一种显示面板及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种显示面板及其制备方法。该显示面板包括：基板；有机发光器件，设置于所述基板上；薄膜封装层，设置于所述有机发光器件背离所述基板的一侧，所述薄膜封装层包括至少一个无机层，所述无机层包括交替层叠设置的至少一个第一无机层和至少一个第二无机层，且所述第一无机层和所述第二无机层之间通过原子力键合，使所述第一无机层和所述第二无机层之间没有界面。该显示面板的薄膜封装层中，宏观上来看整个无机层理论上就是一个整体而不存在宏观界面，形成的薄膜封装层具有较小的应力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，具体地说，涉及一种显示面板及其制备方法。
技术介绍
随着显示技术的不断发展，显示面板制造技术也趋于成熟，现有的显示面板主要包括有机电致发光显示面板(OrganicLightEmittingDiode，OLED)、液晶显示面板(LiquidCrystalDisplay，LCD)、等离子显示面板(PlasmaDisplayPanel，PDP)等。柔性显示面板是以聚酰亚胺或聚酯薄膜等材料为基材制成的一种可变形、可弯曲的显示面板，与传统显示面板相比，柔性显示面板具有体积小、功耗低、可弯曲、柔性等优点，是一种具有广阔应用前景的显示面板。现有的柔性显示面板通常采用薄膜封装技术对位于柔性基板上的显示元件进行封装。薄膜封装层一般通过等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)、原子层沉积法(ALD)、旋涂法(Spin-Coating)、印刷法(Printering)等方法制成，与其他方法相比，ALD膜层(由ALD法制备的膜层)在更薄的情况下具有更好的阻隔水氧的能力。现有ALD膜层存在的问题是其应力较大，例如，由ALD法制备的50nm的Al2O3的应力在300Mpa左右。如果要释放掉薄膜封装结构中ALD膜层的应力，则需要在ALD膜层上形成应力释放层，应力释放层通常为有机层(由有机物制备的膜层)，该有机层可以通过旋涂法、印刷法等方法制成，然后再在有机层上形成ALD膜层，最终形成由ALD膜层和有机层交替层叠的三层或更多层的结构。上述三层或更多层的结构存在以下问题：1、如要释放ALD产生的较大应力，则有机层的厚度需增加，会使有机层自身的应力变大。2、无机层和有机层之间的界面处形成较大的应力，容易引起膜层分裂或剥落(Peeling)。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本专利技术一方面提供一种显示面板，包括：基板；有机发光器件，设置于所述基板上；薄膜封装层，设置于所述有机发光器件背离所述基板的一侧，所述薄膜封装层包括至少一个无机层，所述无机层包括交替层叠设置的至少一个第一无机层和至少一个第二无机层，且所述第一无机层和所述第二无机层之间通过原子力键合，使所述第一无机层和所述第二无机层之间没有界面。本专利技术另一方面提供一种显示面板的制备方法，包括以下步骤：提供一基板；在所述基板上制备有机发光器件；在所述有机发光器件背离所述基板的一侧制备薄膜封装层，其中，所述薄膜封装层包括至少一个无机层，所述无机层包括交替层叠设置的至少一个第一无机层和至少一个第二无机层，所述第一无机层和所述第二无机层通过原子层沉积方法制备，且所述第一无机层通过原子层沉积系统的第一沉积循环制备，所述第二无机层通过原子层沉积系统的第二沉积循环制备，所述无机层通过所述原子层沉积系统的第一沉积循环和第二沉积循环交替制备形成，其中，所述第一无机层和所述第二无机层之间通过原子力键合，且所述第一无机层和所述第二无机层之间没有界面。与现有技术相比，本专利技术提供的显示面板及其制备方法至少具有以下有益效果：本专利技术的显示面板的薄膜封装层中，相邻的第一无机层和第二无机层之间通过原子力键合，使第一无机层和第二无机层之间没有界面，宏观上来看整个无机层理论上就是一个整体而不存在宏观界面，因此，形成的薄膜封装层具有较小的应力，在使用过程中，能够减小薄膜封装层分裂、剥落的风险。附图说明通过参照附图详细描述其示例实施方式，本专利技术的上述和其它特征及优点将变得更加明显。图1是本专利技术一个实施例的显示面板的截面示意图。图2是本专利技术一个实施例的薄膜封装层的截面示意图。图3是本专利技术一个实施例的薄膜封装层的制备流程图。图4是本专利技术一个实施例的无机层的制备过程示意图。图5是本专利技术一个实施例的第一无机层的制备流程图。图6是本专利技术一个实施例的第二无机层的制备流程图。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本专利技术更全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。本专利技术中所描述的表达位置与方向的词，均是以附图为例进行的说明，但根据需要也可以做出改变，所做改变均包含在本专利技术保护范围内。本专利技术的附图仅用于示意相对位置关系，某些部位的层厚采用了夸示的绘图方式以便于理解，附图中的层厚并不代表实际层厚的比例关系。图1是本专利技术一个实施例的显示面板的截面示意图，图2是本专利技术一个实施例的薄膜封装层的截面示意图，结合图1和图2，本专利技术的显示面板100包括：基板10、有机发光器件40和薄膜封装层50。基板10可选地为柔性基板，柔性基板与有机发光器件40、薄膜封装层50相配合形成柔性显示面板。