一种GaN功率半导体器件的衬底转移方法技术

本发明专利技术提供了一种GaN功率半导体器件的衬底转移方法，通过特殊的晶圆级键合技术，将设置在硅衬底上的GaN功率半导体器件转移至柔性衬底上；该方法是一种全新的衬底转移技术，柔性衬底基板可以有效的减小GaN半导体器件尺寸，可折叠和弯曲，基于柔性衬底的GaNHEMT器件跟常规GaN LED相比具有更高的光电转换效率、稳定性和更高的亮度，可大规模应用于如电子纸、移动显示设备、可穿戴式设备等光电显示领域。该方法操作简单，可推动GaN器件在下一代微系统异质集成复杂光电集成领域的应用，具有明显的创新性和研究价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体制造领域，涉及一种GaN功率半导体器件的衬底转移方法。
技术介绍
随着硅基CMOS尺寸不断缩小，其频率性能也不断提高，当预计特征尺寸达到25nm时，其频率可达490GHz。但硅材料的Johnson优值仅为0.5THzV,尺寸的缩小导致硅基CMOS器件的击穿电压将远小于1V，这极大地限制了硅基芯片在超高速数字领域的应用。近年来，人们不断地寻找其替代品，由于宽禁带半导体氮化镓(GaN)材料具有超高的Johnson优值(5THzV),其器件沟道尺寸达到10nm量级时，击穿电压仍能保持10V左右，已逐渐的引起了国内外广泛的重视。GaN功率器件在要求高转换效率和精确阈值控制、宽带、大动态范围的电路数字电子领域具有广阔和特殊的应用前景，支持国防通信、机载和空间系统。在多种的GaN功率器件中，硅衬底GaN功率器件由于超低的成本优势以及与硅基CMOS的无缝集成，引起了国内外广泛的关注，其中多个公司已经将硅基GaN产品实用化。但是，目前为止，GaNHEMT器件存在尺寸无法缩小、无法与光电集成的问题，极大的限制了GaNHEMT器件在微系统异质集成领域的应用。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种GaN功率半导体器件的衬底转移方法，能够通过特殊的晶圆级键合技术，将设置在硅衬底上的功率半导体器件转移至石英衬底上，以解决硅衬底GaN功率器件在大电流、大电压应用时功耗极大增加，以及随着温度的升高硅基GaN功率器件可靠性退化的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种GaN功率半导体器件的衬底转移方法，包括如下步骤：S1：在原有功率半导体器件的上表面涂覆保护层，并固化所述保护层；S2：在固化后的保护层上涂覆第一光刻胶层，采用晶圆级键合技术将所述第一光刻胶层键合到蓝宝石载片上，并固化所述第一光刻胶层；S3：去除原有功率半导体器件的硅衬底；S4：在原硅衬底处涂覆第二光刻胶层，采用晶圆级键合技术将所述第二光刻胶层键合柔性衬底上，并固化所述第二光刻胶层；S5：将功率半导体器件从蓝宝石载片上剥离，并去除所述保护层和第一光刻胶层；S6、对柔性衬底表面进行平整处理。优选地，保护层为聚酰亚胺。优选地，步骤S1中固化保护层的方法为：将上表面涂覆保护层的功率半导体器件放入真空烘箱中进行烘烤，烘烤的温度为210℃。优选地，第一光刻胶层的厚度为10μm。优选地，步骤S2中固化第一光刻胶层的方法为：将第一光刻胶层在120℃下烘烤2min，再在180℃下烘烤2min，最后放入真空烤箱中进行烘烤，烘烤温度为180℃，烘烤时间为30min。优选地，步骤S3采用氢氟酸湿法腐蚀方法去除硅衬底。优选地，步骤S4中固化第二光刻胶层的方法为：对第二光刻胶层进行紫外光曝光，将曝光后的第二光刻胶层进行烘烤，烘烤温度为150℃，烘烤时间为30min。优选地，步骤S5中剥离蓝宝石载片采用热板烘烤技术，烘烤温度为100℃。优选地，步骤S5中采用湿法刻蚀方式去除器件表面的第二光刻胶层。优选地，柔性衬底为塑料或有机玻璃。。区别于现有技术的情况，本专利技术的有益效果是：(1)通过特殊的晶圆级键合技术，将设置在硅衬底上的GaN功率半导体器件转移至柔性衬底上，该方法简单易行，可在同行业中进行推广；(2)柔性衬底基板可以有效的减小GaN半导体器件尺寸，可折叠和弯曲，并且可以消除高功率晶体管的自热效应；(3)柔性衬底基板GaN器件与常规GaNLED相比具有更高的光电转换效率、稳定性和更高的亮度，可大规模应用于如电子纸、移动显示设备、可穿戴式设备等光电显示领域。附图说明图1是本专利技术的流程示意图；图2是本专利技术一个实施例的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。