一种超高真空样品输运系统技术方案

本发明专利技术公开了超高真空样品输运系统，包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室，串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片，超高真空样品室铺设轨道；且所述的超高真空样品输运小车主要由2个超高真空样品存储台，超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁，设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间，超高真空样品输运小车下部设有4‑6个独特的小车导向轮，且小车导向轮在所述轨道上运行，串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。实现在超高真空传送系统内同时完成16块样品的输运。

Ultrahigh vacuum sample transport system

The invention discloses an ultra high vacuum sample transport system, including ultra high vacuum sample transmission ultra high vacuum sample chamber and trolleys series, gate valve plate is arranged between a series of ultra high vacuum chamber, ultra high vacuum chamber track laying; ultra high vacuum sample and the transport vehicle is mainly composed of small 2 ultra high vacuum sample storage, ultra high vacuum sample storage end are equipped with permanent magnet is fixed on the sample storage table, a magnetic metal plate isolation between the 2 ultra high vacuum sample storage, ultra high vacuum sample transport trolley is arranged on the lower part of the 4 6 unique car steering wheel, and the car steering wheel running on the track, ultra high vacuum is provided with a sample surface outdoor series drive magnet. To realize the transport of 16 samples at the same time in the ultrahigh vacuum transfer system.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种超高真空仪器，特别是一种超高真空样品输运系统与小车。
技术介绍
一般来说，超高真空设备系统由真空泵、真空计、真空腔体及其他部件并借助于真空管道，按照一定的要求组合而成。通过这些以在一定时间内获得并保持特定的真空环境(超高真空环境的真空度要好于1×10-9mbar)，确保某项工艺过程或者物理过程在特定的真空系统内实施。超高真空系统在半导体、机械加工、物理、化学、材料和生物科学等各个领域都有广泛的应用。在超高真空系统中完成样品的制备后，为了保证样品不受外界环境的污染，保证样品性质的稳定性，通常需要在不破坏真空环境的情况下进行样品的原位测试和分析。目前，可以把样品的制备系统与测试系统集成在一套超高真空系统中，这种系统需要一些存储转移样品的机械来完成样品在制备系统和测试系统之间的传递，使样品的制备和分析都在同一超高真空环境中完成。但是，由于在一套系统中能够集成的测试系统是有限的，而且只能集成一些小型的简单的测试系统，因此想要更全面的测量和分析样品的性质，就必须把样品从真空系统中取出，转移到其他测量系统中进行测试分析，在这个过程中不可避免的会接触到空气和粉尘，从而造成了样品的污染，使样品的成分和性质发生变化，甚至使样品完全被破坏。为了实现样品的准确测量，人们想到了很多的办法来保护样品，例如：现在真空腔体内通入惰性气体做保护气体，再将样品取出并快速放入干净的真空箱中；或者现在样品上镀上一层保护膜再取出等等。但是大都操作复杂，而且每种方法都必须开腔取样，使样品暴露在非真空环境，对样品造成一定程度的污染。目前，还没有能够在不破坏超高真空环境的情况下，在完成一组(16个)样品的制备存储的同时，实现样品在不同超高真空系统内转移传递功能的设备。专利技术型内容本专利技术目的是，解决如下技术问题，提供一种超高真空样品输运小车，该小车可以保证一组(16个)样品在超高真空传送(输运)系统内运动，样品从一个超高真空系统转移到其他多个超高真空系统的过程中，一组(16个)样品时刻处于超高真空环境中。