一种过滤器制造技术

本实用新型专利技术提供了一种过滤器，其罐体上方设有封头，罐体内设有花板，花板将罐体的内腔分隔为上下分布的洁净室和过滤室，花板上安装有笼骨，笼骨上套有滤袋；洁净室的侧壁设有净气出口和氮气进口，罐体的底部开设有气体粉尘进口，过滤室与气体粉尘进口相通；过滤器还包括氮气脉冲喷吹装置，以及控制氮气脉冲喷吹装置的脉冲控制仪，氮气脉冲喷吹装置安装有多个电磁阀，每个电磁阀用于控制一根喷吹管上氮气的开闭，喷吹管通过电磁阀的筒体连接至氮气进管，喷吹管上设有多个喷嘴，喷嘴的嘴口位于滤袋开口的正上方，电磁阀与脉冲控制仪电连接。该过滤器的过滤效果、对滤袋的吹扫效果均较好、滤袋更换不频繁。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅生产
，具体涉及一种过滤器。
技术介绍
冷氢化是将多晶硅生产中还原炉内反应产生的大量副产物四氯化硅(STC)转化为合成多晶硅的原料三氯氢硅(TCS)的工艺系统；该工艺系统涉及到的反应方程式有Si+2H2+3SiCl4＝4SiHCl3；Si+3HCl＝SiHCl3+H2。该系统通过急冷器将大部分TCS、STC、氢气等有用物料的分离，冷氢化工艺系统急冷后的湿浆料(即四氯化硅渣浆，主要包括硅粉、金属氯化物、液态氯硅烷及氢气)排至浆料干燥装置，干燥装置对湿浆料进行干燥加热后得到夹带粉尘的氯硅烷气体和渣浆固体物。市场上现有的过滤装置的滤袋易堵塞，对滤袋的吹扫效果差、滤袋更换频繁，过滤装置的最大运行压降较大。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种结构简单、过滤效果好、吹扫滤袋效果好的过滤器。本技术提供了一种过滤器，用于冷氢化工艺中四氯化硅渣浆干燥后产生的含尘氯硅烷气体的过滤，所述过滤器包括罐体，所述罐体上方设有封头，所述罐体内设有花板，所述花板将罐体的内腔分隔为上下分布的洁净室和过滤室，所述花板上安装有笼骨，所述笼骨上套有滤袋；所述洁净室的侧壁设有净气出口和氮气进口，所述罐体的底部开设有气体粉尘进口，所述过滤室与所述气体粉尘进口相通；其中，所述过滤器还包括氮气脉冲喷吹装置，以及控制所述氮气脉冲喷吹装置的脉冲控制仪，所述氮气脉冲喷吹装置包括氮气进管、电磁阀、多个喷吹管和喷嘴；所述氮气脉冲喷吹装置安装有多个电磁阀，每个所述电磁阀用于控制一根喷吹管上氮气的开闭，所述喷吹管通过所述电磁阀的筒体连接至所述氮气进管，所述喷吹管上设有多个喷嘴，所述喷嘴的嘴口位于所述滤袋开口的正上方，所述电磁阀与所述脉冲控制仪电连接。优选地，所述氮气脉冲喷吹装置还包括安装在所述罐体外部的氮气加热器，所述氮气进管通过所述氮气进口连接所述氮气加热器。进一步优选地，所述氮气先由所述氮气加热器加热至预设温度后才开始喷吹清灰。所述预设温度优选为90-130℃。优选地，所述封头与所述罐体之间设有法兰。优选地，所述电磁阀设在所述封头上，所述喷吹管的一端与所述电磁阀的筒体之间通过所述法兰连接。优选地，所述滤袋为聚四氟乙烯覆膜滤袋。优选地，所述滤袋的孔径为800-1200目。优选地，所述净气出口与所述氮气进口位于所述洁净室不同侧的侧壁上。所述净气出口、所述氮气进口均位于所述笼骨的上方。优选地，所述氮气进口距所述罐体的底部的距离大于所述净气出口距罐体的底部的距离，即所述氮气口的位置高于所述净气出口。优选地，所述罐体的外周还围设有夹套，所述夹套具有加热空腔，所述夹套的加热空腔内充有导热油，用于将所述过滤器维持在一定温度。