柔性基板的材料本专利技术不限制，可选地为有机聚合物，作为示例，有机聚合物可以是聚酰亚胺(PI)、聚酰胺(PA)、聚碳酸酯(PC)、聚苯醚砜(PES)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、环烯烃共聚物(COC)中的一种。有机发光器件40设置于基板10上，至少包括位于基板10上的阳极层41、发光层42和阴极层43，并且可以进一步包括空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层、空穴阻挡层、电子传输层、电子注入层中的一层或多层。有机发光器件40还可以包括像素定义层44，该像素定义层44将有机发光器件40限定出多个子像素区域。有机发光器件40的结构和材料可采用已知技术，在此不予赘述。进一步地，有机发光器件40与基板10之间进一步设有为实现显示所需的薄膜晶体管层20、多条数据线和多条扫描线(未示出)。其中，薄膜晶体管层20至少包括有源层、源极、漏极、栅极、绝缘层，薄膜晶体管层20的漏极与有机发光器件40的阳极层41电性连接；多条数据线和多条扫描线彼此交叉，其中，数据线电性连接至薄膜晶体管层20的源极，扫描线电性连接至薄膜晶体管层20的栅极。工作时，扫描线通过薄膜晶体管层20的栅极控制各子像素的开关，数据线通过薄膜晶体管层20的源极与有机发光器件40的阳极层41电性连接，在各子像素对应的薄膜晶体管打开时，为各子像素提供数据信号，控制各子像素的显示。薄膜晶体管层20的具体结构可采用已知技术，在此不予赘述。进一步地，薄膜晶体管层20上还设置有平坦化层30，有机发光器件40的阳极层41位于该平坦化层30上，并通过位于平坦化层30中的过孔与薄膜晶体管层20的漏极电性连接。薄膜封装层50设置于有机发光器件40背离基板10的一侧，并覆盖有机发光器件40，用于将有机发光器件40与周围环境隔离，阻止水汽、氧气透过并侵蚀有机发光器件40中的有机物质。专利技术人通过对现有的薄膜封装层50进行研究发现，具有层叠结构的薄膜封装层50中，相邻两膜层之间有界面时，两膜层之间的应力明显大于两膜层之间无界面时的应力。虽然已有的具有交替层叠结构的多层无机层中，单层无机层的厚度能够降至5～50nm，但该相邻两层无机层之间仍然存在明显的界面和应力，作为薄膜封装层50，在使用过程中，仍然存在分裂、剥落的风险。本专利技术中，薄膜封装层50包括至少一个无机层51，无机层51包括交替层叠设置的至少一个第一无机层511和至少一个第二无机层512，该第一无机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示面板，其特征在于，包括：基板；有机发光器件，设置于所述基板上；薄膜封装层，设置于所述有机发光器件背离所述基板的一侧，所述薄膜封装层包括至少一个无机层，所述无机层包括交替层叠设置的至少一个第一无机层和至少一个第二无机层，且所述第一无机层和所述第二无机层之间通过原子力键合，使所述第一无机层和所述第二无机层之间没有界面。

【技术特征摘要】
1.一种显示面板，其特征在于，包括：基板；有机发光器件，设置于所述基板上；薄膜封装层，设置于所述有机发光器件背离所述基板的一侧，所述薄膜封装层包括至少一个无机层，所述无机层包括交替层叠设置的至少一个第一无机层和至少一个第二无机层，且所述第一无机层和所述第二无机层之间通过原子力键合，使所述第一无机层和所述第二无机层之间没有界面。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述无机层由包含至少一个第一无机层和至少一个第二无机层的层间复合材料形成。3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一无机层和所述第二无机层间的结合力为104～106J/mol。4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述无机层包括5个至100个第一无机层和5个至100个第二无机层。5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一无机层包含三氧化二铝层，所述第二无机层包含二氧化钛层、三氧化二镓层中的至少一种。6.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，每一层所述第一无机层的厚度和每一层所述第二无机层的厚度均为7.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一无机层和/或所述第二无机层为单分子膜层。8.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述无机层的厚度为30～100nm。9.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述薄膜封装层还包括与所述无机层交替层叠的至少一个有机层。10.根据权利要求9所述的显示面板，其特征在于，所述有机层的厚度为1～20μm。11.根据权利要求9所述的显示面板，其特征在于，所述薄膜封装层包括2个至3个所述无机层，所述薄膜封装层的最上层和最下层均为所述无机层。12.根据权利要求11所述的显示面板，其特征在于，所述薄膜封装层包括1个至2个所述有机层。13.根据权利要求9所述的显示面板，其特征在于，所述薄膜封装层的厚度为5～20μm。14.根据权利要求1所述的显示面...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾龙昌，
申请(专利权)人：上海天马有机发光显示技术有限公司，天马微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31