激光扫描装置制造方法及图纸

激光扫描装置具有：多个激光光源(101、102、103)；棱镜(301、302)，其将从各个所述激光光源入射的激光转换到集束光轴方向；孔径(53)，其被设置成能够在规定的调整方向调整从所述棱镜出射的激光；以及扫描镜(500)，其将经由所述孔径入射的来自所述棱镜的激光反射到扫描位置，所述多个激光光源以各自射出的激光入射到所述孔径时光强度分布的长轴方向成为规定的调整方向的朝向进行设置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使用多个激光光源的激光扫描装置。
技术介绍
以往，作为使用多个激光光源的激光扫描装置有如下的激光扫描装置：使用红色激光器、绿色激光器和蓝色激光器这3种激光光源，将它们会聚成一个光轴，通过MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)镜进行扫描。该情况下，使用会聚透镜或准直透镜将从各个激光光源射出的激光转换成比平行稍窄的光后，使各个激光通过孔径(aperture)(也称作开口限制装置)，由此使各个激光成为规定的形状和尺寸，使用镜或棱镜转换到一个会聚光轴方向，由此利用一个MEMS镜进行扫描(例如参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2010-107615号公报(第5～10页、第1图)
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在专利文献1这样的激光扫描装置中，是针对各个激光光源设置孔径，以使在从各个激光光源射出的激光会聚到一个会聚光轴方向时，各个激光成为规定的形状和尺寸，但是，在这种结构中，在激光扫描装置的制造过程中，在按照各个光源将准直透镜和激光光源调整成一个单元后，在整体组装时需要再次进行位置调整，存在激光扫描装置的制造过程中的调整项目增多这样的问题。本专利技术正是为了解决上述这种课题而完成的，在使用多个激光光源的激光扫描装置中，得到结构简单且可实现制造过程中的调整项目的削减的激光扫描装置。用于解决课题的手段在本专利技术的光扫描装置中，其特征在于，该光扫描装置具有：多个激光光源，其射出光强度分布为椭圆形状的激光；棱镜，其具有反射面，将从各个所述激光光源入射的所述激光转换到集束光轴方向；孔径，其被设置成能够在规定的调整方向调整使从所述棱镜出射的所述激光通过的开口位置的状态；以及扫描镜，其将经由所述孔径入射的来自所述棱镜的所述激光反射到扫描位置，所述多个激光光源以如下的朝向进行设置：各自射出的所述激光入射到所述孔径的位置处的光强度分布的长轴方向成为所述规定的调整方向。专利技术效果在本专利技术中，在从棱镜到扫描镜的光路上设置孔径，使得能够在规定的调整方向调整从所述棱镜出射的各个激光通过孔径的光束，由此，不用按照各个激光光源设置孔径，能够利用一个孔径构成。由此，能够实现结构简单且可削减制造过程中的调整项目的激光扫描装置。附图说明图1是本专利技术的实施方式1的激光扫描装置的横剖视图。图2是本专利技术的实施方式1的激光扫描装置的纵剖视图。图3是示出本专利技术的实施方式1的激光扫描装置的组装调整流程的图。图4是示出本专利技术的实施方式1的激光扫描装置的调整阶段中的调整目标以及来自激光光源的光强度分布和透过孔径后的光束的位置关系的图。图5是示出现有的激光扫描装置的组装调整流程的图。具体实施方式实施方式1图1是本实施方式的激光扫描装置的横剖视图。在图1中设置有3个激光光源101、102、103。并且，设置有将从激光光源102射出的激光转换到集束光轴方向的棱镜301、以及将从激光光源103射出的激光转换到集束光轴方向的棱镜302。这里，在图1中，示出集束光轴L取与X轴平行的轴。图2是以X-Z面切断本实施方式的激光扫描装置时的纵剖视图。在图1中，激光光源101被设置成向集束光轴方向射出激光的朝向，因此，不需要利用棱镜的反射面转换到集束光轴方向。并且，在从棱镜302到双轴偏振镜500的光路上以能够进行位置调整的状态设置有孔径53。接着，对各结构要素进行说明。框体10是本实施方式的激光扫描装置的框体。第1激光光源101射出第1激光。第1激光光源101例如是红色半导体激光器，第1激光是红色波长的激光。这里，在图1中，设置成朝向-X方向射出。并且，设置成光强度分布特性的放射角度规格较宽的方向(长轴方向)朝向Z轴方向(与图1的纸面垂直的方向)。