测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种测量装置，所述测量装置包括横向测量机构、纵向测量机构和定位件，所述定位件能够从初始位置移动至待测量物体的位置，所述横向测量机构用于测量所述定位件横向移动的距离，所述纵向测量机构用于测量所述定位件纵向移动的距离。本发明专利技术的测量装置对夹具的固定部与基台之间的横向距离、夹具的夹持部与基台之间的纵向距离进行测量时更加方便。

Measuring device

The invention provides a measuring device, the measuring device comprises a horizontal measuring mechanism, a measuring mechanism and a vertical positioning piece, the locating piece can move from the initial position to the position of the object to be measured, the measuring mechanism for measuring the transverse positioning lateral movement distance, the longitudinal measuring mechanism for measuring the positioning part longitudinal moving distance. The measuring device of the invention is more convenient for measuring the transverse distance between the fixing part and the base of the fixture, and the longitudinal distance between the clamping part of the clamp and the base station.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示基板的制作领域，具体涉及一种测量装置。
技术介绍
在显示基板的制作过程中，先在衬底基板上形成膜层，然后对膜层进行构图工艺以形成所需的图形。膜层可以采用物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)的方法形成，在成膜时，需要使用夹具1(clamp)将基板固定到基台2上。夹具1在使用一段时间以后由于磨损等原因需要进行更换，为了判断夹具1的位置是否正确，需要测量夹具1的固定部11与基台2之间的距离(如图1中的A值)和夹具1的夹持部12与基台2之间的距离(如图1中的B值)，如果夹具1放置的位置不正确，可能衬底基板损坏，因此，夹具1的位置调整和夹具1与基台2之间的距离测量十分重要。为了测量图1中的A值和B值，通常采用图2中的楔形塞尺3进行测量，但是利用这种方式进行测量时，只能先测得A值和B值中的一个，然后再移动楔形塞尺3来测量另一个，使得测量过程较麻烦；并且，当楔形塞尺3的量程不够时，如果直接将塞尺的量程增大，那么楔形塞尺3的横向长度也会相应增加，使得楔形塞尺3占用较大的面积，不容易放置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种测量装置，以便于测量夹具和基台之间的两个方向的距离。本专利技术提供一种测量装置，所述测量装置包括横向测量机构、纵向测量机构和定位件，所述定位件能够从初始位置移动至待测量物体的位置，所述横向测量机构用于测量所述定位件横向移动的距离，所述纵向测量机构用于测量所述定位件纵向移动的距离。优选地，所述横向测量机构和所述纵向测量机构之间的相对位置保持不变，所述定位件能够相对于所述横向测量机构和所述纵向测量机构移动。优选地，所述测量装置能够测量用于固定基板的夹具和用于支撑所述基板的基台之间的距离，所述夹具包括纵向延伸的固定部和与所述固定部相连并朝向所述基台中部横向延伸的夹持部，所述用于固定基板的夹具和用于支撑所述基板的基台之间的距离包括所述固定部与所述基台之间的横向距离以及所述夹持部与所述基台之间的纵向距离，所述定位件包括相连的纵向部和横向部，所述纵向部的至少一部分能够与所述夹具的固定部的朝向所述基台的表面贴合，所述横向部的至少一部分能够与所述夹具的夹持部的朝向所述基台的表面贴合。优选地，所述横向测量机构包括底座，所述底座上设置有横向排列的多个刻度；所述纵向测量机构包括至少一个纵向标尺，所述纵向标尺上设置有纵向排列的多个刻度；所述纵向标尺和所述底座之间的相对位置保持不变，所述定位件移动至任意位置时，所述定位件上的预定位置在所述底座上的投影位于所述底座上刻度的范围内，且所述定位件上的预定位置在所述纵向标尺上的投影位于所述纵向标尺上刻度的范围内。优选地，当所述定位件位于所述初始位置时，所述纵向部与所述底座的朝向所述待测量物体的侧面相贴合，且所述横向部与所述底座的顶面相贴合。优选地，所述测量装置还包括驱动机构，所述驱动机构与所述定位件相连，用于带动所述定位件相对于所述横向测量机构进行纵向移动，并带动所述定位件相对于所述纵向测量机构进行横向移动。优选地，所述驱动机构包括与各个所述纵向标尺分别对应的驱动轴和与各个所述驱动轴分别对应相连的连接组件，所述纵向标尺上设置有第一通孔，所述驱动轴的一端穿过相应的纵向标尺上的第一通孔，所述连接组件与所述定位件相连，所述驱动轴用于带动所述连接组件沿所述底座上刻度的排列方向移动。优选地，所述驱动轴的表面形成有外螺纹，所述第一通孔的内壁形成有与所述驱动轴配合的内螺纹，所述驱动轴的轴线方向与所述底座上的刻度的排列方向相同。优选地，所述纵向测量机构包括两个所述纵向标尺，所述驱动机构包括两个所述驱动轴和两个所述连接组件，所述连接组件包括连接轴、表面设置有外螺纹的旋转轴、相互啮合的第一锥齿轮和第二锥齿轮，所述第一锥齿轮固定在所述驱动轴上，所述第二锥齿轮固定在所述旋转轴上，所述旋转轴的轴线方向与所述纵向标尺上刻度的排列方向相同，所述连接轴的第一端与所述驱动轴相连，所述连接轴的第二端与所述旋转轴相连，所述定位件的横向部上设置有与所述旋转轴的外螺纹相匹配的螺纹孔，两个所述连接组件的两个旋转轴所分别对应的两个螺纹孔不同轴，所述旋转轴的底端穿过相应的所述螺纹孔，所述驱动轴能够绕其轴线与所述连接轴发生相对旋转，所述旋转轴能够绕其轴线与所述连接轴发生相对旋转，所述驱动轴的螺纹旋向与相应的所述旋转轴的螺纹旋向相同。优选地，所述旋转轴内形成有沿其轴线方向的盲孔或第二通孔，所述连接轴的第二端伸入所述盲孔或所述第二通孔中，所述驱动机构还包括轴承，所述轴承的外圈与所述盲孔或所述第二通孔的内壁过盈配合，所述轴承的内圈与所述旋转轴过盈配合。优选地，所述横向部包括两个间隔的第一横向部、分别与两个所述第一横向部对应相连的两个第二横向部，两个所述螺纹孔分别位于两个所述第一横向部上，两个所述螺纹孔之间的距离大于两个所述第一横向部的相互远离的两端之间的距离，所述螺纹孔和相应的所述第二横向部之间的沿两个所述纵向标尺排列方向的距离大于等于所述夹具的夹持部的宽度；所述纵向部包括两个子纵向部和连接在两个所述子纵向部之间的纵向连接部，两个所述子纵向部的第一端分别与两个所述第二横向部相连，所述纵向连接部连接在两个所述子纵向部的第二端之间，两个所述第一横向部之间的间隔宽度、两个所述第二横向部之间的间隔宽度以及两个所述子纵向部之间的间隔宽度均大于等于所述夹具的夹持部的宽度。优选地，所述驱动机构还包括固定设置在所述驱动轴上的操作部。优选地，所述基台上设置有用于支撑所述基板的支撑条，所述底座的底面设置有与所述支撑条相对应的凹槽。利用本专利技术的测量装置测量所述待测量物体与所述初始位置之间的横向距离和纵向距离时，可以通过定位件的移动，并通过所述横向测量机构对定位件移动的横向距离进行测量、通过所述纵向测量机构对定位件移动的纵向距离进行测量，从而一次性测量出所述待测量物体与所述初始位置之间的两个方向的距离，而不需要多次移动所述测量装置，从而便于测量。当所述待测量物体为夹具，所述初始位置为对应于基台的位置时，利用所述测量装置能够更加方便地测出夹具的夹持部与基台之间的纵向距离以及固定部与基台之间的横向距离。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量装置，其特征在于，所述测量装置包括横向测量机构、纵向测量机构和定位件，所述定位件能够从初始位置移动至待测量物体的位置，所述横向测量机构用于测量所述定位件横向移动的距离，所述纵向测量机构用于测量所述定位件纵向移动的距离。

【技术特征摘要】
1.一种测量装置，其特征在于，所述测量装置包括横向测量机
构、纵向测量机构和定位件，所述定位件能够从初始位置移动至待测
量物体的位置，所述横向测量机构用于测量所述定位件横向移动的距
离，所述纵向测量机构用于测量所述定位件纵向移动的距离。
2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述横向测
量机构和所述纵向测量机构之间的相对位置保持不变，所述定位件能
够相对于所述横向测量机构和所述纵向测量机构移动。
3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述测量装
置能够测量用于固定基板的夹具和用于支撑所述基板的基台之间的
距离，所述夹具包括纵向延伸的固定部和与所述固定部相连并朝向所
述基台中部横向延伸的夹持部，所述用于固定基板的夹具和用于支撑
所述基板的基台之间的距离包括所述固定部与所述基台之间的横向
距离以及所述夹持部与所述基台之间的纵向距离，所述定位件包括相
连的纵向部和横向部，所述纵向部的至少一部分能够与所述夹具的固
定部的朝向所述基台的表面贴合，所述横向部的至少一部分能够与所
述夹具的夹持部的朝向所述基台的表面贴合。
4.根据权利要求3所述的测量装置，其特征在于，所述横向测
量机构包括底座，所述底座上设置有横向排列的多个刻度；所述纵向
测量机构包括至少一个纵向标尺，所述纵向标尺上设置有纵向排列的
多个刻度；所述纵向标尺和所述底座之间的相对位置保持不变，所述
定位件移动至任意位置时，所述定位件上的预定位置在所述底座上的
投影位于所述底座上刻度的范围内，且所述定位件上的预定位置在所
述纵向标尺上的投影位于所述纵向标尺上刻度的范围内。
5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，当所述定位

\t件位于所述初始位置时，所述纵向部与所述底座的朝向所述待测量物
体的侧面相贴合，且所述横向部与所述底座的顶面相贴合。
6.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所述测量装
置还包括驱动机构，所述驱动机构与所述定位件相连，用于带动所述
定位件相对于所述横向测量机构进行纵向移动，并带动所述定位件相
对于所述纵向测量机构进行横向移动。
7.根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于，所述驱动机
构包括与各个所述纵向标尺分别对应的驱动轴和与各个所述驱动轴
分别对应相连的连接组件，所述纵向标尺上设置有第一通孔，所述驱
动轴的一端穿过相应的纵向标尺上的第一通孔，所述连接组件与所述
定位件相连，所述驱动轴用于带动所述连接组件沿所述底座上刻度的
排列方向移动。
8.根据权利要求7所述的测量装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：康英男，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11