基板检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及能够缩短检查时间、提高使用者便利性的基板检查装置。根据本发明专利技术一特征的基板检查装置包括：测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺序，测量多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执行从测量单元传送的各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块设置多个检查区域的优化的测量顺序及多个数据处理部的优化的数据处理顺序；及用户界面，其显示与通过优化模块而优化的测量顺序及数据处理顺序相关的优化相关信息。

Substrate inspection device

The invention relates to a substrate inspection device capable of shortening inspection time and improving user convenience. According to the characteristics of a substrate inspection apparatus of the present invention includes a measuring unit for inspection substrate includes a plurality of inspection area, according to the order determined by the measurement, measurement of multiple inspection area, so as to obtain image data of each inspection area; control department, which includes a plurality of data processing part and a plurality of optimization module. The data processing unit executes a plurality of image data transmitted from each inspection area measurement unit of data processing, order of the optimization module is set up to optimize multiple inspection area measurement and data processing of multiple optimization data processing sequence; and the user interface, the display module and through the optimization and optimization of measuring order and the data processing sequence related information optimization.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及基板检查装置，更详细而言，涉及一种用于在缩短对包括多个检查区域的基板的检查时间的同时谋求使用者的便利的基板检查装置。
技术介绍
一般而言，为了验证贴装了电子部件的印刷电路基板的可靠性，在电子部件的贴装前后，进行检查印刷电路基板的不良与否的检查工序。例如，在把电子部件贴装于印刷电路基板之前，进行检查对于印刷电路基板的焊盘区域的焊料涂布状态的SPI工序，及在把电子部件贴装于印刷电路基板后检查电子部件的贴装状态的AOI工序。印刷电路基板的检查工序通过包括测量单元的基板检查装置实现，所述测量单元具备向基板照射光的照明部及拍摄基板的图像而获得图像数据的照相机。最近开发了一种三维基板检查装置，其利用照射栅格图案光的照明部，获得印刷电路基板的三维信息，由此能够提高印刷电路基板的检查可靠性。另一方面，由于照相机的视野范围(FieldOfView：FOV)已经限定，因此，为了检查大型尺寸的印刷电路基板，把印刷电路基板分割成多个检查区域而进行检查。因此，在使测量单元移动到多个检查区域的同时进行检查，从而发生检查时间增加的问题。
技术实现思路
解决的技术问题因此，本专利技术正是鉴于这种问题而研发的，本专利技术提供一种能够使印刷电路基板的检查时间缩短、使检查工序的使用者便利性提高的基板检查装置。技术方案本专利技术一个特征的基板检查装置包括：测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺序，测量所述多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执行从所述测量单元传送的所述各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块设置所述多个检查区域的优化的测量顺序及所述多个数据处理部的优化的数据处理顺序；及用户界面，其显示与通过所述优化模块而优化的所述测量顺序及所述数据处理顺序相关的优化相关信息。所述优化模块考虑所述测量单元的移动时间及所述各检查区域的影像数据的数据处理时间中至少一个，使对所述多个检查区域的测量顺序及所述多个数据处理部的数据处理顺序进行优化。所述用户界面可以包括检查区域顺序图部，所述检查区域顺序图部显示所述多个数据处理部对所述各检查区域影像数据进行数据处理的数据处理顺序，其中所述各检查区域的多个影像数据根据通过所述优化模块而优化的测量顺序而获得。所述检查区域顺序图部在x轴显示时间，在y轴显示所述多个数据处理部的序号，把所述各检查区域的影像数据的数据处理顺序显示为具有与数据处理时间对应长度的条形态的检查区域块。所述检查区域顺序图部可以根据使用者的选择，把代表所述检查单元的移动时间的移动时间块显示于所述检查区域块的前端。所述用户界面还可以包括条图部，所述条图部对所述检查区域的测量顺序，以块形态排列成一列进行显示。所述用户界面还可以包括基板图像显示部，所述基板图像显示部对所述多个检查区域所显示的所述检查基板的图像进行显示。所述基板图像显示部可以对现在进行检查中或由使用者直接选择的检查区域进行加亮处理并显示。所述用户界面可以还包括属性显示部，其包括显示根据执行一个以上的优化算法的结果数据的算法显示部、显示硬件的参数的参数显示部、用于使路径优化运行的优化运行部、用于使模拟运行的模拟运行部，及显示由使用者选择的对于检查区域的详细信息的检查区域信息显示部中至少一个。专利技术效果根据如上所述的基板检查装置，考虑测量单元的移动时间及各检查区域的数据处理时间等，使多个检查区域的测量顺序及多个数据处理部的数据处理顺序等优化，从而能够缩短对检查基板的检查时间。另外，通过用户界面，提供与通过优化模块而优化的多个检查区域的测量顺序及多个数据处理部的数据处理顺序等相关的优化相关信息，从而能够提高检查工序的使用者便利性。附图说明图1是概略地表示本专利技术一个实施例的基板检查装置的图。图2是表示本专利技术一个实施例的用户界面的显示画面的图。图3是表示图2所示检查区域顺序图部的图。图4是放大图3所示A部分的放大图。图5是表示图2所示条图部的图。图6是表示图2所示基板图像显示部的图。图7是表示图6所示基板图像显示部的加亮功能的图。图8是表示图2所示属性显示部的图。具体实施方式本专利技术可以施加多样的变更，可以具有多种形态，将在附图中示例性图示特定实施例，在正文中加以详细说明。但是，这不是要把本专利技术限定于特定的公开形态，应理解为包括本专利技术的思想及技术范围内包含的所有变更、等同物及至替代物。第1、第2等术语可以用于说明多样的构成要素，但所述构成要素不由所述术语所限定。所述术语只用于把一个构成要素区别于其它构成要素的目的。例如，在不超出本专利技术的权利范围的同时，第1构成要素可以命名为第2构成要素，类似地，第2构成要素也可以命名为第1构成要素。在本申请中使用的术语单纯用于说明特定的实施例，并非要限定本发明之意。只要在文理上未明确表示不同，单数的表现也包括复数的表现。在本申请中，“包括”或“具有”等术语，是要指定说明书中记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或它们的组合的存在，应解释为不预先排除一个或共以上的其它特征或数字、步骤、动作、构成要素、部件或它们的组合的存在或附加可能性。只要未不同地定义，包括技术性或科学性术语在内，此处使用的所有术语具有与本专利技术所属
的普通技术人员一般理解的内容相同的意义。与在一般使用的字典中定义的内容相同的术语，应解释为具有与相关技术的文理上具有的意义一致的意义，只要在本申请中未明确定义，不得过于理想性地、过度地解释为形式上的意义。下面参照附图，更详细地说明本专利技术的优选实施例。图1是概略性地表示本专利技术一个实施例的基板检查装置的图。如果参照图1，本专利技术一个实施例的基板检查装置包括测量单元100、控制部200及用户界面300。测量单元100针对包括多个检查区域的检查基板110，根据确定的测量顺序，依次测量多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据。测量单元100例如包括用于向检查基板110照射栅格图案光的一个以上的投影部120及拍摄因所述栅格图案光而产生的检查基板110的反射图像的至少一个照相机130。投影部120为了检查贴装于检查基板110的贴装部件的贴装状态，向检查基板110照射用于获得高度信息、可见度(visibility)信息等三维信...

