，实现自动聚焦,被设计的执行机构可以沿机身进行十字移动，以对各个定位平台进行操作，使空间得到充分利用，且操作效率高；所述的定位平台（1），用于对被测物的放置以及定位；所述的伺服电机（2），用于实现三维的运动控制，调整定位平台和操作器；所述的旋转盘1（3），用于对操作器的方向旋转，来对不同操作平台进行操作；所述的交叉移动平台（4），用于移动操作器，以...

【技术特征摘要】
1.多定位平台的微纳操作系统方案设计，其特征在于，该系统采用多定位操作平台来实现不同操作物的定位操作，合理分配操作腔内的空间，均匀分布，运动控制部分采用三轴运动平台作为执行机构，通过控制X轴，Y轴实现测量视场的自动移动转移，通过控制Z轴，使操作臂上下运动，实现自动聚焦,被设计的执行机构可以沿机身进行十字移动，以对各个定位平台进行操作，使空间得到充分利用，且操作效率高；所述的定位平台（1），用于对被测物的放置以及定位；所述的伺服电机（2），用于实现三维的运动控制，调整定位平台和操作器；所述的旋转盘1（3），用于对操作器的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东洁，王倩倩，宋贺，
申请(专利权)人：哈尔滨理工大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23