管路连接环结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种管路连接环结构，包括同心且径向叠套的金属环、塑胶环及一O形环。所述金属环在径向外侧面具有一嵌槽，提供该塑胶环嵌设。该塑胶环具有一体形成的环本体、凸部、及环槽。通过上述构件的组成，实施于管路连接处，以填补管路连接处的间隙，避免管路内的工作气体外泄。

【技术实现步骤摘要】

本创作系有关于密封环之
，特别是一种管路连接环结构。
技术介绍
按，半导体制程中，在生产机具内必然会产生有害的工作气体，而这些工作气体必须透过管路输送到后端的气体处理设备作妥善处理。而管路一般是由数个金属管串接所构成。请参阅图7所示，该金属管包含第一、二管体82、84配合夹具86夹持串接，为了避免第一、二管体82、84连接处存有间隙，都必须使用连接环9以填补第一、二管体82、84连接处的间隙。传统的连接环9的结构，大致具有一金属环92以及围绕于金属环92外侧面的O形环94。当第一、二管体82、84与连接环9被夹具86夹紧后，第一、二管体82、84未端的凸缘822、842(或称法兰)，会紧迫O形环94，透过O形环94以填补第一、二管体82、84连接处的间隙，进而防止管路内的工作气体的泄漏。然而，O形环94的材质通常为橡胶，但在现今的半导体制程中，橡胶材质的O形环94具有极佳的止漏效果，但确容易受到工作气体的腐蚀而受损，降低O形环的使用寿命。为避免O形环94因腐蚀而受损，导致管路内的工作气体外泄，所以O形环94必须定期进行更换。然而，短周期的更换；不但会造成相关成本的浪费，更替时尚必须配合生产机具的停机，导致产能损失、维修人员、物料成本等负担。另外，已知连接环9的金属环92形态固定，无法提供适度的变形空间，造成第一、二管体82、84末端的凸缘822、842(或称法兰)与金属环9之间，形成较大的间隙A1、A2，而第一、二管体82、84内流通的工作气体，则容易自该些间隙A1、A2渗透，并直接侵蚀O形环94。
技术实现思路
有鉴于上述已知技术的缺陷，本创作之一目的，即透过结构的设计，减低O形环与工作气体的接触量，延长O形环使用寿命与维修周期。为达成上述目的，本创作提出一种管路连接环结构，包括同心且径向叠套之一金属环、一塑胶环及一O形环。该金属环于径向外侧面具有一嵌槽，提供该塑胶环嵌设。该塑胶环具有一体形成之一环本体、一凸部、及一环槽。藉由上述构件之组成，实施于管路连接处，以填补管路连接处之间隙，避免管路内之工作气体外泄。优选的，其中所述嵌槽两侧的侧壁具有一适度的活动空间，所述活动空间用以改变该嵌槽的大小。优选的，其中所述环本体轴向的两端面设置有一斜面或一垂直面；而所述嵌槽两侧的侧壁对应形成一斜面或一垂直面，其中嵌槽两侧的侧壁在受到推抵时能够与环本体轴向的两端面形成适配的抵接。优选的，其中所述O形环的外径面套接有衬套。通过上述构件的组成，实施于管路连接处，以填补管路连接处的间隙，避免管路内的工作气体外泄。附图说明图1为本技术立体示意图图2为本技术实施例示意图图3为图2所示实施例局部剖面示意图(一)。图4为图2所示实施例局部剖面示意图(二)。图5为本技术另一实施例示意图。图6为本技术另一实施例剖面示意图。图7为已知连接环实施例剖面示意图附图序号说明：管路连接环100、金属环1、嵌槽12、侧壁122、124、塑胶环2、环本体22、凸部24、环槽26、O形环3、第一管体82、凸缘822、第二管体84、凸缘842、夹具86、衬套4、内环槽42、连接环9、金属环92、O形环94、间隙A1、A2具体实施方式以下请参照相关图式进一步说明本创作管路连接环结构实施例。为便于理解本创作实施方式，以下相同零件系采相同符号标示说明。请参阅图1至4所示，该管路连接环100其包括同心且径向叠套(即同心且依次套接)的一金属环1、一塑胶环2及一O形环3。