器件高速取放装置制造方法及图纸

技术编号:14671578 阅读:55 留言:0更新日期:2017-02-18 02:44
本实用新型专利技术公开了一种器件高速取放装置,包括转动式传送组件、若干取放组件、位于器件拾取区的第一载台、位于器件放置区的第二载台、驱动第一、第二载台在水平面内移动并定位的第一、第二移动机构;转动式传送组件可周期性转动传送其上的取放组件到达器件拾取区和器件放置区;转动式传送组件和取放组件至少其一可上下移动,使取放组件到达第一载台上预设的拾取点和第二载台上预设的放置点,依次拾取器件和放置器件;第一、第二载台在第一、第二移动机构驱动下,可调节待拾取器件和待放置位置位于取放组件下降位置。本实用新型专利技术利用在转动式传送组件上均匀设置的多个取放组件,完成了器件的连续性高速取放,大大提高了取放效率和取放精度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种器件取放装置,尤其是涉及一种器件高速取放装置,以提高器件的取放速度和精度。
技术介绍
取放装置是一种产品处理装置,可以从一位置拾取一产品,并且将该产品放置于另一位置。在半导体封装领域中,取放装置如PP机(pickandplace,或称为挑晶机)中的机械手臂,用于将晶圆切割形成的器件(die,或称芯片chip),放置到料盘(tray盘)或者另一晶圆载板上。如专利CN102983094A,机械手臂取放的主要流程为,机械手臂在预定位置取出一颗器件,然后,摆动手臂到达料盘或晶圆位置,放下器件,再摆动手臂回到预定位置,如此重复该动作。然而,对于8寸晶圆甚至是12寸晶圆,尺寸较大,器件取放之间的距离导致机械手臂必须加长,来完成一次取放动作,一颗器件的取放,时间主要耗费在手臂来回摆动过程中,效率会降低,拾取和摆放的误差也会加大。为处理此项问题,提出了许多复杂的机制,例如美国专利US20080000756A1,设置多个机械手臂同时取放,由于机械手臂只能沿固定轨道水平移动和垂直移动,故机械手臂需要能伸缩或翻越以实现相互之间的蔽障,该装置虽相对增加取放效率,但机械手臂动作复杂,还是会对取本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种器件高速取放装置,其特征在于:包括转动式传送组件(1)、均匀间隔设置于所述转动式传送组件上的若干取放组件(2)、位于器件拾取区的一第一载台(3)、驱动所述第一载台在水平面内移动并定位的第一移动机构(4)、位于器件放置区的第二载台(5)和驱动所述第二载台在水平面内移动并定位的第二移动机构(6);所述转动式传送组件可周期性转动传送其上的取放组件到达器件拾取区和器件放置区;所述转动式传送组件和所述取放组件至少其一可上下移动,使所述取放组件到达第一载台上预设的拾取点(31)和第二载台上预设的放置点(51);若干所述取放组件在转动式传送组件的带动下,依次在拾取点拾取器件(7),在放置点依次放置器件;...

【技术特征摘要】
1.一种器件高速取放装置,其特征在于:包括转动式传送组件(1)、均匀间隔设置于所述转动式传送组件上的若干取放组件(2)、位于器件拾取区的一第一载台(3)、驱动所述第一载台在水平面内移动并定位的第一移动机构(4)、位于器件放置区的第二载台(5)和驱动所述第二载台在水平面内移动并定位的第二移动机构(6);所述转动式传送组件可周期性转动传送其上的取放组件到达器件拾取区和器件放置区;所述转动式传送组件和所述取放组件至少其一可上下移动,使所述取放组件到达第一载台上预设的拾取点(31)和第二载台上预设的放置点(51);若干所述取放组件在转动式传送组件的带动下,依次在拾取点拾取器件(7),在放置点依次放置器件;所述第一载台在所述第一移动机构驱动下,可将第一载台上待拾取器件移动至拾取点,所述第二载台在所述第二移动机构驱动下,可将第二载台上待放置器件位置移动至放置点。2.根据权利要求1所述的器件高速取放装置,其特征在于:所述转动式传送组件为传送带式输送机构或链条式输送机构或转盘式...

【专利技术属性】
技术研发人员:肖智轶
申请(专利权)人:华天科技昆山电子有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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