包括盒内式触摸板的背板基板、液晶显示装置及制造方法制造方法及图纸

包括盒内式触摸板的背板基板、液晶显示装置及制造方法。本发明专利技术针对包括有利于减少掩模数和处理数的in‑cell式触摸板的背板基板、包括该背板基板的液晶显示装置及该背板基板的制造方法，所述背板基板包括布置在薄膜晶体管的漏极上方的多个层间介电层，在形成感测线和公共电极之后，所述多个层间介电层被同时图案化。

Backplane substrate including cartridge type touch panel, liquid crystal display device and manufacturing method thereof

Backplane substrate including cartridge type touch panel, liquid crystal display device and manufacturing method thereof. According to the invention includes to reduce mask and processing the number of in LCD backplane substrate, cell touch panel comprises the backplane board display device and method for manufacturing the backplane substrate, wherein the substrate comprises a backplane arranged in a plurality of layers above the drain of the thin film transistor between the dielectric layer, after the formation of the sensing line and the common electrode, wherein a plurality of interlayer dielectric layers are patterned.

【技术实现步骤摘要】
包括盒内式触摸板的背板基板、液晶显示装置及制造方法
本专利技术涉及一种包括有利于减少掩模的数量和处理的数量的in-cell(盒内)式触摸板的背板基板，使用该背板基板的液晶显示装置及该背板基板的制造方法。
技术介绍
近来，随着世界进入信息时代，在视觉上显示电信号的显示器的领域快速改进。相应地，变得更薄、更轻和功耗更低的各种平板显示装置发展以快速替代现有阴极射线管(CRT)。作为平板显示装置的示例，存在液晶显示装置(LCD)、有机发光二极管(OLED)装置、等离子体显示面板(PDP)装置、量子点显示装置、场发射显示(FED)装置、电泳显示(EPD)装置等。这些平板显示装置中的每一个主要包括用于显示图像的平板显示面板。平板显示装置包括彼此面对同时彼此粘合的一对透明绝缘基板和介于它们之间的本征发光层或偏振层。越来越需要可识别通过人手或其它输入单元接触的触摸点并且发送对应于接触的点的分离的信息的触摸板。近来，采用附着于显示装置的外表面的触摸板。另外，触摸板根据触摸感测方式分为电阻式、电容式和红外感应式。目前，基于容易制造和灵敏度考虑，电容式触摸板比其它类型的触摸板更好。近来，其中触摸板在显示面板实现的in-cell式触摸板因为基板的数量减少并且省略了粘合基板的处理而受到关注。然而，在触摸板布置在显示面板中的情况下，在显示面板中需要用于触摸感测的触摸电极。触摸电极可竖直地连接至彼此而不干扰显示面板中的薄膜晶体管。因此，在背板基板的制造中，难以减少掩模的数量。因此，总是出现处理的数量增加。
技术实现思路
因此，本专利技术涉及一种包括in-cell式触摸板的背板基板、使用其的液晶显示装置及其制造方法，其基本上避免了由于现有技术的局限和不足导致的一个或多个问题。本专利技术的目的是提供一种包括有利于减少掩模的数量和处理的数量的in-cell式触摸板的背板基板、使用该背板基板的液晶显示装置及该背板基板的制造方法。本专利技术的额外优点、目的和特点将一部分在以下描述中阐述，并且一部分将基于以下检查对于本领域普通技术人员变得清楚或者可从本专利技术的实施学习到。本专利技术的目的和其它优点可通过在撰写的说明书及其权利要求以及附图中特别指出的结构来实现和获得。根据本专利技术的实施方式，可通过提供包括in-cell式触摸板的背板基板来实现以上和其它目的，其中布置在薄晶体管的漏极上的层间介电层被同时图案化，其具有减少掩模的数量和处理的数量的优点。为了实现这些目的和其它优点，并且根据如本文实现和广泛描述的本专利技术的目的，一种包括in-cell式触摸板的背板基板包括：基板，其包括矩阵形式的多个像素；薄膜晶体管，其布置在基板的各个像素；第一层间介电层，其覆盖薄膜晶体管；感测线，其布置在第一层间介电层上；第二层间介电层，其覆盖感测线，第二层间介电层布置在第一层间介电层上；公共电极，其布置在包括多个像素中的一些像素的各个块中，公共电极与感测线交叠；第三层间介电层，其覆盖公共电极；像素电极，其通过连续地穿过第三层间介电层、第二层间介电层和第一层间介电层的第一层间接触孔连接至布置在各个像素的薄膜晶体管；以及连接图案，其通过穿过第三层间介电层和第二层间介电层以暴露感测线的第二层间接触孔连接至感测线，第二层间接触孔对应于公共电极的邻近于感测线与公共电极的交叠区域的侧壁。