主动式的设备自动化程序的仿真测试方法和系统技术方案

本发明专利技术提供一种主动式的设备自动化程序的仿真测试方法和系统，应用于一个包括主体、输入端和输出端的测试工具中，所述方法包括：所述测试工具使用至少一个控件来进行与设备自动化程序之间的数据传输；其中，所述每个所述控件各代表一个测试实体。本发明专利技术的方法和系统能够实现测试过程中的全自动化，避免了因人为干预而导致的效率低下的问题，并且可以在短时间内发送多条消息，从而能够模拟多个半导体晶圆容器同时放在一个机台上进行交叉跑货的情况，提高了EAP程序的精确性，减少了跑错货或者跑死货情况的发生，进而提高了产能和良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体生产线领域，尤其涉及一种主动式的设备自动化程序的仿真测试方法和系统。
技术介绍
目前，在半导体工厂的生产中普遍都使用自动化机制，以提高机台利用率，提高晶圆产出和良率，避免人为误操作而引起的产品报废等。设备自动化程序(EquipmentAutomationProgram，简称：EAP)是实现自动化机制的极其重要的组成部分，其起到了一个承上启下的作用。因为有了设备自动化程序才能从物料执行系统(MaterialExecutionSystem，简称：MES)上查询到晶圆信息，做跑货前的相关条件的检查和判断，并在机台上选择工艺制程、设定工艺参数、选择晶圆片数、自动收集机台的实时数据、在MES上做帐等。所以EAP的安全性直接影响产品的质量和产量。在EAP完成开发后投入到生产线上之前，需要验证其安全性和可行性，进而降低生产的风险，因此EAP需要被进行大量的仿真测试来模拟生产线上的生产流程，在测试过程中，出于成本的考虑，不可能采用实际生产线上的机台和晶圆来进行EAP的测试，所以就需要一套能够模拟机台与EAP进行通信的方法。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术提供一种主动式设备自动化程序模拟测试的系统。本专利技术解决技术问题所采用的技术方案为：一种主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，所述方法包括：提供若干套待测试实体、基于该若干套待测试实体设置的EAPr>系统和基于所述若干套待测实体设置的测试流程文件，且该测试流程文件中包括基于每套所述待测试实体进行测试的若干测试流程消息；提供一设置有输入端的测试工具；当需要基于任意一套所述待测试实体对所述EAP系统进行测试时，通过所述输入端向所述测试工具中输入一基于该套所述待测试实体的测试流程配置文件，所述测试工具根据所述测试流程配置文件调取所述测试流程文件中与该套待测试实体相应的一测试流程消息，以对所述EAP系统进行测试。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，所述测试工具包括一模拟系统和库文件，所述方法还包括：所述测试工具根据所述测试流程配置文件从所述库文件调取所述测试流程文件中与该套待测试实体相应的测试流程消息后，并将该测试流程消息存储至测试工具内存中，所述模拟系统根据该测试流程消息对所述EAP系统进行测试后，输出测试结果。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，当完成对基于若干套待测试实体设计的EAP系统的测试后，所获得的每个测试结果均以log文件的形式存储于同一存储单元中。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，每套所述待测试实体均仅包括一个机台。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，每套所述待测试实体均至少包括一个机台、与该机台对应的一个或多个标准机械接口和智能标签器。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，每一所述测试流程消息中均至少包括：消息序列号、消息名称、触发条件、延迟时间、驱动名字和消息类型。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，所述方法还包括：所述模拟系统根据所述消息序列号确定首先需要被发送的测试流程消息，并判断该测试流程消息是否需要被立刻或延时发送至所述EAP系统；当该测试流程消息被立刻或延时发送至所述EAP系统后，所述模拟系统再确定下一条需要被发送的测试流程消息。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，所述方法还包括：当所述模拟系统确定了首先需要被发送的测试流程消息后，所述模拟系统检查该测试流程消息的所述触发条件和所述延迟时间，并进行以下判断：若所述触发条件和所述延迟时间均为空，则所述模拟系统立刻发送该测试流程消息至所述EAP系统；若所述触发条件不为空，则待所述触发条件达成后，再检查所述延迟时间属性值是否为空；若延迟时间为空，则所述模拟系统立刻发送该消息至所述EAP系统；若延迟时间不为空，则等待所述延迟时间所要求的一段时间后，再将该测试流程消息发送至所述EAP系统。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，所述触发条件为所述模拟系统接收到所述EAP系统发送的一条特定消息；所述方法还包括：若所述触发条件不为空，当所述模拟系统接收到所述EAP系统发送的一条初级消息时，所述模拟系统判断该初级消息是否为所述特定消息，当所述初级消息与所述特定消息一致时，所述触发条件达成，当所述初级消息与所述特定消息不一致时，所述模拟系统继续等待接收所述特定消息。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，所述测试工具和所述EAP系统被固化于同一操作终端中。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，所述测试工具和所述EAP系统被固化于不同的操作终端中。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，所述测试工具对所述EAP系统进行测试的过程中，所述测试工具与所述EAP系统之间的数据传输满足半导体设备通信标准。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其中，所述测试工具与所述EAP系统通过TCP/IP传输信息。一种主动式的设备自动化程序的仿真测试系统，其中，所述系统包括一测试工具和基于若干套待测试实体设计的EAP系统，所述测试工具与所述EAP系统通信连接；所述测试工具包括：一输入端，用于向所述测试工具中输入基于一待测试实体的测试流程配置文件；一主体，所述主体为一模拟系统，用于对所述EAP系统进行测试；一输出端，用于输出测试结果；其中，所述测试工具根据由所述输入端输入的所述测试流程配置文件从一库文件中调取所述测试流程文件中与该套待测试实体相应的测试流程消息后，将该测试流程消息存储至所述测试工具的内存中，所述模拟系统根据该测试流程消息对所述EAP系统进行测试后，由所述输出端输出测试结果。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试系统，其中，每套所述测试实体均至少包括一个机台、与该机台对应的一个或多个标准机械接口和智能标签器。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试系统，其中，每套所述待测试实体均仅包括一个机台。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试系统，其中，每一所述待测试流程消息中均至少包括：消息序列号、消息名称、触发条件、延迟时间、驱动名字和消息类型。所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试系统本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其特征在于，所述方法包括：提供若干套待测试实体、基于该若干套待测试实体设置的EAP系统和基于所述若干套待测试实体设置的测试流程文件，且该测试流程文件中包括基于每套所述待测试实体进行测试的若干测试流程消息；提供一设置有输入端的测试工具；当需要基于任意一套所述待测试实体对所述EAP系统进行测试时，通过所述输入端向所述测试工具中输入一基于该套所述待测试实体的测试流程配置文件，所述测试工具根据所述测试流程配置文件调取所述测试流程文件中与该套待测试实体相应的一测试流程消息，以对所述EAP系统进行测试。

