下载蚀刻制品,生产它的模板结构及该模板结构的生产方法的技术资料

文档序号:1466413

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本发明的模板结构按如下方法形成:在凹部具有预定剖面形状的凹部的成型模板中注入流动物质;固化流动物质;从成型模板分离该流动物质。成型模板表面的中心线平均粗糙度Ra不大于20nm,优选不大于8nm。与流动物质接触的成型模板部分的中心线平均粗糙度...
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