【技术实现步骤摘要】
一种氮化铝基材用大功率厚膜电路高温烧结电阻浆料及其制备方法
本专利技术涉及厚膜电路
,尤其涉及一种氮化铝基材用大功率厚膜电路高温烧结电阻浆料及其制备方法。
技术介绍
随着微电子封装技术的发展,电子元件的功率密度越来越大,致使单位体积发热量也随之增加,所以对新一代电路基材的散热能力即热导率要求越高。现阶段开发的高热导率陶瓷基材有AlN、SiC以及BeO;其中,BeO具有毒性,不利于环保;SiC介电常数偏高,不适宜作基片。近年来,对于在高温环境下使用的电路板,尤其是对于高功率应用,一直需要采用氮化铝(AlN)衬底。需进一步解释,AlN陶瓷基体是以氮化铝为主晶相的陶瓷,具有纤锌矿型结构,属六方晶系,密度在3.2g/cm3~3.3g/cm3之间。由于AlN衬底极佳的特性,包括高热导率(130~200W/m·K)和低热膨胀系数(CTE)(4~4.5×10-6/℃),它们一直是有希望的候选物。高热导率和低CTE的组合给予氮化铝良好的抗热震性。此外,氮化铝具有超过铝和氧化铍的抗弯强度(350~400MPa),表现出使其能够易于加工的低硬度,并且在氧化环境中超过900℃的温度下以及还原环境中高达1600℃的温度下是稳定的。AlN陶瓷热导率高、无毒、原料来源广泛、介电常数与机械性能与氧化铝接近而且绝缘性能更好、既可以流延成型又可以常压烧结,工艺性好。所以AlN是一种很有希望的高导热基板,已被视为新一代高密度、大功率电子封装中最理想的陶瓷基板材料,能够广泛应用于电力电子功率模块、微波毫米波功率器件、大功率电源模块、混合集成电路等领域,特别是利用其高导热的特点制备的陶瓷基 ...
【技术保护点】
一种氮化铝基材用大功率厚膜电路高温烧结电阻浆料,其特征在于,包括有以下重量份的物料,具体为:无机粘接相 10%~30%复合功能相 50%~70%有机载体 20%~25%;其中,无机粘结相由SiO
【技术特征摘要】
1.一种氮化铝基材用大功率厚膜电路高温烧结电阻浆料,其特征在于,包括有以下重量份的物料,具体为:无机粘接相10%~30%复合功能相50%~70%有机载体20%~25%;其中,无机粘结相由SiO2、B2O3、ZnO、Al2O3、MgO、晶核剂、稀土氧化物系微晶玻璃粉组成,无机粘接相中SiO2、B2O3、ZnO、Al2O3、MgO、晶核剂、稀土氧化物七种物料的重量份依次为30%~40%、20%~30%、10%~20%、10%~20%、5%~15%、1%~5%、1%~5%;复合功能相为球状银粉、片状银粉、纳米钯粉的混合粉,且混合粉中球状银粉、片状银粉、纳米钯粉三种物料的重量份依次为40%~50%、40%~50%、1-10%;有机载体为有机溶剂、高分子增稠剂、分散剂、消泡剂、触变剂所组成的混合物,有机载体中有机溶剂、高分子增稠剂、分散剂、消泡剂、触变剂五种物料的重量份依次为50%~70%、25%~35%、1%~5%、1%~5%、1%~5%。2.根据权利要求1所述的一种氮化铝基材用大功率厚膜电路高温烧结电阻浆料,其特征在于:所述晶核剂为CaF2、TiO2、ZrO2、Sb2O3、V2O5、NiO、Fe2O3中的一种或者至少两种所组成的混合物。3.根据权利要求1所述的一种氮化铝基材用大功率厚膜电路高温烧结电阻浆料,其特征在于:所述稀土氧化物为La2O3、Sc2O3、Y2O3、CeO2、Sm2O3、Gd2O3、Nd2O3、Pr2O3、Eu2O3中的一种,稀土氧化物的粒径值为1μm~3μm。4.根据权利要求1所述的一种氮化铝基材用大功率厚膜电路高温烧结电阻浆料,其特征在于:所述无铅微晶玻璃粉的粒径值为1μm~3μm,软化点为550~680℃,平均线膨胀系数为4~5×10~6/℃。5.根据权利要求1所述的一种氮化铝基材用大功率厚膜电路高温烧结电阻浆料,其特征在于:所述复合功能相中球状银粉的粒径值为1µm~3µm,松装密度为1.0~2.0g/cm3,振实密度为1.0~2.0g/cm3;片状银粉的粒径值为1µm~3µm,松装密度为1.0~2.0g/cm3,振实密度为1.0~2.0g/cm3;纳米钯粉的粒径值为10nm~50nm,松装密度为2.0~2.5g/cm3,振实密度为3.5~4.0g/cm3。6.根据权利要求1所述的一种氮化铝基材用大功率厚膜电路高温烧结电阻浆料,其特征在于:所述有机溶剂为松节油、松油醇、十六醇、丁基卡必醇、丁基卡必醇醋酸酯、二乙二醇单甲醚、二乙二醇二丁醚、乙二醇乙醚醋酸酯、柠檬酸三丁酯、磷酸三丁酯、1,4-丁内酯、混合二元酸酯、N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、二甲亚砜中的一种或者至少两种所组成的混合物。7.根据权利要求1所述的一种氮化铝基材用大功率厚膜电路高温烧结电阻浆料,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:高丽萍,苏冠贤,
申请(专利权)人:东莞珂洛赫慕电子材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。