OLED器件的制作方法技术

本文公开了一种OLED器件的制作方法，在真空环境下，对OLED器件中的一个或者多个有机膜层进行微波共振除水。在真空条件下采用微波对OLED器件中的水分子快速地进行选择性加热，以此来去除OLED器件中的水分子，在去除水分子的过程中不会改变物质分子的内部结构或者破坏物质分子的化学键，从而避免出现对有机材料造成分解的问题，可有效提升OLED器件的使用寿命。

Method for making OLED device

In this paper, a method for making OLED devices is disclosed. In vacuum, one or more organic films in OLED devices are subjected to microwave resonance water removal. Under vacuum conditions by water molecules on the OLED devices in the microwave quickly selective heating to remove water molecules in OLED devices, chemical bond molecules will not change in the process of the removal of the water molecules in the internal structure or the destruction of the material elements, thus avoiding the problems caused by the decomposition of organic materials, OLED to effectively enhance the service life of the device.

【技术实现步骤摘要】
OLED器件的制作方法
本文涉及但不限于有机电致发光器件(OLED)领域，尤指一种OLED器件的制作方法。
技术介绍
AMOLED(或OLED，有机电致发光器件)由于其较好的显示画质在消费电子类产品市场上迅速扩张，随着OLED技术的日趋成熟，OLED面板的亮度、功耗、色域、色偏等问题都有很大的提升，OLED器件寿命的提升仍是一项比较大的挑战。OLED器件寿命的衰减机制包括内部因素和外部因素，内部因素主要是跟材料本身的特性决定的，需要寻找更稳定的材料以及更佳的材料组合来提升器件寿命；外部因素主要包括环境污染引入的杂质、金属元素的迁移以及水分子残留等。其中，水分子残留对寿命影响尤为严重，OLED器件中水分子的来源包括：1.材料吸水，当前去除该部分水的方式是“在沉积前要对材料进行预热”；2.基板吸水，当前去除该部分水的方式是“在沉积前对基板进行烘烤”；3.环境中的水，当前去除该部分水的方式是“在沉积前进行抽高真空除水”。因为水分子为极性分子，很容易与有机材料吸附，即使在真空环境下也很难从有机材料中游离出来，因此无论采用上述哪种处理方式，均会有少量的水分子残留。即：在OLED器件的每一层界面，仍然会残留有水分子，导致器件寿命降低。
技术实现思路
去除水分子通常用加热的手段，即：材料预热、基板烘烤等，但高真空环境中热传导效应低，无法通过热辐射的方式对蒸镀基板进行加热，另外还可以用红外加热的方式对蒸镀基板进行加热，但这种方式升温速率比较慢，在加热水分子的同时也对其他蒸镀的有机材料进行加热，容易引起材料的晶化。为了解决上述技术问题中的至少之一，本文提供了一种OLED器件的制作方法，可快速去除OLED器件中的水分子，且不会引起OLED器件的材料晶化，以此来保证OLED器件的使用寿命。为了达到本文目的，本文提供了一种OLED器件的制作方法，在真空环境下，对OLED器件中的一个或者多个有机膜层进行微波共振除水。可选地，所述有机膜层包括电子阻挡层和发光层；沉积所述电子阻挡层，通过微波对沉积的所述电子阻挡层进行除水；在进行微波除水后的所述电子阻挡层上沉积所述发光层，并通过所述微波对沉积的所述发光层进行除水。可选地，所述有机膜层还包括空穴注入层和空穴传输层；所述空穴注入层沉积在基板上，所述空穴传输层沉积在所述空穴注入层上，所述电子阻挡层沉积在所述空穴传输层上。可选地，在进行微波除水后的所述发光层上依次沉积空穴阻挡层、电子传输层、电子注入层和金属电极。可选地，所述基板的材质为ITO。可选地，微波的频率为2.45×109Hz。可选地，微波的作用时间为1～10min。可选地，所述OLED器件包括依次连接在一起的多个。可选地，相邻所述OLED器件之间通过电荷生成层连接在一起。与现有技术相比，本专利技术提供的OLED器件的制作方法，在真空条件下采用微波对OLED器件中的水分子快速地进行选择性加热，以此来去除OLED器件中的水分子，在去除水分子的过程中不会改变物质分子的内部结构或者破坏物质分子的化学键，从而避免出现对有机材料造成分解的问题，可有效提升OLED器件的使用寿命。