一种基于光学检测的微机电系统平台技术方案

本发明专利技术公开一种基于光学检测的微机电系统平台，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；平台主体包括振动平台；外部封装板形成密闭空间，将平台主体和光学检测机构封装在密闭空间内部；光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；反射镜水平固定在振动平台顶部，镜面朝向外部封装板的顶部；激光器和二极管阵列位于外部封装板顶部内侧，二极管阵列包括多个光电二极管；二极管阵列围绕在激光器周围；激光器发出的光照射到反射镜上，经反射镜的反射后形成的反射光照射到二极管阵列上；二极管阵列检测反射光的光强。本发明专利技术公开的微机电系统平台，提高了测量结果的线性度，提高了检测精度。

A MEMS platform based on optical detection

The invention discloses a MEMS optical detection system based on the platform, including platform body, optical detection mechanism and the external package board; platform main body comprises a vibration platform; external package board to form a closed space, the main platform and optical detection mechanism of packaging within the confined space; the optical detection mechanism comprises a laser, mirror, diode array the mirror is fixed on the vibration level; the top platform, the mirror toward the top plate and external package; laser diode array is positioned on the inner side of the top plate external package, diode array includes a plurality of photodiodes; laser diode array around the laser light irradiation around; to mirror, the reflection mirror is formed after the reflected light exposure to the diode array; diode array detection of reflected light intensity. The micro electro mechanical system platform of the invention improves the linearity of the measurement result and improves the detection accuracy.

【技术实现步骤摘要】
一种基于光学检测的微机电系统平台
本专利技术涉及微机电系统领域，特别是涉及一种基于光学检测的微机电系统平台。
技术介绍
微机电系统(MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystem)平台是通过特定支撑结构撑起的一个微尺度平台。微机电系统平台可以在MEMS驱动技术比如静电驱动、电磁驱动、压电驱动等技术的驱动控制下实现多轴运动，包括振动、平移等，可以应用于MEMS小型器件的定位、移动。利用压电驱动技术实现驱动控制的MEMS压电驱动器因具有体积小、质量轻、价格低廉、位移分辨率高、输出力大、承受载荷大、响应速度快、瞬时加速度大等优势，受到了广泛关注，是一种适用于为微机电系统平台提供高分辨率定位、高动态运动特征的装置。但是MEMS压电驱动器所使用的压电材料容易发生蠕变，在蠕变的影响下，MEMS压电驱动器的定位精度和位移精度会大幅度下降。蠕变为固定材料在保持应力不变的条件下，应变随时间延长而增加的现象。所以，给这种类型的微机电系统平台实施反馈控制是精确控制微机电系统平台的振动状态的有效方法。反馈控制又称为闭环控制，即根据微机电系统平台的输出信号来对微机电系统平台的振动状态进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于光学检测的微机电系统平台，其特征在于，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；所述平台主体包括振动平台；所述外部封装板形成密闭空间，将所述平台主体和所述光学检测机构封装在所述密闭空间内部；所述光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；所述反射镜水平固定在所述振动平台顶部，镜面朝向所述外部封装板的顶部；所述激光器和所述二极管阵列位于所述外部封装板顶部内侧，所述二极管阵列包括多个光电二极管；所述二极管阵列围绕在所述激光器周围；所述激光器发出的光照射到所述反射镜上，经所述反射镜的反射后形成的反射光照射到所述二极管阵列上；所述二极管阵列检测所述反射光的光强。

【技术特征摘要】
1.一种基于光学检测的微机电系统平台，其特征在于，包括：平台主体、光学检测机构和外部封装板；所述平台主体包括振动平台；所述外部封装板形成密闭空间，将所述平台主体和所述光学检测机构封装在所述密闭空间内部；所述光学检测机构包括激光器、反射镜、二极管阵列；所述反射镜水平固定在所述振动平台顶部，镜面朝向所述外部封装板的顶部；所述激光器和所述二极管阵列位于所述外部封装板顶部内侧，所述二极管阵列包括多个光电二极管；所述二极管阵列围绕在所述激光器周围；所述激光器发出的光照射到所述反射镜上，经所述反射镜的反射后形成的反射光照射到所述二极管阵列上；所述二极管阵列检测所述反射光的光强。2.根据权利要求1所述的一种基于光学检测的微机电系统平台，其特征在于，所述二极管阵列包括第一阵列和第二阵列；所述第一阵列位于所述激光器外围；所述第二阵列位于所述第一阵列外围；所述第一阵列中所述光电二极管的数量和排列方式与所述第二阵列中所述光电二极管的数量和排列方式相同。3.根据权利要求2所述的一种基于光学检测的微机电系统平台，其特征在于，所述第一阵列中所有相邻光电二极管的连线构成等边多边形；所述第二阵列中所有相邻光电二极管的连线构成等边多边形。4.根据权利要求3所述的一种基于光学检测的微机电系统平台，其特征在于，所述第二阵列中所述等边多边形的任意一角的所述光电二极管的位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜亦佳，周泉丰，代刚，张健，李顺，刘利芳，方雯，任尚清，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院电子工程研究所，
类型：发明
国别省市：四川,51