【技术实现步骤摘要】
本专利技术申请是,国际申请日为2013年03月08日、国际申请号为PCT/JP2013/056443、进入中国国家阶段的国家申请号为201380015932.7、专利技术名称为“基板处理装置、处理装置以及元件制造方法”的专利技术申请的分案申请。
本专利技术涉及基板处理装置、处理装置以及元件制造方法。另外,本专利技术涉及对位于圆筒部件的曲面上的被处理物体实施处理的处理装置以及元件制造方法。本申请基于2012年3月26日提出申请的日本特愿2012-069092号及2012年11月21日提出申请的日本特愿2012-255693号主张优先权,并在此援用其内容。
技术介绍
在光刻工序所使用的曝光装置中,已知下述专利文献所公开的那样的、使用圆筒状或者圆柱状的光罩对基板进行曝光的曝光装置(例如,参照专利文献1、专利文献2、专利文献3)。另外,还已知如下液晶显示元件制造用的曝光装置:与卷绕于能够旋转的输送辊上的具有挠性的被曝光体(膜带(filmtape)状)接近地,配置在内部配置有光源的圆筒状的光罩,使光罩和输送辊旋转,对被曝光体连续地曝光(例如,参照专利文献4)。不仅在使用板状的光罩的情况下,即使在使用圆筒状或者圆柱状的光罩对基板进行曝光的情况下,为了按照光罩的图案的像而良好地对基板进行曝光,也需要精确地获取光罩的图案的位置信息。因此,需要研究出能够精确地获取圆筒状或者圆柱状的光罩的位置信息、且能够精确地调整该光罩与基板的位置关系的技术。在专利文献3以及专利文献5中公开了如下结构:在圆筒状的光罩中的图案形成面的规定区域中,对图案以规定的位置关系形成位置信息获取用的标记( ...
【技术保护点】
一种基板处理装置,其将具有挠性的长条的片状基板卷绕在能够绕中心轴旋转的旋转筒的圆筒状的外周面的一部分上而沿长度方向搬送,同时在由所述旋转筒支承的所述片状基板上形成图案,所述基板处理装置的特征在于,具有:刻度部件,其为了计测所述旋转筒的外周面的圆周方向上的位置变化而与所述旋转筒一同绕所述中心线旋转,并且具有刻设为环状的刻度部;处理机构,其在所述片状基板开始与所述旋转筒的外周面接触的进入区域与从所述外周面离开的脱离区域之间的圆周方向的特定位置上,在所述片状基板上形成图案;第1图案检测装置,其在沿着所述外周面的设定于所述进入区域与所述特定位置之间的第1检测区域内,检测沿所述长度方向离散或连续地形成在所述片状基板上的特定图案;第1读取机构,其从所述中心线观察而与所述刻度部相对地配置在与所述第1检测区域相同的方位,并读取所述刻度部;第2图案检测装置,其在沿着所述外周面的设定于所述特定位置与所述脱离区域之间、或设定于所述第1检测区域与所述特定位置之间的第2检测区域内,检测所述片状基板的所述特定图案;和第2读取机构,其从所述中心线观察而与所述刻度部相对地配置在与所述第2检测区域相同的方位,并读取所述 ...
【技术特征摘要】
2012.03.26 JP 2012-069092;2012.11.21 JP 2012-255691.一种基板处理装置,其将具有挠性的长条的片状基板卷绕在能够绕中心轴旋转的旋转筒的圆筒状的外周面的一部分上而沿长度方向搬送,同时在由所述旋转筒支承的所述片状基板上形成图案,所述基板处理装置的特征在于,具有:刻度部件,其为了计测所述旋转筒的外周面的圆周方向上的位置变化而与所述旋转筒一同绕所述中心线旋转,并且具有刻设为环状的刻度部;处理机构,其在所述片状基板开始与所述旋转筒的外周面接触的进入区域与从所述外周面离开的脱离区域之间的圆周方向的特定位置上,在所述片状基板上形成图案;第1图案检测装置,其在沿着所述外周面的设定于所述进入区域与所述特定位置之间的第1检测区域内,检测沿所述长度方向离散或连续地形成在所述片状基板上的特定图案;第1读取机构,其从所述中心线观察而与所述刻度部相对地配置在与所述第1检测区域相同的方位,并读取所述刻度部;第2图案检测装置,其在沿着所述外周面的设定于所述特定位置与所述脱离区域之间、或设定于所述第1检测区域与所述特定位置之间的第2检测区域内,检测所述片状基板的所述特定图案;和第2读取机构,其从所述中心线观察而与所述刻度部相对地配置在与所述第2检测区域相同的方位,并读取所述刻度部。2.根据权利要求1所述的基板处理装置,其特征在于,当由所述第2图案检测装置检测到所述第1图案检测装置所检测到的所述特定图案时,将由所述第1读取机构计测的位置与由所述第2读取机构计测的位置之间的差值,和对应于所述1检测区域与所述第2检测区域之间的圆周方向上的张开角的值进行比较,且在产生误差时,认为所述片状基板在所述旋转筒上发生了滑动或伸缩。3.根据权利要求2所述的基板处理装置,其特征在于,通过所述处理机构在所述片状基板上形成图案的所述特定位置包括分别沿所述旋转筒的外周面的圆周方向、以及所述旋转筒的所述中心轴的方向以规定间隔错开的第1特定位置和第2特定位置,所述处理机构具有在所述第1特定位置将图案形成在所述片状基板上的第1处理部、和在所述第2特定位置将图案形成在所述片状基板上的第2处理部。4.根据权利要求3所述的基板处理装置,其特征在于,所述处理机构是将与所述图案对应的曝光用的光分别在所述第1特定位置和所述第2特定位置向所述片状基板投射的曝光机构。5.根据权利要求3或4所述的基板处理装置,其特征在于,还具有:第3读取机构,其从所述中心线观察而与所述刻度部相对地配置在与所述第1特定位置相同的方位,并读取所述刻度部;和第4读取机构,其从所述中心线观察而与所述刻度部相对地配置在与所述第2特定位置相同的方位,并读取所述刻度部。6.根据权利要求4所述的基板处理装置,其特征在于,所述曝光机构具有:驱动部,其使圆筒光罩与所述旋转筒的旋转同步地旋转,该圆筒光罩具有与应形成在所述片状基板上的所述图案对应的圆筒面状的光罩图案;第1投影系统,其将所述光罩图案的第1区域在所述第1特定位置向所述片状基板投影;和第2投影系统,其将所述光罩图案的第2区域在所述第2特定位置向所述片状基板投影。7.根据权利要求4所述的基板处理装置,其特征在于,所述曝光机构具有:第1扫描单元,其在所述第1特定位置,沿着在与所述旋转筒的所述中心轴平行的方向上延伸的扫描线对聚光进行扫描,同时基于与应形成在所述片状基板上的第1图案区域内的所述图案对应的图案数据,来调制所述聚光;和第2扫描单元,其在所述第2特定位置,沿着在与所述旋转筒的所述中心轴平行的方向上延伸的扫描线对聚光进行扫描,同时基于与应形成在所述片状基板上的第2图案区域内的所述图案对应的图案数据,来调制所述聚...
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