一种低温泵再生装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术的低温泵再生装置，包括压缩气源、流量传感器、控制阀门、加热器以及继电器。其中，压缩气源、控制阀门以及加热器依次串联设置，加热器出口连接至低温泵的入口。流量传感器设置于压缩气源的出口与控制阀门之间的管路上，用于检测并显示管路中压缩气体的流量；低温再生装置通过继电器控制加热器电源的通断。本实用新型专利技术所提供的低温泵再生装置既能节省时间又能保证低温泵再生过程的操作安全。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及低温泵再生领域，特别涉及一种既能节省时间又能保证操作安全的低温泵再生装置。
技术介绍
低温泵是一种利用低温表面来冷凝、吸附和捕集气体的真空获得设备。由于其冷凝板工作温度较低，一般可达12K，其内部经常会吸附一些由气体凝结而成的固体，从而影响低温泵的工作效率。因此在实际使用过程中，需要定期去除气体在低温泵中凝结后的固态物质，即再生。气体冲洗再生是一种利用充入泵内的干燥气体来使泵内环境升温，使泵内的固态物质气化并排出泵体的再生方式。由于其操作简单且安全性高而被广泛应用。但是整个过程大约需要耗时9-11小时才能完成，并且例如水蒸气这样的一些沸点较高的气体的固态凝结物在常温下不能完全气化，从而导致气体排出不彻底。为了缩短再生时间，通常会采用类似于热风枪的加热装置在低温泵外部进行加热或使用电加热丝或电热板在冷却泵内部进行加热。但是，一方面这会因导致泵内固体迅速气化膨胀而存在爆炸隐患，另一方面低温泵内的各种元件长时间在低温状态下工作，大多不能承受高温，局部的加热会使各部件受热不均匀，从而影响部件的使用寿命。因此，急需提供一种既能节省时间又能保证操作安全的低温泵再生装置。
技术实现思路
为了克服现有技术中所存在的缺陷，本技术提供一种既能节省时间又能保证操作安全的低温泵再生装置。一种低温泵再生装置，包括压缩气源、流量传感器、控制阀门、加热器以及继电器，其中压缩气源、控制阀门以及加热器依次串联设置，加热器出口连接至低温泵的入口；流量传感器设置于压缩气源的出口与控制阀门之间的管路上，用于检测并显示管路中压缩气体的流量；以及低温再生装置通过继电器控制加热器电源的通断。进一步地，流量传感器与控制阀门相通信，当流量传感器检测到有气体流过时，控制阀门自动开启。进一步地，加热器上设置有温度传感器，用于检测并显示加热器内气体的温度。进一步地，加热器上设置有压力传感器，用于检测并显示加热器内气体的压力。进一步地，继电器的输入端串联接入流量安全开关，流量安全开关与流量传感器通信，其中，当管路中无流量时，流量安全开关自动断开，使加热器停止加热。进一步地，继电器的输入端串联接入温度安全开关，温度安全开关与温度传感器通信，其中，当加热器中气体温度超出温度阈值时，温度安全开关自动断开，使加热器停止加热。进一步地，继电器的输入端串联接入压力安全开关，压力安全开关与压力传感器通信，其中，当加热器中气体压力超出压力阈值时，压力安全开关自动断开，使加热器停止加热。一种低温泵再生方法，包含以下步骤：步骤一：打开压缩气源；步骤二：流量传感器感测到气体流过，控制阀门自动开启，气体流入加热器；步骤三：通过继电器接通加热器电源，将加热器内部的气体加热至65-75℃；步骤四：加热后的气体连续通入低温泵使其由工作温度快速升至室温；步骤五：保持所述气体持续通入，使低温泵内部吸附的物质气化并持续排出；以及步骤六：待低温泵内部吸附的物质排放干净后，关闭压缩气源和加热器，控制阀门自动关闭，将低温泵抽至真空并降至工作温度，低温泵再生结束。进一步地，方法还包括通过手动开启或关闭控制阀门以控制所述气体的流通。进一步地，方法还包括：当流量传感器感测到无流量时，流量保护开关自动断开，加热器停止加热；当温度传感器感测到加热器中气体温度超出温度阈值时，温度保护开关自动断开，加热器停止加热；以及当压力传感器感测到加热器中气体压力超出压力阈值时，压力保护开关自动断开，加热器停止加热。由于采用以上技术方案，本技术与现有技术相比具有如下优点：1.