相较于有机材料分子，水分子的质量相对较小，而且，水分子的构成比较特殊，一个水分子是有两个氢原子和一个氧原子组成的，两个氢原子处于氧原子的同一侧，这使得水分子在整体上看来它的电极性和磁极性具有不对称性，这样，在变化的电磁场中，水分子的电极方向会随电磁场不断变化，进而引起水分子的运动，当选择微波的频率与水分子振动频率相匹配时，水分子对此频率的微波产生共振吸收，则动能增大，从而从有机材料上脱附下来，进而在高真空环境下被除去(水分子的共振频率为2.45×109Hz)。本文的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本文而了解。本文的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明附图用来提供对本文技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本文的技术方案，并不构成对本文技术方案的限制。图1为本申请一个实施例所述的OLED器件的制作方法的流程图。图2为两个OLED器件连接在一起的串联结构示意图。具体实施方式为使本文的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本文的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本文，但是，本文还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施，因此，本文的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。下面结合附图描述本文一些实施例的OLED器件的制作方法。本文提供的OLED器件的制作方法，在真空环境下制作OLED器件的过程中，对OLED器件中的一个或者多个有机膜层进行微波共振除水。本专利技术提供的OLED器件的制作方法，在真空条件下采用微波对OLED器件中的水分子快速地进行选择性加热，以此来去除OLED器件中的水分子，在去除水分子的过程中不会改变物质分子的内部结构或者破坏物质分子的化学键，从而避免出现对有机材料造成分解的问题，可有效提升OLED器件的使用寿命。相较于有机材料分子，水分子的质量相对较小，而且，水分子的构成比较特殊，一个水分子是有两个氢原子和一个氧原子组成的，两个氢原子处于氧原子的同一侧，这使得水分子在整体上看来它的电极性和磁极性具有不对称性，这样，在变化的电磁场中，水分子的电极方向会随电磁场不断变化，进而引起水分子的运动，当选择微波的频率与水分子振动频率相匹配时，水分子对此频率的微波产生共振吸收，则动能增大，从而从有机材料上脱附下来，进而在高真空环境下被除去(水分子的共振频率为2.45×109Hz)。其中，较好地，微波的频率与水分子的共振频率相同，为2.45×109Hz。可选地，所述有机膜层包括电子阻挡层和发光层；沉积所述电子阻挡层，通过微波对沉积的所述电子阻挡层进行除水；在进行微波除水后的所述电子阻挡层上沉积所述发光层，通过所述微波对沉积的所述发光层进行除水。电子阻挡层和发光层沉积后的界面对OLED器件寿命的影响比较大，对电子阻挡层和发光层进行除水可较大地提升OLED器件的使用寿命。当然，也可以是对电子阻挡层和发光层沉积后的界面中的一个进行微波除水，也可实现本申请提升寿命的目的，可根据不同产品对OLED器件的寿命要求的不同进行选择，其宗旨未脱离本专利技术的设计思想，在此不再赘述，应属于本申请的保护范围内。具体地，所述有机膜层还包括空穴注入层和空穴传输层；所述空穴注入层沉积在基板(其材质优选为ITO)上，所述空穴传输层沉积在所述空穴注入层上，所述电子阻挡层沉积在所述空穴传输层上。具体地，在进行微波除水后的所述发光层上依次沉积空穴阻挡层、电子传输层、电子注入层和金属电极。在真空环境下制作OLED器件时，也可通过微波对空穴注入层、空穴传输层空穴阻挡层、电子传输层、电子注入层和金属电极中的一个或者多个进行除水，也可以是对空穴注入层、空穴传输层空穴阻挡层、电子传输层、电子注入层和金属电极均不进行微波除水，均可实现本申请的目的，其宗旨未脱离本专利技术的设计思想，在此不再赘述，均应属于本申请的保护范围内。较好地，微波的频率为2.45×109Hz本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种OLED器件的制作方法，其特征在于，在真空环境下，对OLED器件中的一个或者多个有机膜层进行微波共振除水。

【技术特征摘要】
1.一种OLED器件的制作方法，其特征在于，在真空环境下，对OLED器件中的一个或者多个有机膜层进行微波共振除水。2.根据权利要求1所述的OLED器件的制作方法，其特征在于，所述有机膜层包括电子阻挡层和发光层；沉积所述电子阻挡层，通过微波对沉积的所述电子阻挡层进行除水；在进行微波除水后的所述电子阻挡层上沉积所述发光层，并通过微波对沉积的所述发光层进行除水。3.根据权利要求2所述的OLED器件的制作方法，其特征在于，所述有机膜层还包括空穴注入层和空穴传输层；所述空穴注入层沉积在基板上，所述空穴传输层沉积在所述空穴注入层上，所述电子阻挡层沉积在所述空穴传输层上。4.根据权利要求3所述的OLED器件...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤娟娟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11