矩形闸真空阀、其工作方法及具有其的半导体制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及矩形闸真空阀及其工作方法，以及具有其的半导体制造装置。本发明专利技术的矩形闸真空阀包括：闸框架，在相向的两侧面形成有第一闸和第二闸；第一阀单元，以可通过上述闸框架的下部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第一闸；以及第二阀单元，以可通过上述闸框架的上部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第二闸。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及矩形闸真空阀、其工作方法及具有其的半导体制造装置，更具体地涉及如下的矩形闸真空阀及其工作方法及具有其的半导体制造装置：可在相同的空间内实现对两侧闸的密封(sealing)工作，因此可有效地对应于需要在限定的空间内进行两侧闸的密封的半导体工序。
技术介绍
由于半导体需要高精度，因此在具有高清洁度的洁净室(cleanroom)中通过特殊的制造技术来进行制造。当制造半导体时，由于真空作业区域和大气区域的密封技术也对半导体的品质带来多的影响，因此，通常在可最完全阻隔与包含于空气中的异物相接触的真空状态下制造。因此，在半导体制造设备中广泛使用作为用于选择性地造成腔室的真空环境的机构的闸阀(gatevalve)。众所周知，公知有多种闸阀，但是一般主要利用矩形闸真空阀。理所当然地，除了用于制造半导体的腔室之外，还可使用用于液晶显示器(LCD)蒸镀的蒸镀腔室，例如，在处理腔室和料腔室或料腔室和负载锁定腔室之间也可使用真空阀。真空阀可分类为单向阀和双向阀两种，这些阀可根据相应工序的特性来进行选择并适用。这种矩形闸真空阀具有盘(disk)对开口的矩形闸进行开闭的方式。简单观察工作，处于打开状态(openmode)的盘和与其相连接的轴(mainshaft)的上升一同进入闸框架内(关闭模式，closemode)，结束进入之后，一边产生略微的角度位移，一边关闭在闸框架呈开口状态的闸并进行密封(推动模式，pushmode)。之后，再次与轴的下降一同盘下降，并开闸，以适合于工序的状况的方式反复进行这种工序，并形成真空或解除真空。最终，矩形闸真空阀可称为一同适用直线运动机制和上死点中的旋转运动机制的阀，当前正广发使用这种方式。但是，在当前正使用的矩形闸真空阀的情况下，由于具有仅用于开闭一侧的闸的结构，因此存在有可能或多或少降低闸的利用度的问题。例如，无法实现在相同的空间内对两侧闸的密封(sealing)工作，因此无法对应于需要在限定的空间内进行两侧闸的密封的半导体工序的问题，当考虑到这一点时，就需要对此的技术开发。现有技术文献专利文献：韩国专利厅申请号第10-1987-0011712号韩国专利厅申请号第10-1998-0040974号韩国专利厅申请号第10-2007-0114829号韩国专利厅申请号第10-2012-7028963号
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的在于，提供矩形闸真空阀、其工作方法及具有其的半导体制造装置，可在相同的空间内实现对两侧闸的密封(sealing)工作，因此可有效地对应于需要在限定的空间内进行两侧闸的密封的半导体工序。(二)技术方案上述目的通过矩形闸真空阀实现，上述矩形闸真空阀的特征在于，包括：闸框架，在相向的两侧面形成有第一闸和第二闸；第一阀单元，以可通过上述闸框架的下部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第一闸；以及第二阀单元，以可通过上述闸框架的上部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第二闸。上述第一阀单元可包括：第一开闭用盘，用于选择性地开闭上述第一闸；第一单元轴，与上述第一开闭用盘相连接，用于使上述第一开闭用盘直线移动；以及第一旋转部，与上述第一单元轴相结合，来使上述第一单元轴旋转。上述第二阀单元包括：第二开闭用盘，用于选择性地开闭上述第二闸；第二单元轴，与上述第一开闭用盘相连接，用于使上述第一开闭用盘直线移动；以及第二旋转部，与上述第二单元轴相结合，来使上述第二单元轴旋转。在上述第一开闭用盘及第二开闭用盘可设置有密封用压接环。上述第一闸和上述第二闸的大小可相同或不同。本专利技术还可包括：信号发生器，用于产生上述第一闸和上述第二闸的开闭信号；以及控制器，基于来自上述信号发生器的输入信息，对上述第一阀单元和上述第二阀单元的工作进行控制。另一方面，上述目的还通过矩形闸真空阀的工作方法实现，上述矩形闸真空阀的工作方法的特征在于，包括：第一阀单元进入步骤，借助第一单元轴的工作，第一阀单元的第一开闭用盘通过闸框架的下部开口以倾斜地向上述闸框架内进行直线移动的方式进入；第一阀单元旋转步骤，由第一旋转部，上述第一阀单元产生相当于预先确定的角度的位移并进行旋转；以及第一闸密封步骤，利用上述第一闸加压上述第一开闭用盘，来使上述第一开闭用盘的第一密封用压接环压接于上述第一闸的周边面，并通过关闭上述第一闸来进行密封。本专利技术还包括：第一阀单元回归原位步骤，上述第一阀单元向原位回归；第二阀单元进入步骤，借助第二单元轴的工作，第二阀单元的第二开闭用盘通过闸框架的上部开口以倾斜地向上述闸框架内进行直线移动的方式进入；第二阀单元旋转步骤，由第二旋转部上述第二阀单元产生相当于预先确定的角度的位移并进行旋转；以及第二闸密封步骤，利用上述第二闸加压上述第二开闭用盘，来使上述第二开闭用盘的第一密封用压接环压接于上述第二闸的周边面，并通过关闭上述第二闸来进行密封，上述第一闸密封步骤和上述第二闸密封步骤可反复进行。