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玻璃基板制造技术

技术编号:14563820 阅读:53 留言:0更新日期:2017-02-05 20:46
本发明专利技术的玻璃基板的特征在于,含有下述玻璃组成,该玻璃组成满足特定的构成成分的含量范围,且以mol%表示满足SiO2+Al2O3+B2O3:67~76%的条件,且满足0.6≤Li2O/(Li2O+Na2O+K2O)≤0.96和0.78≤MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)≤0.98的比值。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及玻璃基板
技术介绍
近年来,要求硬盘驱动器用介质的记录密度为600Gbit/inch2左右。实现这种高记录密度的情况下,从头的定位精度的问题出发,对于作为硬盘驱动器用介质的基板而使用的玻璃基板,需要进一步抑制其颤振,因此需要较高的杨氏模量(高弹性)。此外,从提高记录密度的观点出发,需要对应于热辅助方式,在适应热辅助方式的记录层(磁性层)的形成中,需要高温的成膜处理,因此对于形成该记录层的玻璃基板,也要求较高的耐热性。因此,例如日本特开2005-314159号公报(专利文献1)中提出了具有耐热性的玻璃基板。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2005-314159号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题上述提出的玻璃基板具有一定程度的耐热性,但并未示出较高的杨氏模量。因此,无法充分抑制颤振。另一方面,从硬盘驱动器的发热的观点出发,不会对电动机施加负载的低比重的玻璃基板是适宜的,但更加难以得到兼具低比重、高弹性/耐热性的玻璃基板。本专利技术是鉴于这种情况而完成的,其目的在于提供一种玻璃基板,该玻璃基板具有优异的耐热性,并且显示出较高的杨氏模量,且为低密度。解决课题的手段本专利技术的玻璃基板的特征在于,含有下述玻璃组成,该玻璃组成以mol%表示满足SiO2:58~67%Al2O3:6.5~13%B2O3:0~3%Li2O:2.3~6.5%Na2O:0.2~2.5%K2O:0~2%MgO:14~23%CaO:0.6~4.6%SrO:0~3%BaO:0~3%ZnO:0~3%ZrO2:0~3%CeO2:0~2%SnO2:0~2%TiO2:0~4%Nb2O5:0~3%的含量范围,且以mol%表示满足SiO2+Al2O3+B2O3:67~76%的条件,且满足0.6≤Li2O/(Li2O+Na2O+K2O)≤0.96和0.78≤MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)≤0.98的比值(表示“摩尔比例”)。此处,对于该玻璃基板,优选的是,杨氏模量为90GPa以上101GPa以下,且密度为2.49g/cm3以上2.61g/cm3以下,此外玻璃化转变温度优选为635℃以上725℃以下,其厚度t(单位:mm)与外径d(单位:mm)之间优选存在t/d≤0.011的关系。此外,该玻璃基板优选为磁记录介质用玻璃基板,其表面优选经化学强化处理。专利技术效果本专利技术的玻璃基板通过具有上述构成而具有以下优异的效果:具有优异的耐热性,并且显示出较高的杨氏模量,且为低密度。具体实施方式以下,对于本专利技术的实施方式,进行更详细地说明。<玻璃基板>本实施方式的玻璃基板的特征在于,该玻璃基板能够有效地用作各种信息记录装置中的信息记录介质用的基板,特别是硬盘驱动器装置等磁记录装置中的磁记录介质用玻璃基板,该玻璃基板含有下述玻璃组成,该玻璃组成以mol%表示满足SiO2:58~67%Al2O3:6.5~13%B2O3:0~3%Li2O:2.3~6.5%Na2O:0.2~2.5%K2O:0~2%MgO:14~23%CaO:0.6~4.6%SrO:0~3%BaO:0~3%ZnO:0~3%ZrO2:0~3%CeO2:0~2%SnO2:0~2%TiO2:0~4%Nb2O5:0~3%的含量范围,且以mol%表示满足SiO2+Al2O3+B2O3:67~76%的条件,且满足0.6≤Li2O/(Li2O+Na2O+K2O)≤0.96和0.78≤MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)≤0.98的比值。此处,在本实施方式中,关于玻璃组成只要没有特别声明,则“%”表示是指“mol%”(“摩尔%”)。