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多定位平台的微纳操作系统方案设计。微纳操作控制器的操作范围小、种类单一,效率不高,因此提出一种多定位平台的操作系统实现对不同被测物的操作,各平台采用不同的定位方法实现对被测物的精细定位。本发明中:定位平台(1)对被测物的放置及定位;伺服电机...
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