本专利技术的技术方案是，超高真空样品输运系统，包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室，串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片，超高真空样品室铺设轨道；且所述的超高真空样品输运小车主要由2个超高真空样品存储台，超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁，设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间，超高真空样品输运小车下部设有4-6个独特的小车导向轮，且小车导向轮在所述轨道上运行，串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。串联的超高真空样品室即真空互联系统上设有驱动磁铁5，驱动磁铁5驱动存储台的永磁铁，从而输运小车在系统内平滑的运动到指定位置，转动磁铁5亦驱动小车上的样品存储台转动，通过样品传送装置依次将样品转移到指定的系统内，完成后续的实验操作。优选地，所述2个样品存储平台，每个样品存储台是一个八面体结构，2个样品存储平台可以同时装载16块样品进行输运。优选地，所述2个固定在样品存储台的永磁铁实现超高真空样品小车在传送系统内的运动，同时，样品存储台通过旋转轴安装在样品小车上，可以实现样品存储台360°的自由旋转，完成样品的装载。优选地，所述6个独特小车导向轮既可以实现以最小的阻力在超高真空传送系统内固定的轨道上平滑运动，又可以实现小车在闸板阀之间的跨越运动。优选地，所述1个μ金属隔板通过在2个样品存储台之间的μ金属(隔磁金属)隔板排除2个永磁铁之间的相互干扰，从而满足磁铁驱动小车在传送系统内轨道上运动同时也可以实现样品存储台360°的自由旋转，完成样品的装载。有益效果：本专利技术超高真空样品输运小车可以一次转移一组(16个)样品，大大提高了样品转移的效率。与此同时，还可以保证样品在超高真空的环境下，实现一组(16个)样品在多个不同系统之间进行传递，防止外界对样品的污染，并且结构简单，使用方便。附图说明图1为本专利技术样品输运小车的斜视图；图2为本专利技术样品输运小车的侧视图；图3为本专利技术的真空互联系统的结构示意图。具体操作方式如图所示，本专利技术提供了一种用于在不同超高真空系统间转移存储样品的输运小车。图1示出了根据本专利技术实施方案的整体结构的斜视图。在本实施方案中，通过样品传送装置和真空互联系统上的磁铁5(外部驱动用磁铁)配合，把一组(16个)样品装载到超高真空样品输运小车的存储平台中，然后通过图3示出的真空互联系统上的磁铁5驱动输运小车在系统内平滑的运动到指定位置，转动磁铁5驱动小车上的样品存储台转动，通过样品传送装置依次将样品转移到指定的系统内，完成后续的实验操作。3为轮子，4为隔磁板，顶部2为永磁体。图3中，也是超高真空样品输运小车过阀板的示意图(在不同的超高真空室内移动及转动)，中间的超高真空样品输运小车由2个超高真空样品存储台1(两侧均有存储台)；真空互联系统外壳(一般为管道)表面也有磁铁，通过小车的磁铁和管道外的磁铁异性相吸，拉动管道外的磁铁，管道内的小车也就会运动了，转动磁铁，样品存储台也会受到力转动。虽然以上对本专利技术的实施案例的结构、特征和具体的操作方法进行了详细的描述，但是这些描述并不意图限制本专利技术。任何本领域普通技术人员阅读这些描述后，在本专利技术的精神下对本专利技术进行显而易见的改进或变更都是可能的，并且这些改进和变更都落入本专利技术的保护范围内。本专利技术的保护范围仅由所附权利要求书确定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
超高真空样品输运系统，其特征是包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室，串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片，超高真空样品室铺设轨道；且所述的超高真空样品输运小车主要由2个超高真空样品存储台，超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁，设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间，超高真空样品输运小车下部设有4‑6个独特的小车导向轮，且小车导向轮在所述轨道上运行，串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。

【技术特征摘要】
1.超高真空样品输运系统，其特征是包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室，串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片，超高真空样品室铺设轨道；且所述的超高真空样品输运小车主要由2个超高真空样品存储台，超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁，设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间，超高真空样品输运小车下部设有4-6个独特的小车导向轮，且小车导向轮在所述轨道上运行，串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁。2.根据权利要求1所述的超高真空样品输运小车，其特征是拥有2个超高真空样品存储平台，该超高真空样品存储台...

【专利技术属性】
技术研发人员：何亮，王克杰，刘文卿，徐高翔，徐永兵，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32