另一方面，上述目的还通过矩形闸真空阀的工作方法实现，上述矩形闸真空阀的工作方法的特征在于，包括：第一阀单元进入步骤，借助第一单元轴的工作，第一阀单元的第一开闭用盘通过闸框架的下部开口以向上述闸框架内进行垂直移动的方式进入；以及第一闸密封步骤，已进入的上述第一阀单元进行水平移动，并利用上述第一闸加压上述第一开闭用盘，接着使上述第一开闭用盘的第一密封用压接环压接于上述第一闸的周边面，并通过关闭上述第一闸来进行密封。另一方面，上述目的还通过具有矩形闸真空阀的半导体制造装置来实现，上述具有矩形闸真空阀的半导体制造装置的特征在于，包括：第一真空腔室及第二真空腔室，以相互隔开的方式配置，并形成用于制造半导体的工序；以及矩形闸真空阀，连接在第一真空腔室及第二真空腔室之间，用于选择性地开闭向上述第一真空腔室及第二真空腔室侧的第一闸及第二闸，上述矩形闸真空阀包括：闸框架，以与上述第一真空腔室及第二真空腔室相对应的方式形成有上述第一闸和第二闸；第一阀单元，以可通过上述闸框架的下部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第一闸；以及第二阀单元，以可通过上述闸框架的上部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第二闸。上述第一阀单元包括：第一开闭用盘，用于选择性地开闭上述第一闸；第一单元轴，与上述第一开闭用盘相连接，来使上述第一开闭用盘进行直线移动；以及第一旋转部，与上述第一单元轴相连接，来使上述第一单元轴进行旋转，上述第二阀单元包括：第二开闭用盘，用于选择性地开闭上述第二闸；第二单元轴，与上述第一开闭用盘相连接，使上述第一开闭用盘进行直线移动；以及第二旋转部，与上述第二单元轴相连接，使上述第二单元轴进行旋转，在上述第一开闭用盘及第二开闭用盘设置有密封用压接环。(三)专利技术效果根据本专利技术，可在相同的空间内实现对两侧闸的密封工作，因此具有可有效地对应于需要在限定的空间内进行两侧闸的密封的半导体工序的效果。附图说明图1作为本专利技术一实施例的半导体制造装置的简要结构图，是第一阀处于关闭状态的图。图2作为本专利技术一实施例的半导体制造装置的简要结构图，是第二阀处于关闭状态的图。图3为本专利技术一实施例的矩形闸真空阀的简要结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种矩形闸真空阀，其特征在于，包括：闸框架，在相向的两侧面形成有第一闸和第二闸；第一阀单元，以能够通过上述闸框架的下部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第一闸；以及第二阀单元，以能够通过上述闸框架的上部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第二闸。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.04.06 KR 10-2015-00486271.一种矩形闸真空阀，其特征在于，包括：闸框架，在相向的两侧面形成有第一闸和第二闸；第一阀单元，以能够通过上述闸框架的下部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第一闸；以及第二阀单元，以能够通过上述闸框架的上部开口向上述闸框架内进行直线移动或旋转的方式配置，用于选择性地开闭上述第二闸。2.根据权利要求1所述的矩形闸真空阀，其特征在于，上述第一阀单元包括：第一开闭用盘，用于选择性地开闭上述第一闸；第一单元轴，与上述第一开闭用盘相连接，用于使上述第一开闭用盘直线移动；以及第一旋转部，与上述第一单元轴相结合，来使上述第一单元轴旋转。3.根据权利要求2所述的矩形闸真空阀，其特征在于，上述第二阀单元包括：第二开闭用盘，用于选择性地开闭上述第二闸；第二单元轴，与上述第二开闭用盘相连接，用于使上述第二开闭用盘直线移动；以及第二旋转部，与上述第二单元轴相结合，来使上述第二单元轴旋转。4.根据权利要求3所述的矩形闸真空阀，其特征在于，在上述第一开闭用盘及第二开闭用盘设置有密封用压接环。5.根据权利要求1所述的矩形闸真空阀，其特征在于，上述第一闸和上述第二闸的大小相同或不同。6.根据权利要求1所述的矩形闸真空阀，其特征在于，还包括：信号发生器，用于产生上述第一闸和上述第二闸的开闭信号；以及控制器，基于来自上述信号发生器的输入信息，对上述第一阀单元和上述第二阀单元的工作进行控制。7.一种矩形闸真空阀的工作方法，其特征在于，包括：第一阀单元进入步骤，借助第一单元轴的工作，第一阀单元的第一开闭用盘通过闸框架的下部开口以倾斜地向上述闸框架内进行直线移动的方式进入；第一阀单元旋转步骤，由第一旋转部，上述第一阀单元产生相当于预先确定的角度的位移并进行旋转；以及第一闸密封步骤，利用上述第一闸加压上述第一开闭用盘，来使上述第一开闭用盘的第一密封用压接环压接于上述第一闸的周边面，并通过关闭上述第一闸来进行密封。8.根据权利要求7所述的矩形闸真空阀的工作方法，其特征在于，还包括：第一阀单元回归原位步骤，上述第一阀单元向原位回归；第二阀单元进入步骤，借...

【专利技术属性】
技术研发人员：安熙俊，
申请(专利权)人：福田株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR