工业用炉制造技术

本发明专利技术提供一种能够高效地进行加热及冷却的紧凑的工业用炉。该工业用炉具备：加热流路(4)，其设于炉体(2)内，具有加热器(3)且能够与对工件进行热处理的热处理空间(1a)连通；冷却流路(6)，其设于炉体内，具有冷却器(5)且能够与热处理空间连通；挡板(7)，其以择一的方式阻塞上述加热流路与冷却流路中的任一方，并使另一方与热处理空间连通；风扇(8)，其设于炉体内，且使炉体内的空气循环；以及隔热顶部(6a)，其介于加热流路与冷却流路之间。

Industrial furnace

The present invention provides a compact industrial furnace capable of efficiently heating and cooling. With the industrial furnace heating flow path (4), arranged on the furnace body (2), with a heater (3) and with the method of heat treatment heat treatment space (1a) connected; cooling flow path (6), which is arranged in the furnace body, a cooler (5) and can be connected with the heat treatment space; baffle (7), any party to choose a way of blocking the heating and cooling flow path, flow path, and the other party as a result of heat treatment and space connectivity; fan (8), arranged on the furnace body and the furnace body, air circulation and heat at the top (6a;), the flow path between heating and cooling flow path.

【技术实现步骤摘要】
工业用炉
本专利技术涉及一种能够高效地进行加热及冷却的紧凑的工业用炉。
技术介绍
在对工件进行热处理的工业用炉之中，在加热工件之后，为了对其进行冷却或者进行温度调节或温度变化，有时具备基于冷却器等的冷却功能。例如，专利文献1的“洁净烘箱(cleanoven)”的课题在于，实现一种几乎没有热损失且具有高洁净性能、进一步降低设备负担的洁净烘箱，设于炉外的管道与炉内在彼此环境气体的压力相等的第一连接部与第二连接部处以连结该第一连接部与第二连接部的方式连接，管道在内部具备冷却器与冷却器用风扇。由于冷却器设于炉外，因此几乎没有热损失，另外，由于没有设置挡板，因此不会产生灰尘而具有高洁净性能。另外，在加热中停止冷却水的供给的情况下，冷却器用风扇停止，因此不需要用于向洁净室外排出蒸汽的管道。在专利文献1中，将炉内和设于炉外且具备冷却器以及冷却器用风扇的管道通过两个连接部连通。另外，已知有专利文献2以及专利文献3。专利文献2的“间歇式炉”的课题在于，提供一种能够省电且迅速降温的间歇式炉，对热风循环路线上的一部分通路进行旁通而设置水冷式翅片冷却器，通过切换挡板来选择通过该水冷式翅片冷却器的旁路以及被旁通的一部分通路。专利文献3的“洁净烘箱”的课题在于，提供一种能够大幅削减消耗电力地进行直至500℃左右的清洁的高温环境气体中的热处理的洁净烘箱，在烘箱内一边使环境气体循环一边通过加热器进行加热，使该环境气体通过过滤器与热处理室，在清洁的环境气体中对放置于热处理室的被处理物进行热处理，其中，设为如下结构：作为上述过滤器而设置耐热温度为500℃左右的耐热过滤器，另一方面，在环境气体的循环通路的一部分设置冷却用的旁通通路而将冷却器设置于旁通通路，作为进行循环通路与旁通通路的切换的通路切换机构而设有第一切换板以及第二切换板。在上述专利文献2以及专利文献3中简要地在烘箱内具备冷却器、以及切换通过设有冷却器的部位的流路以及通过未设置冷却器的部位的流路的挡板。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2007-271126号公报专利文献2：日本特开2000-329474号公报专利文献3：日本特开2004-353928号公报如上述烘箱那样，在炉外设有具备冷却器与冷却器用风扇的管道的情况下，与向炉外突出的管道相应地需要较大的设置空间。另外，在相对于加热炉内的气流将冷却器与加热器以串联排列的方式设置的情况下，存在如下课题：当在炉内对工件进行加热之后为了冷却而利用挡板切换流路时，通过尚未冷却的高温状态的加热器后的空气向冷却器侧流动，或者利用冷却器进行了冷却的空气通过尚未冷却的高温状态的加热器侧等，使冷却效率降低，并且在冷却后进行加热的情况下也存在加热效率降低的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的现有课题而完成的，其目的在于提供一种能够高效地进行加热及冷却的紧凑的工业用炉。本专利技术的工业用炉的特征在于，具备：加热流路，其设于炉体内，所述加热流路具有加热器且能够与对工件进行热处理的热处理空间连通；冷却流路，其设于所述炉体内，所述冷却流路具有冷却器且能够与所述热处理空间连通；挡板，其以择一的方式阻塞上述加热流路与冷却流路中的任一方，并使上述加热流路与冷却流路中的另一方与所述热处理空间连通；风扇，其设于所述炉体内，且使该炉体内的空气循环；以及隔热件，其介于所述加热流路与所述冷却流路之间。本专利技术的特征在于，所述加热流路位于所述冷却流路的上方，所述热处理空间位于所述加热流路的上方。本专利技术的特征在于，所述挡板由隔热件构成，在由该挡板阻塞的所述加热流路的开口侧设有阻挡该挡板的第一抵接部，以对由该挡板阻塞的所述加热流路的开口和该挡板之间进行密封，在由该挡板阻塞的与所述冷却流路相连的合流部的开口侧设有阻挡该挡板的第二抵接部，以对由该挡板阻塞的与所述冷却流路相连的合流部的开口和该挡板之间进行密封。本专利技术的特征在于，在所述加热流路的上方设有载置工件的格子件。本专利技术的特征在于，所述加热流路的所述加热器与所述冷却流路的所述冷却器在所述加热流路以及所述冷却流路的流路方向上以如下方式错位设置：所述加热器与所述冷却器的重叠量为所述加热器以及所述冷却器各自的长度的一半以下。专利技术效果在本专利技术的工业用炉中，能够高效地进行加热及冷却，并且实现紧凑化。附图说明图1是表示本专利技术的工业用炉的理想的一实施方式的结构的说明图，图1(a)是表示加热中的正面侧的剖视图，图1(b)是表示冷却中的正面侧的剖视图。图2是图1中的A-A线箭头方向的剖视图。图3是说明图1的工业用炉所采用的挡板的作用的说明图，图3(a)是表示加热中的主要部分的放大剖视图，图3(b)是表示冷却中的主要部分的放大剖视图。图4是应用于图1所示的工业用炉的挡板的分解组装图。附图标记说明：1工业用炉1a热处理空间2炉体2a内壁2b底2c侧壁3加热器4加热流路4a导热顶部4b加热流路的开口5冷却器6冷却流路6a隔热顶部6b冷却流路的开口6c合流部的开口6d转动轴7挡板7a密封件7b、7c抵接部8风扇9格子件10网状过滤器11多层积盒12HEPA过滤器具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的工业用炉的理想的一实施方式进行详细说明。图1是表示本实施方式的工业用炉的结构的说明图，图1(a)是表示加热中的正面侧的剖视图，图1(b)是表示冷却中的正面侧的剖视图。图2是图1中的A-A线箭头方向的剖视图。图3是说明在图1的工业用炉中采用的挡板的作用的说明图，图3(a)是表示加热中的主要部分的放大剖视图，图3(b)是表示冷却中的主要部分的放大剖视图。图4是在图1所示的工业用炉中应用的挡板的分解组装图。如图1、图2所示，本实施方式的工业用炉1在具备由隔热件围成的长方体状的内部空间的炉体2的内部具有如下所述的构件：具备加热器3并能够与对工件(未图示)进行热处理的热处理空间1a连通的加热流路4；具备冷却器5并能够与热处理空间1a连通的冷却流路6；以择一的方式阻塞加热流路4与冷却流路6中的任一方并使另一方与热处理空间1a连通的挡板7；以及使炉体2内的空气循环的风扇8。炉体2内的形成为长方体状的内部空间在平剖面上呈长方形，由风扇8向其上部侧输送的空气从其下部侧返回至风扇8。内部空间中的上部侧在长方形的长边方向上的大致中央被金属制的网状过滤器10分成两个空间。在被网状过滤器10分出的空间中的一方设有例如筛条那样的金属制的格子件9，空气能够在格子件9的上下方向上流通，该格子件9位于内部空间的上部侧的下部，换言之位于加热流路4的上方。格子件9的上侧的空间成为实施热处理的、例如配置玻璃基板等工件的热处理空间1a，在格子件9上能够配置可以载置该玻璃基板那样的工件的多层积盒11。在上部侧的空间的另一侧，在与热处理空间1a相反的一侧的内壁2a上设有使炉体2内的空气循环的风扇8，在网状过滤器10与风扇8之间，HEPA过滤器12配置为使空气能够在上侧空间的长边方向上流通。下侧空间以沿上下方向形成两层的方式设有两条流路4、6。两条流路4、6中的下层成为在内部设有冷却器5而对在下层的流路内流通的空气进行冷却的冷却流路6，上层成为在内部设有加热器3而对在上层的流路内流通的空气进行加热的加热流路4。设置使隔热件介于加热流路4与冷却流路6之间而成的冷却流路6的隔热顶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工业用炉，其特征在于，所述工业用炉具备：加热流路，其设于炉体内，所述加热流路具有加热器且能够与对工件进行热处理的热处理空间连通；冷却流路，其设于所述炉体内，所述冷却流路具有冷却器且能够与所述热处理空间连通；挡板，其以择一的方式阻塞所述加热流路与所述冷却流路中的任一方，并使所述加热流路与所述冷却流路中的另一方与所述热处理空间连通；风扇，其设于所述炉体内，且使该炉体内的空气循环；以及隔热件，其介于所述加热流路与所述冷却流路之间。

【技术特征摘要】
2015.12.28 JP 2015-2566641.一种工业用炉，其特征在于，所述工业用炉具备：加热流路，其设于炉体内，所述加热流路具有加热器且能够与对工件进行热处理的热处理空间连通；冷却流路，其设于所述炉体内，所述冷却流路具有冷却器且能够与所述热处理空间连通；挡板，其以择一的方式阻塞所述加热流路与所述冷却流路中的任一方，并使所述加热流路与所述冷却流路中的另一方与所述热处理空间连通；风扇，其设于所述炉体内，且使该炉体内的空气循环；以及隔热件，其介于所述加热流路与所述冷却流路之间。2.根据权利要求1所述的工业用炉，其特征在于，所述加热流路位于所述冷却流路的上方，所述热处理空间位于所述加热流路的上方。3.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：松林寿，
申请(专利权)人：中外炉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP