The utility model provides a device for cutting silicon, which is characterized in that it includes tooling, under the tooling is arranged on the surface of tooling, lower tooling is provided with a locating pin, central tooling with anti loose screw holes around the anti loosening screw hole is arranged on the screw hole on tooling through the anti loosening screw holes and screw holes to connected with work on tooling packing, the side is provided with a stop block, the block is located in the two positioning pins, tooling is arranged on the upper surface of baffle, baffle is arranged on the loading plate, the top plate is provided with a carrier plate; the the utility model has the advantages of strong practicability, high segmentation accuracy, not only greatly saves the silicon material, and the finished product rate is very high, thus greatly improves the work efficiency, promote the development of enterprises; in the screw hole wall design with cylindrical convex sets The screw is used to improve the reliability, the upper end of the lug boss is lower than the screw orifice, the screw is easy to be put in, and the operation is humanized.
【技术实现步骤摘要】
一种切割硅的装置
本技术涉及切割设备
,尤其涉及一种切割大量高压硅的装置。
技术介绍
现有的硅堆分割有以下几种方法:第一、机械划片分割,这是比较原始的硅片分割方法,最大分割厚度1.2mm,在分割单片硅片时效果还行,但是成品率在85%左右,对于较厚的高压硅堆圆片来说就不太容易分割,就是分割好的硅堆,边缘非常不规则,容易磕碰出崩边,且影响后续的封装,成品率也只有65-70%;第二、外圆刀片切割,虽然切割的厚度可以达到2cm,但是效率比较低,而且刀缝损失(2-3mm)比较大,每片圆形高压硅堆有效利用面积减少了约30%,成品率比划片机略高可达到85%左右;第三、激光切割,效率有所提高,但是切割过程中激光的高温对高压硅堆边缘的两端的P或N面容易造成烧结坑,而且对硅堆烧结过程中的金属层造成熔化并在硅堆边缘形成短路,使硅堆耐压不够或被漏电击穿,因此极大的影响了企业的生产。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中的不足,解决切割边缘不规则,容易磕碰出崩边,烧结过程中易在硅堆边缘形成短路等问题,本技术公开了一种切割硅的装置,通过在工装上设置定位销、挡块以及多块板,再通过将硅堆圆片固定于两块板之间,以此来达到高效切割的目的。本技术提供了一种切割硅的装置,其特征在于,它包括下工装2,所述下工装2上表面上设有上工装1,所述下工装2上还设有两个定位销6,所述上工装1的中部设有防松动螺丝孔3,所述防松动螺丝孔3的四周设有加紧螺丝孔4,所述上工装1通过防松动螺丝孔3和加紧螺丝孔4与下工装2相连接,所述上工装1的侧面设有挡块5,所述挡块5位于两个定位销6间,所述上工装1的上表面上设有缓冲隔板7, ...
【技术保护点】
一种切割硅的装置,其特征在于,它包括下工装(2),所述下工装(2)上表面上设有上工装(1),所述下工装(2)上还设有两个定位销(6),所述上工装(1)的中部设有防松动螺丝孔(3),所述防松动螺丝孔(3)的四周设有加紧螺丝孔(4),所述上工装(1)通过防松动螺丝孔(3)和加紧螺丝孔(4)与下工装(2)相连接,所述上工装(1)的侧面设有挡块(5),所述挡块(5)位于两个定位销(6)间,所述上工装(1)的上表面上设有缓冲隔板(7),所述缓冲隔板(7)上设有载物板(8),所述载物板(8)上设有顶盖板(9)。
【技术特征摘要】
1.一种切割硅的装置,其特征在于,它包括下工装(2),所述下工装(2)上表面上设有上工装(1),所述下工装(2)上还设有两个定位销(6),所述上工装(1)的中部设有防松动螺丝孔(3),所述防松动螺丝孔(3)的四周设有加紧螺丝孔(4),所述上工装(1)通过防松动螺丝孔(3)和加紧螺丝孔(4)与下工装(2)相连接,所述上工装(1)的侧面设有挡块(5),所述挡块(5)位于两个定位销(6)间,所述上工装(1)的上表面上设有缓冲隔板(7),所述缓冲隔板(7)上设有载物板(8),所述载物板(8)上设有顶盖板(9)。2.根据权利要求1所述的一种切割硅的装置,其特征在于,所述上工装(1)为圆柱型结构,所述防松动螺丝孔(3)设置在圆柱的中心部,沿所述防松动螺丝孔(3)四周等间距设有不少于四个加紧螺丝...
【专利技术属性】
技术研发人员:张文凯,
申请(专利权)人:上海麦浦新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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