第1激光光源101由光源调整板21支承，使得能够调整射出的光轴。例如，第1激光光源101通过压入或粘接而固定于光源调整板21，光源调整板21与框体10的侧面紧密贴合，在被精密调整到紧密贴合面内方向后，通过螺钉固定或粘接进行固定。在第1激光光源101的射出方向设置有准直透镜201。准直透镜201将第1激光的光束转换成平行光。并且，准直透镜201由透镜调整保持架31支承。例如粘接固定准直透镜201和透镜调整保持架31，设置成以能够在光轴方向进行精密位置调整的状态将透镜调整保持架31嵌合到框体10的圆筒状的孔。这样对光源调整板21和透镜调整保持架31进行精密调整，设置成将来自第1激光光源101的第1激光的平行光调整到集束光轴L的方向。这里，精密调整是指进行精密的位置调整。第2激光光源102射出第2激光。第2激光光源102例如是绿色半导体激光器，第2激光是绿色波长的激光。这里，在图1中，设置成朝向-Y方向射出。并且，设置成光强度分布特性的放射角度规格较宽的方向(长轴方向)朝向Z轴方向。第2激光光源102由光源调整板22支承，使得能够调整射出的光轴。例如，第2激光光源102通过压入或粘接而固定于光源调整板22，光源调整板22与框体10的侧面紧密贴合，在被精密调整到紧密贴合面内方向后，通过螺钉固定或粘接进行固定。在第2激光光源102的射出方向设置有准直透镜202。准直透镜202将第2激光的光束转换成平行光。并且，准直透镜202由透镜调整保持架32支承。例如粘接固定准直透镜202和透镜调整保持架32，设置成以能够在光轴方向进行精密位置调整的状态将透镜调整保持架32嵌合到框体10的圆筒状的孔。从准直透镜202出射的第2激光的平行光被棱镜分束器(也称作棱镜)301转换到集束光轴方向。棱镜分束器301在棱镜内具有45度倾斜的反射面，使从-Y方向入射的光束向-X方向反射。并且，棱镜分束器301由棱镜调整保持架41支承。例如粘接固定棱镜分束器301和棱镜调整保持架41，使棱镜调整保持架42相对于框体10的侧面在X轴方向精密可动，使棱镜内的反射面在图1的X轴方向精密可动。如果使棱镜内的反射面在X轴方向可动，则能够将入射到反射面的第2激光的平行光被反射后的光束调整到Y轴方向。这样对光源调整板22、透镜调整保持架32和棱镜调整保持架41进行精密调整，设置成进行调整以使将来自第2激光光源102的第2激光的平行光转换成集束光轴。第3激光光源103射出第3激光。第3激光光源103例如是蓝色半导体激光器，第3激光是蓝色波长的激光。这里，在图1中，设置成朝向-Y方向射出。并且，设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光扫描装置，其特征在于，该激光扫描装置具有：多个激光光源，其射出光强度分布为椭圆形状的激光；棱镜，其具有反射面，将从各个所述激光光源入射的所述激光转换到集束光轴方向；孔径，其被设置成能够在规定的调整方向调整使从所述棱镜出射的所述激光通过的开口位置；以及扫描镜，其将经由所述孔径入射的来自所述棱镜的所述激光反射到扫描位置，所述多个激光光源以如下的朝向进行设置：各自射出的所述激光入射到所述孔径的位置处的光强度分布的长轴方向成为所述规定的调整方向。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.09.09 JP 2013-1864231.一种激光扫描装置，其特征在于，该激光扫描装置具有：
多个激光光源，其射出光强度分布为椭圆形状的激光；
棱镜，其具有反射面，将从各个所述激光光源入射的所述激光转换到集束光轴方向；
孔径，其被设置成能够在规定的调整方向调整使从所述棱镜出射的所述激光通
过的开口位置；以及
扫描镜，其将经由所述孔径入射的来自所述棱镜的所述激光反射到扫描位置，
所述多个激光光源以如下的朝向进行设置：各自射出的所述激光入射到所述孔
径的位置处的光强度分布的长轴方向成为所述规定的调整方向。
2.根据权利要求1所述的激光扫描装置，其特征在于，
所述扫描镜、所述棱镜和所述孔径分别仅在一个方向具有可动域，
所述棱镜的可动方向与所述扫描镜的可动方向平行，
所述孔径的可动方向与所述扫描镜的可动方向垂直。
3.根据权利要求1或2所述的激光扫描装置，其特征在于，
所述多...

【专利技术属性】
技术研发人员：的崎俊哉，中原宏勋，岸上智，竹下伸夫，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP