一种获得二氧化钛薄膜的方法技术

技术编号:1477929 阅读:181 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种获得二氧化钛薄膜的方法,其特征在于先在玻璃或瓷砖表面通过磁控溅射镀膜机沉积一层钛膜,然后将表面沉积了一层钛膜的玻璃或瓷砖,放置于加热炉中,使玻璃或瓷砖表面的钛膜氧化成二氧化钛膜。获得的二氧化钛薄膜牢固地附着在玻璃或瓷砖基底上,而且获得均匀性好的膜层,本发明专利技术工艺重复性好,质量控制易,适宜进行工业批量生产。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种在平板玻璃或普通瓷砖基材上获得二氧化钛薄膜的方法。更具体地说,本专利技术涉及一种先用磁控溅射镀膜机在平板玻璃或普通瓷砖基材上沉积一层钛膜,然后将沉积过钛膜的玻璃或瓷砖置于加热炉中对钛膜进行氧化,制得覆盖在玻璃或瓷砖表面的二氧化钛薄膜的方法。
技术介绍
自从20世纪70年代发现二氧化钛具有光催化性能、是一种催化剂以来,其应用范围不断扩大,人们利用二氧化钛薄膜对水污染进行处理,通过光催化作用产生的强氧化分解作用,可以有效处理有害气体及污水中的农药、染料、表面活性剂、臭味物质等;由于二氧化钛薄膜是一种透明的薄膜,人们还把二氧化钛薄膜的光催化性能应用到建材方面,如在瓷片或玻璃表面沉积一层二氧化钛薄膜,在光催化性能的作用下,使瓷片或玻璃具有杀菌、自清洁、净化空气等功能。现有的制备二氧化钛薄膜的方法很多,有电子束蒸发、化学气相沉积、物理气相沉积、溶胶-凝胶法等。其中常用的为磁控溅射法、化学气相沉积法和溶胶-凝胶法。磁控溅射机通常采用的电源有射频电源、中频电源和直流电源,直流磁控溅射直接制备二氧化钛薄膜时,是一种反应溅射,必须通入氧气作为反应气体,而氧气容易引起钛靶的氧化,通常本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种获得二氧化钛薄膜的方法,对玻璃或瓷砖表面进行清洗后,干燥,其特征在于:(1)对玻璃或瓷砖表面沉积钛膜;(2)将沉积了钛膜的玻璃或瓷砖加热,使钛膜氧化成二氧化钛膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:闻航黄琼霖黄荣芳余瑜
申请(专利权)人:深圳市梅雁微纳科技有限责任公司
类型:发明
国别省市:94[中国|深圳]

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