提供一种GaN功率半导体器件的衬底转移方法，如图1-2所示，包括如下步骤：S1：在原有功率半导体器件的上表面涂覆保护层，并固化保护层；进一步地，固化保护层的方法为：将上表面涂覆保护层的功率半导体器件放入真空烘箱中进行烘烤，烘烤的温度为210℃。该保护层可对器件有源区进行有效保护。进一步地，此处的保护层为聚酰亚胺。S2：在固化后的保护层上涂覆第一光刻胶层，采用晶圆级键合技术将所述第一光刻胶层键合到蓝宝石载片上，并固化第一光刻胶层；进一步地，第一光刻胶层的厚度为10μm。进一步地，固化第一光刻胶层的方法为：将第一光刻胶层在120℃下烘烤2min，再在180℃下烘烤2min，最后放入真空烤箱中进行烘烤，烘烤温度为180℃，烘烤时间为30min。S3：去除原有功率半导体器件的硅衬底；进一步地，采用的图形化硅衬底的GaN器件，在去除硅衬底的时候更能有效的避免开裂；进一步地，采用氢氟酸湿法腐蚀方法去除硅衬底，采用氢氟酸(HF)、浓硝酸(HNO3)、醋酸(CH3COOH)的混合水溶液与单晶硅衬底进行反应，并密切控制应力，确保器件有源区没有裂痕。S4：在原硅衬底处涂覆第二光刻胶层，采用晶圆级键合技术将所述第二光刻胶层键合到柔性衬底上，并固化第二光刻胶层；进一步地，固化第二光刻胶层的方法为：对第二光刻胶层进行紫外光曝光，将曝光后的第二光刻胶层进行烘烤，烘烤温度为150℃，烘烤时间为30min。S5：将功率半导体器件从蓝宝石载片上剥离，并去除保护层和第一光刻胶层。进一步地，剥离蓝宝石载片可采用热板烘烤技术，烘烤温度为100℃。由于柔性衬底不耐高温和比较脆弱的特性，本剥离程序耗时较长。进一步地，采用湿法刻蚀方式去除器件表面的第二光刻胶层。进一步地，采用聚酰亚胺专用去除液去除保护层。S6、由于柔性衬底的弯曲特性，采用贴膜机对柔性衬底表面进行平整处理。进一步地，柔性衬底为塑料或有机玻璃。以上所述仅为本专利技术的实施例，并非因此限制本专利技术的专利范围，凡是利用本专利技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本专利技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种GaN功率半导体器件的衬底转移方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：在原有功率半导体器件的上表面涂覆保护层，并固化所述保护层；S2：在固化后的保护层上涂覆第一光刻胶层，采用晶圆级键合技术将所述第一光刻胶层键合到蓝宝石载片上，并固化所述第一光刻胶层；S3：去除原有功率半导体器件的硅衬底；S4：在原硅衬底处涂覆第二光刻胶层，采用晶圆级键合技术将所述第二光刻胶层键合柔性衬底上，并固化所述第二光刻胶层；S5：将功率半导体器件从蓝宝石载片上剥离，并去除所述保护层和第一光刻胶层；S6、对柔性衬底表面进行平整处理。

【技术特征摘要】
1.一种GaN功率半导体器件的衬底转移方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：在原有功率半导体器件的上表面涂覆保护层，并固化所述保护层；S2：在固化后的保护层上涂覆第一光刻胶层，采用晶圆级键合技术将所述第一光刻胶层键合到蓝宝石载片上，并固化所述第一光刻胶层；S3：去除原有功率半导体器件的硅衬底；S4：在原硅衬底处涂覆第二光刻胶层，采用晶圆级键合技术将所述第二光刻胶层键合柔性衬底上，并固化所述第二光刻胶层；S5：将功率半导体器件从蓝宝石载片上剥离，并去除所述保护层和第一光刻胶层；S6、对柔性衬底表面进行平整处理。2.根据权利要求1所述的GaN功率半导体器件的衬底转移方法，其特征在于，所述保护层为聚酰亚胺。3.根据权利要求1所述的GaN功率半导体器件的衬底转移方法，其特征在于，所述步骤S1中固化保护层的方法为：将上表面涂覆保护层的功率半导体器件放入真空烘箱中进行烘烤，烘烤的温度为210℃。4.根据权利要求1所述的GaN功率半导体器件的衬底转移方法，其特征在于，所述第一光刻胶层的厚度为10μm。5.根据权利要求1所述的Ga...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎明，
申请(专利权)人：成都海威华芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51