连接图案可连接至公共电极的侧表面并且可部分地连接至公共电极的上表面。公共电极可具有与第二层间接触孔一致的开孔，或者可具有大于第二层间接触孔的开孔，并且公共电极的开孔可与连接图案的侧表面部分地接触。第一层间介电层可包括接触薄膜晶体管的第一无机绝缘层和布置在第一无机绝缘层上的第二无机绝缘层，第二无机绝缘层接触第二层间介电层和感测线的下部。第一层间介电层还可包括第一无机层与第二无机层之间的有机层，并且有机层可具有大于第一层间接触孔的开口。薄膜晶体管可包括布置在各个像素的特定部分的半导体层、与半导体层交叠的栅极、布置在半导体层上的栅极介电层(栅极介电层介于半导体层与栅极之间)和连接至半导体层的两端的源极/漏极，并且第一层间接触孔可布置在漏极的一部分处。背板基板还可包括与栅极交叠的遮光图案，遮光图案布置在半导体层下方。在本专利技术的另一方面中，一种包括in-cell式触摸板的液晶显示装置包括：基板，其包括矩阵形式的多个像素；薄膜晶体管，其布置在基板的各个像素上；第一层间介电层，其覆盖薄膜晶体管；感测线，其布置在第一层间介电层上；第二层间介电层，其覆盖感测线，第二层间介电层布置在第一层间介电层上；公共电极，其布置在包括多个像素中的一些像素的各个块上，公共电极与感测线交叠；第三层间介电层，其覆盖公共电极；像素电极，其通过连续地穿过第三层间介电层、第二层间介电层和第一层间介电层的第一层间接触孔连接至布置在各个像素上的薄膜晶体管；连接图案，其通过穿过第三层间介电层和第二层间介电层以暴露感测线的第二层间接触孔连接至感测线，第二层间接触孔对应于公共电极的邻近于感测线与公共电极的交叠部分的侧壁；相对基板，其面对基板；以及基板与相对基板之间的液晶层。液晶显示装置还可包括布置在基板或相对基板上的滤色器层。在本专利技术的另一方面中，一种制造包括in-cell式触摸板的背板基板的方法，包括以下步骤：制备包括矩阵形式的多个像素的基板；在基板的各个像素提供薄膜晶体管；形成第一层间介电层以覆盖薄膜晶体管；在第一层间介电层上形成感测线；在第一层间介电层上形成第二层间介电层以覆盖感测线；在包括多个像素中的一些像素的各个块中形成公共电极，以与感测线交叠；形成第三层间介电层以覆盖公共电极；形成穿过第三层间介电层、第二层间介电层和第一层间介电层以在各个像素暴露薄膜晶体管的一部分的第一层间接触孔和对应于公共电极的邻近于感测线与公共电极的交叠部分的侧壁的第二层间接触孔，第二层间接触孔穿过第三层间介电层和第二层间介电层以暴露感测线；以及形成通过第一层间接触孔连接至薄膜晶体管的像素电极以及通过第二层间接触孔连接至感测线的连接图案。在形成公共电极的过程中，公共电极可包括与像素电极间隔开的第一开孔和尺寸等于或大于第二层间接触孔的第二开孔。第一开孔可大于像素电极和薄膜晶体管的连接区域，并且连接图案可与第二开孔的边缘接触。应该理解，本专利技术的以上总体描述和以下详细描述是示例性和解释性的，并且旨在提供对要求保护的本专利技术的进一步解释。附图说明被包括以提供对本专利技术的进一步理解并且并入和构成本申请的一部分的附图示出了本专利技术的实施方式，并且与说明书一起用于解释本专利技术的原理。在附图中：图1是示出根据本专利技术的第一实施方式的包括in-cell式触摸板的背板基板的示图；图2是示出根据本专利技术的包括in-cell式触摸板的背板基板的平面图；图3是根据本专利技术的包括in-cell式触摸板的背板的处理流程图；图4A、图4B、图4C、图4D、图4E、图4F、图4G、图4H、图4I和图4J是示出制造根据本专利技术的第一实施方式的包括in-cell式触摸板的背板的方法的截面图；图5A和图5B是示出公共电极和像素电极在根据本专利技术的包括in-cell式触摸板的背板中的布置的平面图；图6是示出根据本专利技术的第一实施方式的包括in-cell式触摸板的液晶显示装置的截面图；图7是示出根据本专利技术的第二实施方式的包括in-cell式触摸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包括盒内式触摸板的背板基板，所述背板基板包括：基板，所述基板包括矩阵形式的多个像素；薄膜晶体管，所述薄膜晶体管布置在所述基板的各个像素处；第一层间介电层，所述第一层间介电层覆盖所述薄膜晶体管；感测线，所述感测线布置在所述第一层间介电层上；覆盖所述感测线的第二层间介电层，所述第二层间介电层布置在所述第一层间介电层上；公共电极，所述公共电极布置在包括多个像素中的一些像素的每个块中，所述公共电极与所述感测线交叠；第三层间介电层，所述第三层间介电层覆盖所述公共电极；像素电极，所述像素电极通过连续地穿过所述第三层间介电层、所述第二层间介电层和所述第一层间介电层的第一层间接触孔而连接至布置在各个像素中的所述薄膜晶体管；以及连接图案，所述连接图案通过穿过所述第三层间介电层和所述第二层间介电层以暴露所述感测线的第二层间接触孔而连接至所述感测线，所述第二层间接触孔对应于所述公共电极的与所述感测线和所述公共电极的交叠区域相邻的侧壁。