所述夹套上设置有与所述加热空腔连通的导热油入口、导热油出口。优选地，所述封头处的夹套上设有导热油出口，所述过滤器罐体底部的夹套上设有导热油进口。优选地，所述洁净室和所述过滤室均安装有压力传感器，用于实时监测压力。优选地，所述气体粉尘进口与一干燥搅拌器相连。含尘气体从所述搅拌干燥器进入所述过滤器；所述过滤器喷吹滤袋时吹落下的灰尘也掉落至所述干燥搅拌器中。本申请中，所述脉冲控制仪是控制电磁阀动作的脉冲发生器。所述脉冲控制仪用电缆连接在PLC(可编程逻辑控制器)上。所述电磁阀优选通过电缆线与所述脉冲控制仪相连接。优选地，所述封头上还具有紧急排放口。优选地，所述封头上还具有水分检测口和气体成分检测口。四氯化硅渣浆经干燥搅拌后分离得到氯硅烷气体和渣浆固体物，其中氯硅烷气体可以被本申请提供的过滤器进一步过滤以除去夹带的粉尘，并通过氮气脉冲喷吹装置的吹扫将粉尘再返回至干燥搅拌器中，连同所述渣浆固体物一起在洗涤包中进行中和处理，使固态废渣得到有效处理；而过滤后的洁净气体可以被冷凝回收，再进入冷氢化工艺中重新利用。所述过滤器的结构简单，运行压降最大为800Pa，过滤效果好，对滤袋的吹扫效果也较好、滤袋的更换不频繁，大约为180天更换一次。附图说明图1为本技术实施例中过滤器的结构示意图；图2为本技术实施例中电池阀未通电闭合状态(A)和通电开启状态(B)的示意图；图3为本技术实施例中过滤器的封头的俯视图。具体实施方式下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。请一并参阅图1-图3，为本技术优选实施例提供的一种过滤器700的结构示意图。所述过滤器700包括罐体71，所述罐体71上方设有封头72，所述罐体内设有花板73，所述花板73将罐体71的内腔分隔为上下两部分，上部为洁净室，下部为过滤室，所述花板73上安装有笼骨74，所述笼骨74上套有滤袋75；所述洁净室的侧壁设有净气出口711和氮气进口712，所述罐体71的底部开设有气体粉尘进口713，所述过滤室与所述气体粉尘进口713相通；其中，所述过滤器700还包括氮气脉冲喷吹装置，以及控制所述氮气脉冲喷吹装置的脉冲控制仪，所述氮气脉冲喷吹装置包括氮气进管80、电磁阀81、多个喷吹管82和喷嘴83；所述氮气脉冲喷吹装置安装有多个电磁阀81，每个所述电磁阀81用于控制一根喷吹管82上氮气的开闭，所述喷吹管82通过所述电磁阀81的筒体连接至所述氮气进管80，所述喷吹管82上设有多个喷嘴83，所述喷嘴83的嘴口位于所述滤袋75开口的正上方，所述电磁阀81与所述脉冲控制仪电连接。所述氮气脉冲喷吹装置还包括安装在所述罐体71外部的氮气加热器，所述氮气进管80通过所述氮气进口712连接所述氮气加热器。可以理解的是，所述氮气脉冲喷吹装置与压缩氮气源相连通。喷吹用的氮气由所述压缩氮气源提供。进一步优选地，所述氮气先由所述氮气加热器加热至设定温度后才开始喷吹清灰。所述预设温度优选为90-130℃。这样可以防止在喷吹过程中将金属氯化物、氯硅烷等冷凝下来，以免影响喷吹滤袋的效果。所述封头72与所述罐体71之间设有法兰70。在本申请的一实施方式中，所述封头72进一步优选为球冠型，所述罐体71的中部为圆筒状。所述电磁阀81设在所述封头上，所述喷吹管82的一端与所述电磁阀81的筒体之间通过所述法兰76连接。参见图2，图A、B中最右侧为电磁阀的阀芯813的放大图。