【技术保护点】
一种基板检查装置，其中，包括：测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺序，测量所述多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执行从所述测量单元传送的所述各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块设置所述多个检查区域的优化的测量顺序及所述多个数据处理部的优化的数据处理顺序；及用户界面，其显示与通过所述优化模块而优化的所述测量顺序及所述数据处理顺序相关的优化相关信息。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.08.23 KR 10-2013-01003681.一种基板检查装置，其中，包括：
测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺
序，测量所述多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；
控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执
行从所述测量单元传送的所述各检查区域的多个影像数据的数据处理，所
述优化模块设置所述多个检查区域的优化的测量顺序及所述多个数据处
理部的优化的数据处理顺序；及
用户界面，其显示与通过所述优化模块而优化的所述测量顺序及所述
数据处理顺序相关的优化相关信息。
2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，
所述优化模块考虑所述测量单元的移动时间及所述各检查区域的影
像数据的数据处理时间中至少一个，使对所述多个检查区域的测量顺序及
所述多个数据处理部的数据处理顺序进行优化。
3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，
所述用户界面包括检查区域顺序图部，所述检查区域顺序图部显示所
述多个数据处理部对所述各检查区域影像数据进行数据处理的数据处理
顺序，其中所述各检查区域的多个影像数据根据通过所述优化模块而优化
的测量顺序而获得。
4.根据权利要求3所述的基板检查装置，其中，

【专利技术属性】
技术研发人员：洪德和，琴晶，宋丞镐，
申请(专利权)人：株式会社高永科技，
类型：发明
国别省市：韩国;KR