此外,“SiO2+Al2O3+B2O3”那样的化学式的加法标记表示以那种化学式表示的成分的总量。因此,“SiO2+Al2O3+B2O3”表示SiO2、Al2O3和B2O3的总量,上述情况下表示相对于玻璃组成整体,该总量为67~76mol%。此外,“Li2O/(Li2O+Na2O+K2O)”的标记表示Li2O在Li2O、Na2O和K2O的总量中所占的比例(比值),上述情况下表示该比值为0.6以上0.96以下。同样地,“MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)”的标记表示MgO在MgO、CaO、SrO、BaO和ZnO的总量中所占的比例(比值),上述情况下表示该比值为0.78以上0.98以下。本实施方式的玻璃基板通过具有上述那样的玻璃组成,可以确保充分的弹性(高杨氏模量),由此示出下述优异的效果:能够在改善颤振特性且确保较高的杨氏模量和耐热性的状态下,实现低比重(低密度)。这样优异的效果是通过以下所说明的构成该玻璃组成的各成分的作用协同发挥来实现的。需要说明的是,本实施方式的玻璃基板优选具有圆盘状的形状(在中心部分可以开设有用于安装于信息记录装置的孔),由此适合作为例如安装于硬盘驱动器装置等信息记录装置的信息记录介质用(磁记录介质用)的玻璃基板。制成圆盘状的形状的情况下,对于其尺寸没有特别限定,也可以制成例如外径为3.5英寸、2.5英寸、1.8英寸或这些以下的小径盘,此外,也可以制成其厚度为1mm、0.8mm、0.7mm、0.635mm、0.5mm或这些以下的薄型。特别是对于本实施方式的玻璃基板,其厚度t(单位:mm)和外径d(单位:mm)之间优选存在t/d≤0.011的关系。由此,能够降低硬盘驱动器中的每单位记忆容量的基板重量,从消耗电力的观点出发,是适宜的。需要说明的是,从颤振特性的观点出发,t/d的下限优选为0.006以上。需要说明的是,在本实施方式中,玻璃基板的厚度为下述值:以垂直于记录面(具有最大面积的表面)的方向的长度计,将该长度的记录面的面内方向的平均值作为玻璃基板的厚度。<玻璃组成>以下,对于构成本实施方式的玻璃基板的玻璃组成的各构成成分进行说明。首先,构成本实施方式的玻璃组成的SiO2为形成玻璃的网眼结构的重要成分。SiO2的含量小于58%时,难以形成玻璃,化学耐久性有可能恶化。相反地,其超过67%时,熔融性恶化。因此,需要使SiO2的含量为58~67%的含量范围。SiO2更优选的含量范围为59~65%。需要说明的是,在本实施方式中,以mol%表示、例如“58~67%”的范围表示的情本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板,其中,该玻璃基板含有下述玻璃组成,该玻璃组成以mol%表示满足SiO2:58%~67%Al2O3:6.5%~13%B2O3:0%~3%Li2O:2.3%~6.5%Na2O:0.2%~2.5%K2O:0%~2%MgO:14%~23%CaO:0.6%~4.6%SrO:0%~3%BaO:0%~3%ZnO:0%~3%ZrO2:0%~3%CeO2:0%~2%SnO2:0%~2%TiO2:0%~4%Nb2O5:0%~3%的含量范围,且以mol%表示满足SiO2+Al2O3+B2O3:67%~76%的条件,且满足0.6≤Li2O/(Li2O+Na2O+K2O)≤0.96和0.78≤MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO+ZnO)≤0.98的比值。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.09.09 JP 2013-1861561.一种玻璃基板,其中,该玻璃基板含有下述玻璃组成,该玻璃组成以mol%表示满足
SiO2:58%~67%
Al2O3:6.5%~13%
B2O3:0%~3%
Li2O:2.3%~6.5%
Na2O:0.2%~2.5%
K2O:0%~2%
MgO:14%~23%
CaO:0.6%~4.6%
SrO:0%~3%
BaO:0%~3%
ZnO:0%~3%
ZrO2:0%~3%
CeO2:0%~2%
SnO2:0%~2%
TiO2:0%~4%
Nb2O5:0%~3%的含量范围,且以mol%表示满足
SiO2+Al2O3+B2O3:67%~76%的条件,且满足
0.6≤Li2O/(...

【专利技术属性】
技术研发人员:小松隆史梶田大士
申请(专利权)人:HOYA株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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