一种真空锁制造技术

一种真空锁，其包括一个壳体，所述壳体两侧设置有用于与真空腔室连通的通孔，所述壳体内设置有可上下滑动的锁身，所述锁身包括一块顶板，所述顶板两侧对称设置有密封板，所述顶板设置有多个凸出所述顶板表面的滚珠，所述密封板对应所述滚珠设置有多个圆锥形凹槽。本发明专利技术所提供的一种真空锁，结构紧凑，密封性好，能对相邻的两个真空腔室提供有效密封，并且对真空腔室的开口形状适应性强。

Vacuum lock

A vacuum lock, comprising a shell, wherein the shell are arranged at both sides through holes for vacuum chamber and connected, wherein the shell body is provided with a lock body which can slide up and down, wherein the lock body comprises a top plate, the top plate are symmetrically arranged on both sides of the sealing plate, the top plate is provided with a a plurality of projecting the ball roof surface, the sealing plate corresponding to the ball is provided with a plurality of conical grooves. The vacuum lock provided by the invention has the advantages of compact structure, good tightness, effective sealing for two adjacent vacuum chambers, and strong adaptability to the opening shape of the vacuum chamber.

【技术实现步骤摘要】
一种真空锁
本专利技术涉及真空设备
，特别涉及一种真空锁。
技术介绍
真空设备都存在抽真空时间比较长，实验及生产效率比较低的问题，某些应用领域涉及到需要在真空功能室中通入危险气体、遇到某些气体导致工艺原料变质问题、某些工作气体遇到空气中的水会会变质问题等，为此需要配合真空功能室再做一个预真空室，使得样品从预真空室进出，而真空功能室不暴露大气，保持良好真空环境。这样，在预真空室与真空功能室间需要一个阀门，这个阀门可以开闭，打开时在保证样品有效在预真空室与真空功能室间传递的前提下，连接空间需要尽可能小，以减少气体扩散，并保证两个腔体连接尺寸尽可能小，有利于真空腔体设计，不至于因连接空间太大带来真空室的无效增大。现有的预真空室与真空功能室连接，多采用两种方式。一种是采用真空插板阀进行连接，但由于真空插板阀是圆形开孔，连接面积太大，例如，为了传递Φ150mm(Φ6英寸)样品，需要使用标准Φ200mm(Φ8英寸)的插板阀，其连接部分的面积就会是31400cm2。另一种是翻板式真空锁，由于翻板密封性不好，虽然可以通过旋转气缸施加力顶住翻板进行密封，但翻板要想密封良好，主要是通过预真空室与真本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空锁，其特征在于，其包括一个壳体，所述壳体两侧设置有用于与真空腔室连通的通孔，所述壳体内设置有可上下滑动的锁身，所述锁身包括一块顶板，所述顶板两侧对称设置有密封板，所述顶板设置有多个凸出所述顶板表面的滚珠，所述密封板对应所述滚珠设置有多个圆锥形凹槽。

【技术特征摘要】
1.一种真空锁，其特征在于，其包括一个壳体，所述壳体两侧设置有用于与真空腔室连通的通孔，所述壳体内设置有可上下滑动的锁身，所述锁身包括一块顶板，所述顶板两侧对称设置有密封板，所述顶板设置有多个凸出所述顶板表面的滚珠，所述密封板对应所述滚珠设置有多个圆锥形凹槽。2.根据权利要求1所述的真空锁，其特征在于，两个所述密封板之间设置有弹簧。3.根据权利要求1所述的真空...

【专利技术属性】
技术研发人员：关江敏，周艳军，
申请(专利权)人：北京创世威纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11