蚀刻制品，生产它的模板结构及该模板结构的生产方法技术

本发明专利技术的模板结构按如下方法形成：在凹部具有预定剖面形状的凹部的成型模板中注入流动物质；固化流动物质；从成型模板分离该流动物质。成型模板表面的中心线平均粗糙度Ｒａ不大于２０ｎｍ，优选不大于８ｎｍ。与流动物质接触的成型模板部分的中心线平均粗糙度Ｒａ也选择不大于２０ｎｍ，优选不大于８ｎｍ。为生产这类成型模板，在玻璃表面通过化学蚀刻方法形成凹部时用于调整水溶液的水的比电阻率不小于１３ＭΩ．ｃｍ。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

Etching article, template structure for producing the same, and production method of the template structure

The template structure of the present invention is formed by injecting a flowable substance into a molding template having a concave portion having a predetermined profile in the recess; solidifying the flowable material; separating the flow material from the forming template. The average roughness of the central surface of the forming template is not more than 20nm, preferably not more than 8nm Ra. The average roughness of the centerline of the forming template contacted with the moving material is also not more than 20nm, preferably no more than 8nm Ra. To produce such molded templates, the resistivity of the water used to adjust the water solution is not less than 13M Omega.Cm when the glass surface is formed by chemical etching.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种需要精确表面形状的光学元件等的模板结构以及该模板结构的生产方法。
技术介绍
近来，随着信息通讯容量的增加，在光通讯领域中使用了大量的平板式光学元件，每种元件的表面都具有微凹-凸结构，从而利用光的衍射或折射作用。熟知的平板式光学元件的实例有衍射光栅，微-透镜组等等。各种已知方法可用于在这些表面上形成这种凹-凸结构。如果使用玻璃材料，玻璃透镜可以通过高温成型方法或蚀刻方法形成。然而，还不能够说这类玻璃透镜的生产方法适合低成本大规模生产。另一方面，树脂成型技术是一种适于低成本规模生产的已知方法。该方法是将光-固化树脂填充到透明基质和具有凹-凸结构的成型模板(压模)之间，采用光辐射，从而将其固化。例如，采用了该方法形成的成型树脂的光学元件的已经公开于日本专利公开号JP S63-49702A。生产具有凹-凸结构的成型模板(压模)的各种已知方法都可以用于这类成型。例如，生产球形凹部的方法可以参见日本专利JP-H-03-232743A，它是通过各向同性地穿过具有环状开口的掩膜而化学蚀刻玻璃基质生产的。如果将填充到以这种方式生产的玻璃成型模板和平板式透明基质之间并固化的树脂从成型本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蚀刻制品，包括：固体基材，所述固体基材的一表面用如下方式蚀刻：使含有能够溶解所述基材的组分的水溶液与所述基材接触，其中所述基材的被蚀刻表面的中心线平均粗糙度Ｒａ不大于２０ｎｍ。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中村浩一郎，山田健一，根本浩之，
申请(专利权)人：日本板硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]