【技术实现步骤摘要】
一种冷凝式除尘筒
本技术涉及单晶棒加工
,尤其是一种冷凝式除尘筒。
技术介绍
现有单晶炉的除尘筒装置参见附图1所示,是在筒本体10的内部放置了过滤器20,过滤器20为纸质,通过纸质滤芯将杂质过滤掉,杂质附着在滤芯上。这样使用的弊端如下:1、纸质滤芯杂质不便于清理,增加人工成本。2、如果清理不彻底会影响单晶炉运行时的氩气流速,不利于杂质排除。3、滤芯使用更换频繁,增加运行成本。4、由于直接接触高温气体,除尘筒表面温度过高,工作环境质量差。所以,如何提供一种新型除尘筒,解决现有技术中存在的问题,是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此,本技术提供了一种冷凝式除尘筒,解决现有技术中存在的缺陷,具体方案如下:一种冷凝式除尘筒,包括筒本体,筒盖,所述筒本体为圆柱体形状,所述筒本体的上部设有气体入口,所述筒本体的下部设有气体出口,所述筒本体内还设有冷凝管,所述冷凝管的顶部设有圆形顶盖,所述气体入口设于所述圆形顶盖的下部。具体的,所述冷凝管的冷却水出口与所述气体入口位于所述筒本体的同侧,所述冷凝管的冷却水入口与所述冷却水出口对向设置,所述冷却水出口和所述冷却水入口设于所述筒本体的底部。具体的,所述圆形顶盖与所述筒本体内壁活动连接,所述圆形顶盖上部设有提手。具体的,所述圆形顶盖设于所述筒本体自上而下1/5高度处。具体的,所述圆形顶盖以及所述筒本体内壁均设有保温层。具体的,所述气体入口通入的为氩气。具体的,所述冷凝在所述筒本体内的排列为若干个相连接的“弓”字形。具体的,所述冷凝管在所述筒本体内的排列为螺旋状。本技术与现有技术相比,具有的优点是:1、改善 ...
【技术保护点】
一种冷凝式除尘筒,包括筒本体,筒盖,所述筒本体为圆柱体形状,所述筒本体的上部设有气体入口,所述筒本体的下部设有气体出口,其特征在于:所述筒本体内还设有冷凝管,所述冷凝管的顶部设有圆形顶盖,所述气体入口设于所述圆形顶盖的下部。
【技术特征摘要】
1.一种冷凝式除尘筒,包括筒本体,筒盖,所述筒本体为圆柱体形状,所述筒本体的上部设有气体入口,所述筒本体的下部设有气体出口,其特征在于:所述筒本体内还设有冷凝管,所述冷凝管的顶部设有圆形顶盖,所述气体入口设于所述圆形顶盖的下部。2.根据权利要求1所述的冷凝式除尘筒,其特征在于:所述冷凝管的冷却水出口与所述气体入口位于所述筒本体的同侧,所述冷凝管的冷却水入口与所述冷却水出口对向设置,所述冷却水出口和所述冷却水入口设于所述筒本体的底部。3.根据权利要求2所述的冷凝式除尘筒,其特征在于:所述圆形顶盖与所述筒本体内壁活...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘钊,
申请(专利权)人:保定爱廸新能源股份有限公司,英利能源中国有限公司,
类型:新型
国别省市:河北,13
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