【技术特征摘要】
1.一种主动式的设备自动化程序的仿真测试方法，其特征在于，
所述方法包括：
提供若干套待测试实体、基于该若干套待测试实体设置的EAP
系统和基于所述若干套待测试实体设置的测试流程文件，且该测试流
程文件中包括基于每套所述待测试实体进行测试的若干测试流程消
息；
提供一设置有输入端的测试工具；
当需要基于任意一套所述待测试实体对所述EAP系统进行测试
时，通过所述输入端向所述测试工具中输入一基于该套所述待测试实
体的测试流程配置文件，所述测试工具根据所述测试流程配置文件调
取所述测试流程文件中与该套待测试实体相应的一测试流程消息，以
对所述EAP系统进行测试。
2.如权利要求1所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，所述测试工具包括一模拟系统和库文件，所述方法
还包括：
所述测试工具根据所述测试流程配置文件从所述库文件中调取
所述测试流程文件中与该套待测试实体相应的测试流程消息后，并将
该测试流程消息存储至所述测试工具的内存中，所述模拟系统根据该
测试流程消息对所述EAP系统进行测试后，输出测试结果。
3.如权利要求2所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，当完成对基于若干套测试实体设计的EAP系统的
测试后，所获得的每个测试结果均以log文件的形式存储于同一存储

\t单元中。
4.如权利要求1所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，每套所述待测试实体均仅包括一个机台。
5.如权利要求1所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，每套所述待测试实体均至少包括一个机台、与该机
台对应的一个或多个标准机械接口和智能标签器。
6.如权利要求1所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，每一所述测试流程消息中均至少包括：
消息序列号、消息名称、触发条件、延迟时间、驱动名字和消息
类型。
7.如权利要求6所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，所述方法还包括：
所述模拟系统根据所述消息序列号确定首先需要被发送的测试
流程消息，并判断该测试流程消息是否需要被立刻或延时发送至所述
EAP系统；
当该测试流程消息被立刻或延时发送至所述EAP系统后，所述模
拟系统再确定下一条需要被发送的测试流程消息。
8.如权利要求7所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，所述方法还包括：
当所述模拟系统确定了首先需要被发送的测试流程消息后，所述
模拟系统检查该测试流程消息的所述触发条件和所述延迟时间，并进
行以下判断：
若所述触发条件和所述延迟时间均为空，则所述模拟系统立刻发
送该测试流程消息至所述EAP系统；
若所述触发条件不为空，则待所述触发条件达成后，再检查所述
延迟时间属性值是否为空；若延迟时间为空，则所述模拟系统立刻发
送该消息至所述EAP系统；若延迟时间不为空，则等待所述延迟时
间所要求的一段时间后，再将该测试流程消息发送至所述EAP系统。
9.如权利要求8所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，所述触发条件为所述模拟系统接收到所述EAP系
统发送的一条特定消息；
所述方法还包括：若所述触发条件不为空，当所述模拟系统接收
到所述EAP系统发送的一条初级消息时，所述模拟系统判断该初级
消息是否为所述特定消息，当所述初级消息与所述特定消息一致时，
所述触发条件达成，当所述初级消息与所述特定消息不一致时，所述
模拟系统继续等待接收所述特定消息。
10.如权利要求1所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，所述测试工具和所述EAP系统被固化于同一操作
终端中。
11.如权利要求1所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，所述测试工具和所述EAP系统被固化于不同的操
作终端中。
12.如权利要求1所述的主动式的设备自动化程序的仿真测试方
法，其特征在于，所述测试工具对所述EAP...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉娜，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31