通过上述构件组成的管路连接环100设置于管路连接处(例如第一、二管体82、84间)，以填补管路连接处的间隙，避免管路内的工作气体外泄。上述金属环1，于径向外侧面具有一嵌槽12，提供塑胶环2嵌设，且嵌槽12两侧的侧壁122、124，具有一适度的活动空间，活动空间的设置用以改变该嵌槽12的大小。实施时，侧壁122、124相对的端面，可为一斜面或一垂直面。上述塑胶环2具有一体形成的一环本体22、一凸部24、一环槽26。所述环本体22容置于金属环1的嵌槽12中，环本体22轴向的两端面，配合金属环1侧壁122、124的端面，可为一斜面或一垂直面(即侧壁122、124分别对应的环本体22的端面可以为一斜面或一垂直面)。所述凸部24是形成于环本体22径向外侧面，并突出于金属环1的嵌槽12外，其轮廓略小于塑胶环2。所述环槽26沿该凸部24外环面形成，提供上述O形环3容置。是以，上述即为本创作所提供一较佳实施例管路连接环各部构件及组装方式的介绍，下面再将本创作的实施例作动特点介绍如下。首先，管路中第一、二管体82、84的连接处，分别具有供夹具86夹持的凸缘822、842(或称法兰)，该凸缘822、842对应的端面具有第一、第二台阶。其中，管路连接环100容置于第一、二管体82、84的凸缘822、842之间，使塑胶环2的凸部24及O形环3容置于凸缘822、842端面的第一台阶，而塑胶环2的环本体22与金属环1则容置于该凸缘822、842端面的第二台阶处。上述实施方式中，塑胶环2的材料包含塑胶(如铁氟龙，但本创作并不以此为限)，而第一、二管体82、84的材料包含(但不限)金属铝。由于塑胶和金属的硬度不同，基于此硬度差异，当夹具86紧固第一、第二管体82、84的凸缘822、842时，管路连接环100会分别在凸缘822、842端面上形成数道密封防护。当金属环1的两侧壁122、124受第一、第二管体82、84的凸缘822、842推抵，分别朝塑胶环2的环本体22抵接，可使金属环1两侧壁122、124外周缘与第一、第二管体82、84其凸缘822、842端面(第二台阶)形成第一道密封防护。另外，第一、第二管体82、84其凸缘822、842端面(第一台阶)分别与塑胶环2的凸部24及O形环3两侧紧密抵接时，可分别形成第二、第三道密封防护。综上所述，通过数道密封防护的设计，在第一、第二管体82、84连接处，妥适的形成密封效果。另外，通过金属环1、塑胶环2在第一、第二管体82、84的凸缘822、842端面所形成的第一、第二道密封防护，大幅降低工作气体泄漏至O形环3的量，从而减缓O形本文档来自技高网...

【技术保护点】
管路连接环结构，其特征在于：包括同心且径向叠套的金属环、塑胶环及O形环，其中：所述金属环在径向外侧面具有一嵌槽，所述嵌槽用于提供塑胶环嵌设；所述塑胶环具有一体形成的环本体、凸部、及环槽；所述环本体容置于嵌槽中；所述凸部形成于该环本体径向外侧面，并突出于该嵌槽外，凸部轮廓小于该环本体；以及所述环槽形成于该凸部径向外侧面，环槽用于提供O形环容置。

【技术特征摘要】
1.管路连接环结构，其特征在于：包括同心且径向叠套的金
属环、塑胶环及O形环，其中：所述金属环在径向外侧面
具有一嵌槽，所述嵌槽用于提供塑胶环嵌设；
所述塑胶环具有一体形成的环本体、凸部、及
环槽；
所述环本体容置于嵌槽中；
所述凸部形成于该环本体径向外侧面，并突出于该
嵌槽外，凸部轮廓小于该环本体；以及
所述环槽形成于该凸部径向外侧面，环槽用于提供O形环
容置。
2.根据权利要求1所述的管路连接环结构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩讚熙，
申请(专利权)人：长智贸易股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71