隧道炉及隧道炉内保护气体的输入方法技术

本发明专利技术提供了一种隧道炉及隧道炉内保护气体的输入方法。隧道炉包括加热段和设置在加热段上的惰性气体保护装置，惰性气体保护装置包括进风口和出风口，进风口和出风口相间隔地设置在加热段上，进风口用于通入惰性气体，出风口用于排出空气，出风口的出风面积大小可调节地设置，当加热段内的氧含量大于第一预定值时，出风口的出风面积减小。加热段内的氧含量大于第一预定值时，惰性气体保护装置的出风口的出风面积减小，此时，隧道炉的空气置换率降低，炉内的气密性增强。往惰性气体保护装置的进风口通入惰性气体，炉内的氧气量很容易降低，只需通入少量惰性气体，就可使加热段内的氧含量低于第一预定值。

Method for inputting protective gas in tunnel furnace and tunnel furnace

The present invention provides a method for inputting protective gas in tunnel furnace and tunnel furnace. The tunnel furnace comprises a heating section and a set of inert gas protection device in the heating section of the inert gas protection device comprises an air inlet and outlet, the inlet and outlet spaced in the heating section, the air inlet for introducing inert gas, the air outlet for discharging the air outlet of the air outlet area size adjust the settings, when the oxygen content in the heating section is greater than the first predetermined value, the outlet of the outlet area is reduced. When the oxygen content in the heating section is greater than the first predetermined value, the air outlet area of the air outlet of the inert gas protection device is reduced. An inert gas is introduced into the air inlet of the inert gas protection device, and the quantity of oxygen in the furnace is easy to be reduced. Only a small amount of inert gas is added, and the oxygen content in the heating section is lower than the first predetermined value.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及烘制工艺设备
，具体而言，涉及一种隧道炉及隧道炉内保护气体的输入方法。
技术介绍
在3DCell制造工艺中，需对涂有lens结构的基板进行高温烘烤，使其未固化物质充分挥发。为避免烘烤黄化，会对炉内加氮气对基板进行保护，氮气隧道炉是一种专门为满足其工艺要求而设计的新型烘烤隧道炉。在氮气隧道炉的主要工艺参数中，会对氧量有具体要求，同时对空气置换率也有要求。所谓置换率，是指每分钟排出的气体相对于内腔容量的百分比，例如：内腔体积为1000L，要求置换率为40％，则每分钟需排出1000L*40％＝400L/min的气体。目前使用的方法是向隧道炉内通入一定时长的氮气，以保证置换率的前提下使含氧量逐渐降低，以达到工艺要求。但是，目前采用上述方式，会消耗极多的氮气，运营成本很高。且在置换率要求较低的情况下，也就是进气量低的时候，很难将含氧量降低至2％以下。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种隧道炉及隧道炉内保护气体的输入方法，以解决现有技术中在对隧道炉内进行保护气体置换时需要耗费很多保护气体的问题。为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种隧道炉，包括加热段和设置在加热段上的惰性气体保护装置，惰性气体保护装置包括进风口和出风口，进风口和出风口相间隔地设置在加热段上，进风口用于通入惰性气体，出风口用于排出空气，出风口的出风面积大小可调节地设置，当加热段内的氧含量大于第一预定值时，出风口的出风面积减小。进一步地，当加热段内的氧含量小于第二预定值时，出风口的出风面积增大，第二预定值小于第一预定值。进一步地，出风口包括风门和驱动组件，风门的大小可调节地设置，驱动组件与风门驱动连接。进一步地，进风口的进风面积大小可调节地设置，当加热段内的氧含量小于第二预定值时，进风口的进风面积增大。进一步地，惰性气体保护装置还包括控制器，控制器与驱动组件电连接，用于控制驱动组件的运行。进一步地，惰性气体保护装置还包括传感器，传感器设置在加热段内，并与控制器电连接，传感器用于检测加热段内的氧含量并将检测值反馈给控制器。本专利技术还提供了一种隧道炉内保护气体的输入方法，包括向隧道炉的加热段内通入惰性气体；当加热段内的氧含量大于第一预定值时，减少加热段的出风量。进一步地，当加热段内的氧含量小于第二预定值时，增大加热段的出风量。进一步地，在增大加热段的出风量的同时增大向加热段内通入惰性气体的进气量。进一步地，在向加热段内通入惰性气体的同时检测加热段内的氧含量。应用本专利技术的技术方案，加热段内的氧含量大于第一预定值时，惰性气体保护装置的出风口的出风面积减小，此时，隧道炉的空气置换率降低，炉内的气密性增强。往惰性气体保护装置的进风口通入惰性气体，炉内的氧气量很容易降低，只需通入少量惰性气体，就可使加热段内的氧含量低于第一预定值。除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本专利技术还有其它的目的、特征和优点。下面将参照附图，对本专利技术作进一步详细的说明。附图说明构成本专利技术的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1示出了根据本专利技术的隧道炉的实施例的主视示意图；以及图2示出了图1中的隧道炉的实施例的俯视示意图；图3示出了图1中的隧道炉的加热段内的结构示意图；图4示出了图1中的隧道炉的惰性气体保护装置的主视示意图；图5示出了图1中的隧道炉的惰性气体保护装置的左视示意图；图6示出了图1中的隧道炉的惰性气体保护装置的整体结构示意图。其中，上述附图包括以下附图标记：10、加热段；20、惰性气体保护装置；21、进风口；22、出风口；221、风门；222、驱动组件；23、排气管组；24、排风过滤箱；25、滤网滑轨；26、滤油盘；27、滤网封盖；30、对合扣。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的术语在适当情况下可以互换，以便这里描述的本专利技术的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。图1和图2示出了本专利技术的隧道炉的实施例，该隧道炉包括加热段10和设置在加热段10上的惰性气体保护装置20。可选的，惰性气体保护装置20与加热段10通过对合扣30连接。如图3所示，惰性气体保护装置20包括进风口21和出风口22，进风口21和出风口22相间隔地设置在加热段10上，进风口21用于通入惰性气体，出风口22用于排出空气。出风口22的出风面积大小可调节地设置，当加热段10内的氧含量大于第一预定值时，出风口22的出风面积减小。加热段10内的氧含量大于第一预定值时，惰性气体保护装置20的出风口22的出风面积减小，此时，隧道炉的空气置换率降低，炉内的气密性增强。往惰性气体保护装置20的进风口21通入惰性气体，炉内的氧气量很容易降低，只需通入少量惰性气体，就可使加热段10内的氧含量低于第一预定值。可选的，当加热段10内的氧含量小于第二预定值时，出风口22的出风面积增大，第二预定值小于第一预定值。在加热段内的氧含量降低到第一预定值后继续从进风口21处通入惰性气体，由于出风口出风面积较小，加热段内的气体会逐渐增多，氧含量也会持续下降。当氧含量小于第二预定值时，增大出风口面积，以增大加热段10的出风量，从而使空气置换率上升，置换率可在工艺要求范围内随意调节，且加热段内的含氧量不会上升，因而可以满足工艺要求。如图4和图5所示，在本实施例中，出风口22包括风门221和驱动组件222，风门221的大小可调节地设置，驱动组件222与风门221驱动连接。当加热段10内的氧含量大于第一预定值时，驱动组件222驱动风门221往出风口22面积减小的方向移动，以减小出风量。当加热段10内的氧含量小于第二预定值时，驱动组件222驱动风门221往出风口22面积增大的方向移动，以增大出风量。可选的，在进风口21处也可设置上述的风门和驱动组件，以便于调节进风口21的进风量。可选的，进风口21的进风面积大小可调节地设置，当加热段10内的氧含量小于第二预定值时，进风口21的进风面积增大。当加热段10内的氧含量小于第二预定值时，在增大出风口22的出风面积的同时增大进风口的进风面积，可以更快地提升空气置换率，且保证加热段10内氧含量不会上升。如图4，在本实施例中，惰性气体保护装置20还包括控制器，控制器与驱动组件222电连接，用于控制驱动组件222的运行。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种隧道炉，包括加热段(10)和设置在所述加热段(10)上的惰性气体保护装置(20)，所述惰性气体保护装置(20)包括进风口(21)和出风口(22)，所述进风口(21)和所述出风口(22)相间隔地设置在所述加热段(10)上，所述进风口(21)用于通入惰性气体，所述出风口(22)用于排出空气，其特征在于，所述出风口(22)的出风面积大小可调节地设置，当所述加热段(10)内的氧含量大于第一预定值时，所述出风口(22)的出风面积减小。

【技术特征摘要】
1.一种隧道炉，包括加热段(10)和设置在所述加热段(10)上的惰性气体保护装置(20)，所述惰性气体保护装置(20)包括进风口(21)和出风口(22)，所述进风口(21)和所述出风口(22)相间隔地设置在所述加热段(10)上，所述进风口(21)用于通入惰性气体，所述出风口(22)用于排出空气，其特征在于，所述出风口(22)的出风面积大小可调节地设置，当所述加热段(10)内的氧含量大于第一预定值时，所述出风口(22)的出风面积减小。2.根据权利要求1所述的隧道炉，其特征在于，当所述加热段(10)内的氧含量小于第二预定值时，所述出风口(22)的出风面积增大，所述第二预定值小于所述第一预定值。3.根据权利要求2所述的隧道炉，其特征在于，所述出风口(22)包括风门(221)和驱动组件(222)，所述风门(221)的大小可调节地设置，所述驱动组件(222)与所述风门(221)驱动连接。4.根据权利要求2所述的隧道炉，其特征在于，所述进风口(21)的进风面积大小可调节地设置，当所述加热段(10)内的氧含量小于第二预定值时，所述进风口(21)的进风...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷剑东，唐浩，李存亮，
申请(专利权)人：张家港康得新光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32