加热机台制造技术

一种用于加热基板的加热机台，基板包含操作区与环绕操作区的非操作区。加热机台包含壳体、加热板以及加压机构。壳体具有容置腔以容置基板，其中壳体包含上盖。加热板安装于容置腔，用以承载并加热基板。加压机构固定于上盖上，用以在加热基板时施加压力于基板的非操作区的至少相对两侧。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种制备显示装置的治具，特别是有关于一种加热机台。
技术介绍
在显示器的基板制作过程中，往往需要涂布或者贴附多种层体/膜于基板表面，并经由加热烘烤等方式而使这些层体定型。举例而言，在光刻微影工艺中，可以在基板表面涂布光阻液体，并烘烤而形成光刻胶层，以进行后续的光刻微影工艺。然而，在加热烘烤基板的过程中，容易因为基板的材料、基板上的层体图案的布设、基板内离子的分布、基板的相对表面温度差异等其它原因，导致基板受热翘曲。此基板暂时性翘曲容易使得基板上待烘烤定型的液体受热不均，而有部份区域没有完全定型而附着力欠佳，造成容易剥离或无法作用。
技术实现思路
根据本专利技术的一态样提供一种用于加热基板的加热机台，基板包含操作区与环绕操作区的非操作区。加热机台包含壳体、加热板以及加压机构。壳体具有容置腔以容置基板，其中壳体包含上盖。加热板安装于容置腔，用以承载并加热基板。加压机构固定于上盖上，用以在加热基板时施加压力于基板的非操作区的至少相对两侧。于本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于加热一基板的加热机台，该基板包含一操作区与环绕该操作区的一非操作区，其中，该加热机台包含：一壳体，具有一容置腔以容置该基板，该壳体包含一上盖；一加热板，安装于该容置腔，用以承载并加热该基板；以及一加压机构，固定于该上盖上，用以在加热该基板时施加压力于该基板的该非操作区的至少相对两侧。

【技术特征摘要】
2015.10.14 TW 1041337271.一种用于加热一基板的加热机台，该基板包含一操作区与环绕该操作
区的一非操作区，其中，该加热机台包含：
一壳体，具有一容置腔以容置该基板，该壳体包含一上盖；
一加热板，安装于该容置腔，用以承载并加热该基板；以及
一加压机构，固定于该上盖上，用以在加热该基板时施加压力于该基板的
该非操作区的至少相对两侧。
2.根据权利要求1所述的加热机台，其特征在于，该加压机构包含：
至少一对升降装置，设置于该上盖，每一该些升降装置包含一推杆；以及
多个接触头，分别设置于该些推杆的一端，用以接触该基板。
3.根据权利要求2所述的加热机台，其特征在于，该多个接触头的直径
为1毫米。
4.根据权利要求2所述的加热机台，其特征在于，该多个接触头的材料
为聚醚醚酮。
5.根据权利要求2所述的加热机台，其特征在于，该上盖包含多个上盖<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈姵伃，王兴祥，江志滨，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71