【技术实现步骤摘要】
一种MCrALY专用超厚膜电弧靶
本技术属于电弧靶设备
,具体涉及一种MCrALY专用超厚膜电弧靶。
技术介绍
随着航空技术的发展,对飞机的要求越来越高,飞机速度快,机动性好,主要取决于发动机的性能。MCrALY(M=Ni,Co或Ni+Co,Cr是铬,Al是铝,Y是钇)涂层是发动机上重要涂层之一,能显著提高发动机叶片、机匣的使用寿命,用做热障涂层、封严涂层的过渡底层。涂层厚度要求大约100μm。采用电弧离子镀制备,所镀膜层厚,单次靶材消耗量大,电弧阴极靶材需足够厚,现有电弧靶结构不能满足这种厚度,还没有达到就需膜层厚度就要更换靶材。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种MCrALY专用超厚膜电弧靶,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种MCrALY专用超厚膜电弧靶,包括阴极体和水管,所述阴极体的上方设置有靶材,所述阴极体的两侧安装有调整螺母,所述调整螺母的下方安装有螺母座,所述阴极体的两侧在调整螺母的上方设置有阴极体密封胶圈,所述水管与阴极体的相接处设置有水管密封胶圈,所述水管的两侧安装有绝缘套Ⅳ,所述绝缘套Ⅳ的上方设置有连接座,所述连接座的下方安装有绝缘套Ⅰ,所述绝缘套Ⅳ套设在靶座上,所述靶座的下方设置有调整手柄,所述水管的底部安装有快接水嘴,所述水管的上方设置有辐阳,所述水管的右侧安装有绝缘套Ⅱ,所述调整螺母与水管的连接处设置有端面密封胶圈,所述螺母座通过连接板与水管固定连接,所述连接座的下方通过垫固定连接有绝缘套Ⅲ。优选的,所述辐阳为纯铁,所述辐阳的内部设置有水冷结构。优选的,所述连接板与水管螺纹连接。与现有技术 ...
【技术保护点】
一种MCrALY专用超厚膜电弧靶,包括阴极体(6)和水管(19),其特征在于:所述阴极体(6)的上方设置有靶材(18),所述阴极体(6)的两侧安装有调整螺母(5),所述调整螺母(5)的下方安装有螺母座(11),所述阴极体(6)的两侧在调整螺母(5)的上方设置有阴极体密封胶圈(7),所述水管(19)与阴极体(6)的相接处设置有水管密封胶圈(10),所述水管(19)的两侧安装有绝缘套Ⅳ(16),所述绝缘套Ⅳ(16)的上方设置有连接座(15),所述连接座(15)的下方安装有绝缘套Ⅰ(1),所述绝缘套Ⅳ(16)套设在靶座(2)上,所述靶座(2)的下方设置有调整手柄(3),所述水管(19)的底部安装有快接水嘴(4),所述水管(19)的上方设置有辐阳(17),所述水管(19)的右侧安装有绝缘套Ⅱ(9),所述调整螺母(5)与水管(19)的连接处设置有端面密封胶圈(8),所述螺母座(11)通过连接板(12)与水管(19)固定连接,所述连接座(15)的下方通过垫(13)固定连接有绝缘套Ⅲ(14)。
【技术特征摘要】
1.一种MCrALY专用超厚膜电弧靶,包括阴极体(6)和水管(19),其特征在于:所述阴极体(6)的上方设置有靶材(18),所述阴极体(6)的两侧安装有调整螺母(5),所述调整螺母(5)的下方安装有螺母座(11),所述阴极体(6)的两侧在调整螺母(5)的上方设置有阴极体密封胶圈(7),所述水管(19)与阴极体(6)的相接处设置有水管密封胶圈(10),所述水管(19)的两侧安装有绝缘套Ⅳ(16),所述绝缘套Ⅳ(16)的上方设置有连接座(15),所述连接座(15)的下方安装有绝缘套Ⅰ(1),所述绝缘套Ⅳ(16)套设在靶座(2)上,所述靶座(2)的下方设置有调整手柄(3...
【专利技术属性】
技术研发人员:侯玉萍,刘洋,
申请(专利权)人:大连维钛克科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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