【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超高真空设备,特别是一种适用于超高真空系统的超高真空通光窗
技术介绍
在磁光阱超高真空系统中,要求窗口具有较高的透过率,以获得较高的冷却功率, 因此要求超高真空窗口镀增透膜。而市场上销售的超高真空窗口通常不镀膜,但是对成品窗口镀膜工艺复杂、质量难以达到要求且镀膜成本高、灵活性不强。而将玻璃基片镀好膜后用铟封制作的超高真空窗口,由于铟的熔点较低,使得装有超高真空窗口的真空系统不能高温烘烤,整个真空系统的真空度难以达到要求,且铟封窗口存在制作工艺复杂,成品率低,易损坏等原因。
技术实现思路
本专利技术的目的是为特殊通光要求的超高真空系统提供一种超高真空窗口,该超高真空窗口制作简单、快捷、方便、低成本、可操作性强、结构比较灵活。本专利技术的技术解决方案如下一种超高真空窗口,包括一个法兰,其特征在于还包括一个圆筒和一块圆形的窗口玻璃板,所述的圆筒的一端和所述的法兰密封相连,该圆筒的另一端与所述的窗口玻璃板密封相连。所述的法兰为具有金属刀口和通孔内台阶的法兰。所述的圆筒采取金属材料制作成一端具有周边台阶的圆筒,所述的圆筒及其周边台阶与所述的法兰的内部结构相配合,该圆筒的另一端具有内周沿台阶,供所述的窗口玻璃板安置封装。所述的圆筒的内壁具有内螺纹,供所述的窗口玻璃板和卡环安装。所述的圆形的窗口玻璃板镀有通光波长的增透膜。所述的圆形的窗口玻璃板为平凸透镜。本专利技术的技术效果本专利技术超高真空窗口通过法兰盘安装于超高真空系统上,为超高真空系统提供一个高透射率的观测、通光窗口。本专利技术超高真空窗口为超高真空系统可提供一个快捷、方便、低成本、制作简单、 灵活的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘洪力,徐震,尹士奇,洪涛,王育竹,
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所,
类型:发明
国别省市:
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