硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测仪器制造技术

本发明专利技术的硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测仪器是由传感器、模数转换和液晶显示三大模块组成，传感器由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、T型结功分器、T型结功合器以及直接式热电式功率传感器所构成，该结构是制作在高阻Si衬底上，上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量，下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量；T型结功分器和T型结功合器是由共面波导传输线、扇形缺陷结构和空气桥组成；直接式热电式功率传感器由共面波导传输线、热电偶和隔直电容所构成。模数转换部分由STM32和AD620外围电路构成，MCS51单片机用于公式计算，液晶显示部分由一块液晶显示屏构成，大大提高了信号检测仪器的效率。

【技术实现步骤摘要】
硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测仪器
本专利技术提出了硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测仪器，属于微电子机械系统(MEMS)的

技术介绍
二十一世纪是信息科学技术的时代，在这个飞速发展的时代中，信号检测作为一项重要的科学技术，已经得到了深入的研究，尤其是在当今的军事、通信以及航空航天等领域，对各种形形色色的信号的检测是一项非常重要的任务，一个信号有着三大非常重要的参数：频率、相位和功率，按照频率来划分可以分为低频信号、高频信号和极高频信号，其中毫米波信号就是一种极高频的信号，它位于微波和远红外波相交叠的区域，目前对于极高频的毫米波信号的检测技术还不时特别完善，现今的信号检测器大多只能对信号的频率、相位以及功率等进行单独的测量，集成度不是很高，而且它们的结构都较为复杂，有着很多高频效应，由于这些制约因素，毫米波的检测技术的范围并不是很大。随着对共面波导缝隙耦合结构、T型结功分器、T型结功合器以及直接式热电式功率传感器的深入研究，本专利技术在高阻Si衬底上设计了一种将毫米波频率、相位和功率检测集成在一起的信号检测器，这种信号检测器结构简单，制作成本较低，解决了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测仪器，该信号检测仪器的传感器部分制作在高阻Si衬底(7)上，是由共面波导传输线(4)、一号缝隙耦合结构(5‑1)、二号缝隙耦合结构(5‑2)、三号缝隙耦合结构(5‑3)、四号缝隙耦合结构(5‑4)、移相器(6)、一号单刀双掷开关(22)、二号单刀双掷开关(23)、一个T型结功分器、三个T型结功合器以及六个直接式热电式功率传感器所构成，具体结构的连接关系如下：第一端口(1‑1)是信号输入端，一号缝隙耦合结构(5‑1)和二号缝隙耦合结构(5‑2)位于共面波导传输线(4)上侧地线，三号缝隙耦合结构(5‑3)和四号缝隙耦合结构(5‑4)则位于共面波导传输线...

【技术特征摘要】
1.一种硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测仪器，该信号检测仪器的传感器部分制作在高阻Si衬底(7)上，是由共面波导传输线(4)、一号缝隙耦合结构(5-1)、二号缝隙耦合结构(5-2)、三号缝隙耦合结构(5-3)、四号缝隙耦合结构(5-4)、移相器(6)、一号单刀双掷开关(22)、二号单刀双掷开关(23)、一个T型结功分器、三个T型结功合器以及六个直接式热电式功率传感器所构成，具体结构的连接关系如下：第一端口(1-1)是信号输入端，一号缝隙耦合结构(5-1)和二号缝隙耦合结构(5-2)位于共面波导传输线(4)上侧地线，三号缝隙耦合结构(5-3)和四号缝隙耦合结构(5-4)则位于共面波导传输线(4)下侧地线，这两对缝隙关于中心信号线对称，它们之间由一个移相器(6)隔开，首先来看频率检测模块(1)，一号缝隙耦合结构(5-1)连接到第二端口(1-2)，第二端口(1-2)与一号单刀双掷开关(22)的输入端相连，一号单刀双掷开关(22)的输出端分别连接到一号T型结功合器和一号直接式热电式功率传感器，同样的，二号缝隙耦合结构(5-2)连接到第三端口(1-3)，第三端口(1-3)与二号单刀双掷开关(23)的输入端相连，二号单刀双掷开关(23)的输出端分别连接到一号T型结功合器和二号直接式热电式功率传感器，而一号T型结功合器的输出端连接到三号直接式热电式功率传感器；再看相位检测模块(2)，三号缝隙耦合结构(5-3)与第四端口(1-4)相连，第四端口(1-...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，褚晨蕾，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32