本技术的低温泵再生装置采用持续通入的加热的气体对泵体进行加热，有效提高热交换效率，缩短了再生时间；2.加热的气体温度高于室温，能够使泵内的物质气化更完全，再生更彻底；3.通入泵内的惰性气体还可以稀释那些有毒和爆炸性气体，降低安全隐患；4.气体温度控制在65-75℃之间，并且持续匀速穿过低温泵，是泵内各部件均匀受热，不会损坏低温泵内的部件；5.装置采用继电器控制加热器电源的通断，提高安全性；6.本技术采取过流保护、过压保护以及过热保护措施来确保再生过程的安全、顺利进行。附图说明图1为依据本技术的再生装置的示意图；图2为依据本技术的再生方法的流程图。附图标记说明：1压缩气源，2流量传感器，201流量安全开关，3控制阀门，4加热器，5继电器，6温度传感器，601温度安全开关，7压力传感器，701压力安全开关，8冷却泵。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。图1为依据本技术的再生装置的示意图。如图所示，低温泵再生装置包括压缩气源1、流量传感器2、控制阀门3、加热器4以及继电器5。压缩气源1、控制阀门3以及加热器4依次串联设置，加热器4出口连接至低温泵8的入口，以便向低温泵8提供加热的干燥气体。流量传感器2设置于压缩气源1的出口与控制阀门3之间的管路上，用于检测并显示管路中压缩气体的流量。低温再生装置通过继电器5控制加热器4电源的通断。如图所示，继电器5将加热器4所需的120V高电压转换为24V的安全电压，确保人在启动或关闭电源时的安全。控制阀门3用于控制气体向加热器4的流量。在本技术的实施例中，流量传感器2与控制阀门3通信，当流量传感器2检测到有气体流过时，控制阀门3自动开启。作为选择地，也可以手动开启或关闭控制阀门以控制所述气体的流通。另外，加热器4上可以设置有温度传感器6，用于检测并显示加热器4内气体的温度。加热器4上还可以设置有压力传感器7，用于检测并显示加热器4内气体的压力。本技术中的传感器2、6和7在检测的同时还具有显示功能，用户可以随时读取再生过程中气体的流量、温度以及压力。相应地，继电器5的输入端串联接入流量安全开关201、温度安全开关601以及压力安全开关701中的至少一个。流量安全开关201与流量传感器2通信，其中，当管路中无流量时，流量安全开关201自动断开；温度安全开关601与温度传感器6通信，其中，当加热器4中气体温度超出温度阈值时，温度安全开关601自本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温泵再生装置，其特征在于，包括压缩气源、流量传感器、控制阀门、加热器以及继电器，其中所述压缩气源、所述控制阀门以及所述加热器依次串联设置，所述加热器出口连接至低温泵的入口；所述流量传感器设置于所述压缩气源的出口与所述控制阀门之间的管路上，用于检测并显示管路中压缩气体的流量；以及所述低温再生装置通过所述继电器控制所述加热器电源的通断。

【技术特征摘要】
1.一种低温泵再生装置，其特征在于，包括压缩气源、流量传感器、
控制阀门、加热器以及继电器，其中
所述压缩气源、所述控制阀门以及所述加热器依次串联设置，所述加
热器出口连接至低温泵的入口；
所述流量传感器设置于所述压缩气源的出口与所述控制阀门之间的
管路上，用于检测并显示管路中压缩气体的流量；以及
所述低温再生装置通过所述继电器控制所述加热器电源的通断。
2.根据权利要求1所述的低温泵再生装置，其特征在于，所述流量传
感器与所述控制阀门通信，当所述流量传感器检测到有气体流过时，所述
控制阀门自动开启。
3.根据权利要求1所述的低温泵再生装置，其特征在于，所述加热器
上设置有温度传感器，用于检测并显示所述加热器内气体的温度。
4.根据权利要求1所述的低温泵再生装置，其特征在于，所述加热器
上设置有压力传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：张强，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32