一种基板测试载台及基板测试设备制造技术

本发明专利技术提供了一种基板测试载台及基板测试设备，该基板测试载台包括：载台主体，所述载台主体包括一用于放置待测基板的透明承载板，所述透明承载板包括用于承载待测基板的第一表面；设置在所述透明承载板的背离所述第一表面的一侧的至少一个背光源；及与所述背光源连接，用于移动所述背光源的移动机构。本发明专利技术所提供的基板测试载台背光源可以根据实际需要运动到合适的位置，为待测基板提供背光，极大地方便了测试、提高了测试效率；同时使得一个基板测试载台所需背光源的使用数量大大缩减，节省了成本；此外，可以通过同一背光源移动至不同位置进行测试，避免了背光源之间的差异性造成的测试结果差异，提高了测试结果的准确性。

Substrate test carrier and substrate test equipment

The invention provides a substrate test bed and board test equipment, the substrate stage includes a stage body, wherein the carrier body comprises a bearing plate placed to be measured for a transparent substrate, wherein the transparent bearing plate includes a first bearing surface to be measured is arranged on the substrate; the transparent the bearing plate away from the side of the first surface of the at least one back light source; and connected with the backlight source for moving mechanism to move the backlight. The test substrate provided by the invention can stage back light to the proper position according to the actual needs of the movement, tested the substrate provides a backlight, which greatly facilitates the testing, improves the testing efficiency; at the same time makes a number of tests required for substrate stage backlight use greatly reduced, saving the cost; in addition, can be tested by the same backlight moved to different locations, to avoid the difference between the test results back light caused by the difference, improve the accuracy of the test results.

【技术实现步骤摘要】
一种基板测试载台及基板测试设备
本专利技术涉及测试
，尤其涉及一种基板测试载台及基板电测试装置。
技术介绍
现有技术中，液晶显示屏通常包括阵列基板和彩膜基板，通常需要通过电测试设备来对阵列基板母板进行电测试。一般在对阵列基板母板进行电测试时，首先，在电测试设备的基板测试载台上分布有多个背光源，将待测样品放置在基板测试载台上的合适位置，保证待测样品的待测位置处有背光源，然后，移动测试探针，定位待测样品与测试探针的相对位置，然后将测试探针压下，以确保测试探针与待测样品上的测试点良好接触，对待测样品进行电测试。在现有技术中，为了便于对不同待测样品或者待测样品的不同位置进行电测试，在电测试设备的基板测试载台上分布着24个面积约36cm2的方形背光源，这些背光源镶嵌入基板测试载台中，位置固定不变。在实际测试中，由于同一时间只有一个测试探针工作，所以每次也只能一个背光源工作，这就造成了其他背光源的浪费；而且，由于各背光源之间亮度均一性存在差异，在对一张阵列基板大板的不同位置进行测试或对同一样品多次重复测试而所放位置不同时，就会造成对同一样品进行某一光照强度(如3500nit)下测试时，不同位置的背光源发出的实际光照强度不同，其测试结果也存在一定差异。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基板测试载台及基板测试设备，方便测试，可以提高测试效率及准确性。本专利技术所提供的技术方案如下：一种基板测试载台，包括：载台主体，所述载台主体包括一用于放置待测基板的透明承载板，所述透明承载板包括用于承载待测基板的第一表面；设置在所述透明承载板的背离所述第一表面的一侧的至少一个背光源；以及，与所述背光源连接，用于移动所述背光源的移动机构。进一步的，所述移动机构包括：用于沿第一方向移动所述背光源的第一移动单元；以及，用于沿第二方向移动所述背光源的第二移动单元；其中所述第一方向和所述第二方向相互垂直。进一步的，所述第一移动单元包括：沿所述第一方向延伸的第一导轨；能够在所述第一导轨上移动的第一滑动部件，所述背光源设置在所述第一滑动部件上；以及，用于驱动所述第一滑动部件在所述第一导轨上移动的第一驱动部。进一步的，所述第二移动单元包括：平行设置且沿所述第二方向延伸的第二导轨和第三导轨，所述第一导轨的两端分别连接有第二滑动部件和第三滑动部件，所述第二滑动部件用于在所述第二导轨上移动，所述第三滑动部件用于在所述第三导轨上移动；以及，用于驱动所述第二滑动部件和/或所述第三滑动部件的第二驱动部。进一步的，所述载台主体为一具有内腔的盒体结构，所述背光源设置在所述盒体结构的内腔中。进一步的，所述第一表面上分布有用于吸附固定待测基板的多个真空吸附孔；在所述透明承载板的内部具有与多个真空吸附孔一一对应的多个气体通道；所述透明承载板的预定位置处设有与多个真空吸附孔一一对应的多个气体通道出口，所述气体通道出口与真空泵连通；其中每一所述气体通道的一端和与该气体通道对应的真空吸附孔连通，另一端和与该真空吸附孔对应的所述气体通道出口连通，各真空吸附孔的工作状态能够单独控制。进一步的，所述透明承载板还包括：与所述第一表面相背的第二表面；以及形成于所述第一表面和第二表面之间的侧表面；其中所述预定位置为所述透明承载板的侧表面。进一步的，所述透明承载板的第一表面上至少在一预定区域内、呈阵列分布有多个所述真空吸附孔。一种基板测试设备，包括：测试探针；以及如上所述的基板测试载台。进一步的，所述基板测试设备还包括与所述测试探针和所述基板测试载台连接的控制机构，所述控制机构能够控制所述测试探针与所述背光源同步移动。本专利技术所带来的有益效果如下：本专利技术所提供的基板测试载台，其背光源可以根据实际需要运动到合适的位置，为待测基板提供背光，与现有技术中将背光源固定在载台上相比，可以使测试人员在放置测试基板时有更多、更方便的选择机会，且不会出现所放置测试基板处无背光的情况出现，极大地方便了测试、提高了测试效率；同时使得一个基板测试载台所需背光源的使用数量大大缩减，节省了成本；此外，可以通过同一背光源移动至不同位置进行测试，避免了背光源之间的差异性造成的测试结果差异，提高了测试结果的准确性。附图说明图1表示本专利技术实施例中提供的基板测试载台的结构示意图；图2表示本专利技术实施例中提供的基板测试设备的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。针对现有技术中基板测试载台上固定有多个背光源，由于各背光源之间差异会影响测试准确性等问题，本专利技术提供了一种基板测试载台及基板测试设备，背光源可以移动，方便测试，可以提高测试效率及准确性。如图1所示，本专利技术实施例中提供的基板测试载台包括：载台主体100，所述载台主体100包括一用于放置待测基板的透明承载板101，所述透明承载板包括用于承载待测基板的第一表面；设置在所述透明承载板的背离所述第一表面的一侧的至少一个背光源200；以及，与所述背光源200连接，用于移动所述背光源200的移动机构。本专利技术所提供的基板测试载台，其背光源200可以根据实际需要运动到合适的位置，为待测基板提供背光，与现有技术中将背光源200固定在载台上的方式相比，可以使测试人员在放置测试基板时有更多、更方便的选择机会，且不会出现所放置测试基板处无背光的情况出现，极大地方便了测试、提高了测试效率；同时使得一个基板测试载台所需背光源200的使用数量大大缩减，节省了成本；此外，可以通过同一背光源200移动至不同位置进行测试，避免了背光源200之间的差异性造成的测试结果差异，提高了测试结果的准确性。以下说明本专利技术实施例中所提供的基板测试载台的优选实施例。如图1所示，在本专利技术所提供的优选实施例中，所述移动机构包括：用于沿第一方向(Y方向)移动所述背光源200的第一移动单元；及，用于沿第二方向(X方向)移动所述背光源200的第二移动单元，其中所述第一方向(Y方向)和所述第二方向(X方向)相互垂直。采用上述方案，所述移动机构可以在所述透明承载板101平行的平面上，沿相互垂直的第一方向(Y方向)和第二方向(X方向)上来移动背光源200，以使得所述背光源200能够移动至所述透明承载板101上任一坐标点位置上的待测基板下方，为待测基板提供背光。在本专利技术所提供的优选实施例中，如图1所示，所述第一移动单元包括：沿所述第一方向(Y方向)延伸的第一导轨301；能够在所述第一导轨301上移动的第一滑动部件310，所述背光源200设置在所述第一滑动部件310上；以及，用于驱动所述第一滑动部件310在所述第一导轨301上移动的第一驱动部311；所述第二移动单元包括：平行设置且沿所述第二方向(X方向)延伸的第二导轨302和第三导轨303，所述第一导轨301的两端分别连接有第二滑动部件320和第三滑动部件330，所述第二滑动部件320用于在所述第二导轨302上移动，所述第三滑动部件330用于在所述第三导轨303上移动；以及，用于驱动所述第二滑动部件和/或所述第三滑动部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板测试载台，其特征在于，包括：载台主体，所述载台主体包括一用于放置待测基板的透明承载板，所述透明承载板包括用于承载待测基板的第一表面；设置在所述透明承载板的背离所述第一表面的一侧的至少一个背光源；以及，与所述背光源连接，用于移动所述背光源的移动机构。

【技术特征摘要】
1.一种基板测试载台，其特征在于，包括：载台主体，所述载台主体包括一用于放置待测基板的透明承载板，所述透明承载板包括用于承载待测基板的第一表面；设置在所述透明承载板的背离所述第一表面的一侧的至少一个背光源；以及，与所述背光源连接，用于移动所述背光源的移动机构。2.根据权利要求1所述的基板测试载台，其特征在于，所述移动机构包括：用于沿第一方向移动所述背光源的第一移动单元；以及，用于沿第二方向移动所述背光源的第二移动单元；其中所述第一方向和所述第二方向相互垂直。3.根据权利要求2所述的基板测试载台，其特征在于，所述第一移动单元包括：沿所述第一方向延伸的第一导轨；能够在所述第一导轨上移动的第一滑动部件，所述背光源设置在所述第一滑动部件上；以及，用于驱动所述第一滑动部件在所述第一导轨上移动的第一驱动部。4.根据权利要求3所述的基板测试载台，其特征在于，所述第二移动单元包括：平行设置且沿所述第二方向延伸的第二导轨和第三导轨，所述第一导轨的两端分别连接有第二滑动部件和第三滑动部件，所述第二滑动部件用于在所述第二导轨上移动，所述第三滑动部件用于在所述第三导轨上移动；以及，用于驱动所述第二滑动部件和/或所述第三滑动部件的第二驱动部。5.根据权利要求1所述的基板测试载台，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王书锋，王晶，赵鹏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11