废气处理设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种废气处理设备，为电浆式废气处理设备，包括：第一反应腔，为轴线竖直的管状腔体，上端具有配管端盖，下端具有带有中心孔的下端盖；第二反应腔，为轴线竖直的管状腔体，通过所述中心孔连接于第一反应腔的下端；以及配管，配接于所述配管端盖；第一反应腔上端周缘内侧开有入水口，用以导入沿第一反应腔内壁下行的水，并流入所述第二反应腔。依据本实用新型专利技术的废气处理设备使用寿命比较长。

Waste gas treatment equipment

The utility model discloses a waste gas treatment equipment, including plasma type exhaust gas treatment equipment, first reaction chamber, for the vertical axis of the tubular cavity, the upper end is provided with pipe end cover, a lower end is provided with a central hole of the lower cover; the second reaction chamber, for the vertical axis of the tubular cavity, the lower end is connected to the first reaction chamber through the center hole; and the pipe is matched and connected to the pipe end cover; the first reaction cavity periphery are arranged on the inner side of the water inlet for the introduction of the first reaction chamber wall along the downstream of the water, and into the second reaction chamber. The waste gas treatment equipment according to the utility model has a long service life.

【技术实现步骤摘要】
废气处理设备
本技术涉及一种废气处理设备。
技术介绍
废气处理的对象主要是有毒、有害或者易燃易爆的气体，在半导体制程中，例如FET（FieldEffectTransistor，场效应晶体管）、IC（IntegratedCircuit，集成电路，港台称之为积体电路）、Solar（太阳能，指太阳能电池晶片）的制程中会产生强腐蚀性的气体，例如Cl2、HCl、HF、F2、NH3等（一般整体上称为半导体废气）。这些强腐蚀性气体的处理方式一般是采用燃烧式处理工艺。燃烧式处理工艺使用天然气作为燃料，处理区的处理温度在1200~1500摄氏度。此类处理工艺可见于中国专利文献CN102705817A，提供一个天然气燃烧室，通过导风板使废气均匀分布并形成漩涡，燃烧器喷出的火焰使废气得到处分燃烧。此类处理工艺依赖于燃烧本身，废气的处理效率比较低。随着技术的发展，基于高能等离子体进行废气处理的设备逐渐见于业界，并产生电浆的概念。所谓电浆是等离子体（Plasma）的别称，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体。中国专利文献CN105本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废气处理设备，为电浆式废气处理设备，包括：第一反应腔（15），为轴线竖直的圆管状腔体，上端具有配管端盖，下端具有带有中心孔的下端盖；第二反应腔（14），为轴线竖直的管状腔体，通过所述中心孔连接于第一反应腔（15）的下端；以及配管，配接于所述配管端盖；其特征在于，第一反应腔（15）上端周缘内侧开有入水口（17），用以导入沿第一反应腔（15）内壁下行的水，并流入所述第二反应腔（14）。

【技术特征摘要】
1.一种废气处理设备，为电浆式废气处理设备，包括：第一反应腔（15），为轴线竖直的圆管状腔体，上端具有配管端盖，下端具有带有中心孔的下端盖；第二反应腔（14），为轴线竖直的管状腔体，通过所述中心孔连接于第一反应腔（15）的下端；以及配管，配接于所述配管端盖；其特征在于，第一反应腔（15）上端周缘内侧开有入水口（17），用以导入沿第一反应腔（15）内壁下行的水，并流入所述第二反应腔（14）。2.根据权利要求1所述的废气处理设备，其特征在于，所述第一反应腔（15）的内壁，以及第二反应腔（14）的内壁均具有防腐层。3.根据权利要求2所述的废气处理设备，其特征在于，所述防腐层为铁氟龙涂层。4.根据权利要求1-3任一所述的废气处理设备，其特征在于，所述入水口（17）均置于第一反应腔（15）上端周缘，且入水口（17）向下向内倾斜。5.根据权利要求4所述的废气处理设备，其特征在于，所述入水口（17）的给水装...

【专利技术属性】
技术研发人员：安之平，谢维铭，尹元道，
申请(专利权)人：济南来益贸易有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37