基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法技术

基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法属于极紫外多层膜研发领域，解决了在宽角度极紫外多层膜设计中普遍采用遗传算法优化设计过程中存在的种群规模大、计算过程复杂和求解效率低的问题。该方法步骤如下1)输入量子进化算法的初始极紫外多层膜参数值；2)将多层膜膜系参数进行量子编码，生成量子染色体种群；3)计算各多层膜膜系的适应度，选出最优的膜系结构；4)进化判断，满足优化准则，输出最优多层膜膜系结构，算法停止；否则继续进化；5)通过互补变异和离散交叉更新量子编码的多层膜膜系后转向第3)步。该方法适用于宽角度高反射率极紫外多层膜的膜系优化设计，具有种群规模小、收敛速度快和求解效率高的优点。

【技术实现步骤摘要】
基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法
本专利技术属于极紫外多层膜研发领域，具体涉及一种基于量子进化算法的宽角度高反射率极紫外Mo/Si多层膜的设计方法。
技术介绍
在极紫外(ExtremeUltraviolet)波段，几乎所有物质的折射率均接近1且具有较强的吸收，所以不能采用传统的透过式光学系统，而采用基于极紫外多层膜的反射式光学系统。为实现高反射率，反射式光学元件表面必须镀制膜厚达纳米量级的多层膜，所以极紫外多层膜是光学系统中重要的光学元件，在极紫外天文学、极紫外光谱学、极紫外光刻技术、等离子体诊断和同步辐射等研究领域具有重要应用价值，尤其极紫外多层膜是极紫外光刻技术的关键技术和核心反射光学元件。传统的极紫外Mo/Si多层膜大多采用等周期膜系，但其干涉特性导致了反射角带宽很窄，一般为[0°,9°]。而非等周期膜系结构的宽角度极紫外多层膜能够实现宽角度入射，并且具有较高的反射率。特别值得一提的是，它可以满足了极紫外光刻的照明系统中需用小反射镜满足大角度入射的条件，因此其研发具有重要的学术意义和实际应用价值。极紫外多层膜的膜系设计是极紫外多层膜研发的首要和关键问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：输入基于量子进化算法的初始极紫外多层膜参数值，包括：种群中量子个体个数、量子编码参数个数、迭代次数、求精次数、求泛次数、最优个体个数和最优个体连续交叉次数；步骤二：对多层膜膜系参数进行量子编码，生成量子染色体一代种群Q，种群Q表示为Q＝[q

【技术特征摘要】
2017.01.06 CN 20171001106981.基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：输入基于量子进化算法的初始极紫外多层膜参数值，包括：种群中量子个体个数、量子编码参数个数、迭代次数、求精次数、求泛次数、最优个体个数和最优个体连续交叉次数；步骤二：对多层膜膜系参数进行量子编码，生成量子染色体一代种群Q，种群Q表示为Q＝[q1q2q3q4q5q6q7q8q9q10]步骤三：计算多层膜膜系量子染色体一代种群Q中量子个体的适应度，并选出最优的量子个体；步骤四：判断量子染色体一代种群Q是否满足优化要求：如果满足优化要求，算法停止，输出最优多层膜膜系结构；如果不满足优化要求，进行步骤五；步骤五：通过互补变异和离散交叉更新量子染色体一代种群Q，形成量子染色体下一代种群Q’；返回步骤三，并增加进化代数。2.根据权利要求1所述的基于量子进化算法的宽角度极紫外Mo/Si多层膜的设计方法，其特征在于，所述步骤一的过程中，采用的种群中量子个体个数N范围为5-20；每个基因位参数个数为98，迭代次数范围为1000-3000次，求精次数m1的范围为2-10，求泛次数m2范围为2-10，m1>m2；最优量子个体个数s范围为2-6，最优个体连续交叉次数m3范围为2-10。3.根据权利要求1所述的基于量子进化算法...

【专利技术属性】
技术研发人员：匡尚奇，王一名，张超，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：吉林,22