本申请中所述电磁阀81还具有一筒体811，所述电磁阀81的筒体811与过滤器上的封头72焊接在一起，形成一整体，电磁阀81的筒体811连接在所述法兰70上；电磁阀81的阀头通过螺钉固定在筒体上。当电磁阀81未通电时，电磁阀81的阀芯813的弹性膜片812与氮气进管80是处于闭合状态，氮气进管80中的氮气只在电磁阀81筒体的外侧，氮气未进入到与电磁阀81的筒体相连的喷吹管82内(图2中A)；当电磁阀81通电开启时，电磁阀81的弹性膜片812在磁力作用下向上移动，氮气才进入到与电磁阀81连通的喷吹管82内(图2中B)。本申请中，所述电磁阀81的筒体与所述氮气进管80相连接。优选地，所述电磁阀81的筒体为两排交错设置，优选为2个电磁阀81的筒体直接与所述氮气进气管80相连通，剩余电磁阀81的筒体再通过这2个电磁阀81的筒体而间接实现与氮气进管80的连接。在本申请一实施方式中，所述喷吹管82、电磁阀81的数目为4个，一根喷吹管82上可以延伸出多个喷嘴83，所述喷嘴83的嘴口垂直向下正对滤袋75本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种过滤器，用于冷氢化工艺中四氯化硅渣浆干燥后产生的含尘氯硅烷气体的过滤，其特征在于，所述过滤器包括罐体，所述罐体上方设有封头，所述罐体内设有花板，所述花板将罐体的内腔分隔为上下分布的洁净室和过滤室，所述花板上安装有笼骨，所述笼骨上套有滤袋；所述洁净室的侧壁设有净气出口和氮气进口，所述罐体的底部开设有气体粉尘进口，所述过滤室与所述气体粉尘进口相通；其中，所述过滤器还包括氮气脉冲喷吹装置，以及控制所述氮气脉冲喷吹装置的脉冲控制仪，所述氮气脉冲喷吹装置包括氮气进管、电磁阀、多个喷吹管和喷嘴；所述氮气脉冲喷吹装置安装有多个电磁阀，每个所述电磁阀用于控制一根喷吹管上氮气的开闭，所述喷吹管通过所述电磁阀的筒体连接至所述氮气进管，所述喷吹管上设有多个喷嘴，所述喷嘴的嘴口位于所述滤袋开口的正上方，所述电磁阀与所述脉冲控制仪电连接。

【技术特征摘要】
1.一种过滤器，用于冷氢化工艺中四氯化硅渣浆干燥后产生的含尘氯硅烷气体的过滤，其特征在于，所述过滤器包括罐体，所述罐体上方设有封头，所述罐体内设有花板，所述花板将罐体的内腔分隔为上下分布的洁净室和过滤室，所述花板上安装有笼骨，所述笼骨上套有滤袋；所述洁净室的侧壁设有净气出口和氮气进口，所述罐体的底部开设有气体粉尘进口，所述过滤室与所述气体粉尘进口相通；其中，所述过滤器还包括氮气脉冲喷吹装置，以及控制所述氮气脉冲喷吹装置的脉冲控制仪，所述氮气脉冲喷吹装置包括氮气进管、电磁阀、多个喷吹管和喷嘴；所述氮气脉冲喷吹装置安装有多个电磁阀，每个所述电磁阀用于控制一根喷吹管上氮气的开闭，所述喷吹管通过所述电磁阀的筒体连接至所述氮气进管，所述喷吹管上设有多个喷嘴，所述喷嘴的嘴口位于所述滤袋开口的正上方，所述电磁阀与所述脉冲控制仪电连接。2.如权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述氮气脉冲喷吹装置还包括安装在所述罐体外部的氮气加热器，所述氮气进管通过所述氮气进口连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊焰，石安平，吴一兵，王建鑫，吴晓华，
申请(专利权)人：江西赛维LDK光伏硅科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江西;36