【技术特征摘要】
2015.11.10 KR 10-2015-01575001.一种包括盒内式触摸板的背板基板，所述背板基板包括：基板，所述基板包括矩阵形式的多个像素；薄膜晶体管，所述薄膜晶体管布置在所述基板的各个像素处；第一层间介电层，所述第一层间介电层覆盖所述薄膜晶体管；感测线，所述感测线布置在所述第一层间介电层上；覆盖所述感测线的第二层间介电层，所述第二层间介电层布置在所述第一层间介电层上；公共电极，所述公共电极布置在包括多个像素中的一些像素的每个块中，所述公共电极与所述感测线交叠；第三层间介电层，所述第三层间介电层覆盖所述公共电极；像素电极，所述像素电极通过连续地穿过所述第三层间介电层、所述第二层间介电层和所述第一层间介电层的第一层间接触孔而连接至布置在各个像素中的所述薄膜晶体管；以及连接图案，所述连接图案通过穿过所述第三层间介电层和所述第二层间介电层以暴露所述感测线的第二层间接触孔而连接至所述感测线，所述第二层间接触孔对应于所述公共电极的与所述感测线和所述公共电极的交叠区域相邻的侧壁。2.根据权利要求1所述的包括盒内式触摸板的背板基板，其中，所述连接图案连接至所述公共电极的侧表面并且部分地连接至所述公共电极的上表面。3.根据权利要求2所述的包括盒内式触摸板的背板基板，其中，公共电极具有直径与所述第二层间接触孔的直径相同的开孔。4.根据权利要求2所述的包括盒内式触摸板的背板基板，其中，所述公共电极具有比所述第二层间接触孔大的开孔或者所述公共电极具有直径与所述第二层间接触孔相同的开孔，并且所述公共电极通过该公共电极的开孔与所述连接图案的侧表面部分地接触。5.根据权利要求1所述的包括盒内式触摸板的背板基板，其中，所述第一层间介电层包括接触所述薄膜晶体管的第一无机绝缘层和布置在所述第一无机绝缘层上的第二无机绝缘层，所述第二无机绝缘层接触所述第二层间介电层的下部和所述感测线的下部。6.根据权利要求5所述的包括盒内式触摸板的背板基板，其中，所述第一层间介电层还包括位于所述第一无机层与所述第二无机层之间的有机层，并且所述有机层的开口大于所述第一层间接触孔。7.根据权利要求1所述的包括盒内式触摸板的背板基板，其中，所述薄膜晶体管包括布置在各个像素的特定部分中的半导体层、与所述半导体层交叠的栅极、介于所述半导体层与所述栅极之间的栅极介电层和连接至所述半导体层的两端的源极/漏极，并且所述第一层间接触孔布置在所述漏极的一部分处。8.根据权利要求7所述的包括盒内式触摸板的背板基板，所述背板基板还包括与所述栅极交叠的遮光图案，所述遮光图案布置在所述半导体层下方。9.一种包括盒内式触摸板的液晶显示装置，所述液晶显示装置包括：根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵圣弼，金善英，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR