【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及纳米阵列LED生长与制备领域,特别涉及生长在镓酸锂(LiGaO2)衬底上的纳米柱LED及其制备方法。
技术介绍
GaN及其相关的III族氮化物在电学、光学以及声学上具有极其优异的性质,已经被广泛的应用于制备发光二极管(LEDs)、激光二极管(LDs)和场效应晶体管等器件。近年来,GaN基纳米柱LED作为一种具有潜力的LED结构而备受关注,这是由于与平面结构LED相比,首先纳米柱LED具有高的面容比(面积/体积),能够显著降低穿透位错密度;其次,纳米柱LED可大幅度提高LED的出光效率,实现光的耦合出射;最后可通过控制纳米柱LED的尺寸,改变纳米柱LED的发光波长,制备出单芯片多色发光的纳米柱LED,为实现低成本白光LED的制备开辟了新的道路。目前GaN基纳米柱LED大多基于其极性面构建而成,极性面存在的量子束缚斯塔克效应(QCSE)会造成LED能带弯曲、倾斜、从而引起电子与空穴的分离,严重降低载流子的辐射复合效率,并造成LED发光波长不稳定。采用非极性面外延GaN基LED,能够抑制能带弯曲和倾斜所引起的波长偏移,克服QCSE效应造成的电子与空穴分离,理论上提高近一倍的LED发光效率。同时,非极性InGaN/GaN量子阱结构被证明具有一种特殊的偏振特性,应用在屏幕显示器件中,能够去除偏振滤波片,从而降低偏振滤波片引起的损耗,同时提升屏幕的光线均匀性,达到节能、改善色调的作用。非极性面GaN相比于极性面GaN,在生长过程中更容易形成缺陷。因此,非极性面GaN外延衬底的选择显得尤为重要,目前商业化的LED主要是在蓝宝石衬底上外延生长的,然而蓝宝石 ...
【技术保护点】
生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED,其特征在于:包括LiGaO2衬底,生长在LiGaO2衬底上的GaN纳米柱阵列,生长在GaN纳米柱阵列上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的n型掺杂GaN层,生长在n型掺杂GaN层上的InGaN/GaN量子阱,生长在InGaN/GaN量子阱上的p型掺杂GaN层;所述GaN纳米柱阵列为非极性GaN纳米柱阵列。
【技术特征摘要】
1.生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED,其特征在于:包括LiGaO2衬底,生长在LiGaO2衬底上的GaN纳米柱阵列,生长在GaN纳米柱阵列上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的n型掺杂GaN层,生长在n型掺杂GaN层上的InGaN/GaN量子阱,生长在InGaN/GaN量子阱上的p型掺杂GaN层;所述GaN纳米柱阵列为非极性GaN纳米柱阵列。2.根据权利要求1所述生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED,其特征在于:所述LiGaO2衬底以(100)面偏(110)方向0.2~1°为外延面。3.根据权利要求1所述生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED,其特征在于:所述GaN纳米柱阵列是由生长在LiGaO2衬底上的非极性GaN缓冲层制备而成的;所述非极性GaN缓冲层是非极性面GaN,晶体外延取向关系为:GaN的(1-100)面平行于LiGaO2的(100)面;GaN纳米柱阵列是非极性面GaN,晶体外延取向关系为:GaN的(1-100)面平行于LiGaO2的(100)面。4.根据权利要求1所述生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED,其特征在于:所述GaN纳米柱阵列的高度为500~1000nm,间距为150~250nm,直径为100~200nm。5.根据权利要求1所述生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED,其特征在于:所述非掺杂GaN层的厚度为200~300nm;所述n型掺杂GaN层的厚度为2~4μm;所述InGaN/GaN量子阱为8~13个周期的InGaN阱层/GaN垒层,其中InGaN阱层的厚度为3~5nm,GaN垒层的厚度为10~15nm;所述p型掺杂GaN层的厚度为300~350nm。6.根据权利要求1所述生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED,其特征在于:所述n型掺杂GaN层的掺杂浓度为3×1018~9×1018cm-3;所述p型掺杂GaN层的掺杂浓度为3×1017~9×1017cm-3。7.根据权利要求1所述生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED,其特征在于:所述生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED还包括隔离层,所述隔离层沉积在GaN纳米柱阵列的侧壁和未被纳米柱阵列覆盖的LiGaO2衬底上。8.根据权利要求7所述生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED,其特征在于:所述隔离层的材料为SiNx、SiO2或者Al2O3;所述隔离层的厚度为10~50nm。9.根据权利要求1~8任一项所述生长在镓酸锂衬底上的非极性纳米柱LED的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)衬底及其晶向的选取:采用LiGaO2衬底,以(100)面偏(110)方向0.2~1°为外延面,晶体外延取向关系为:GaN的(1-100)面平行于LiGaO2的(100)面;(2)衬底表面抛光、清洗以及退火处理,所述退火的具体过程为:将衬底放入退火室内,在800~900℃下空气氛围中对LiGaO2衬底进行退火处理3~4小时然后空冷至室温;(3)非极性GaN缓冲层外延生长:采用PLD技术,衬底温度为150~250℃,氮的等离子体流量为3~4.5sccm,RF活化功率为400~450W的条件下生长非...
【专利技术属性】
技术研发人员:李国强,王文樑,杨美娟,
申请(专利权)人:华南理工大学,
类型:发明
国别省市:广东;44
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