测试接口板、测试系统、测试方法以及装置制造方法及图纸

提供了测试接口板、测试系统、测试方法以及装置。测试接口板包括编码器、信号复制器和解码器。编码器数字地编码测试数据以产生调制信号。信号复制器通过感应地耦合调制信号来复制调制信号并输出与调制信号对应的至少一个复制信号。解码器将调制信号和至少一个复制信号进行解码，以测试至少两个半导体器件。

【技术实现步骤摘要】
通过引用将于2015年7月23日提交的第10-2015-0104356号且题为“TestBoard,TestEquipment,TestSystem,andTestMethod”(测试板、测试设备、测试系统和测试方法)的韩国专利申请全部包含于此。
一个或更多个实施例涉及测试板、测试设备、测试系统和测试方法。
技术介绍
将一个信号施加到多个半导体器件的信号分配方法用于利用有限的资源的同时测试数量增加的半导体器件。然而，随着作为测试图案的测试信号的频率增加，难以在保持信号特性的同时执行信号分配。
技术实现思路
根据一个或更多个实施例，测试接口板包括：编码器，数字地编码测试数据并输出调制信号；信号复制器，通过感应地耦合调制信号来复制调制信号并输出与调制信号对应的至少一个复制信号；以及解码器，将调制信号和至少一个复制信号进行解码以测试至少两个半导体器件。测试接口板还可以包括：被测器件(DUT)板，其包括至少两个半导体器件，其中，编码器、信号复制器和解码器在DUT板中。编码器可以通过曼彻斯特编码来编码测试数据。信号复制器可以包括：第一信号线，被图案化在DUT板的层上以传输调制信号；以及至少一条第二信号线，其中，所述至少一条第二信号线的一部分具有第一长度并平行于第一信号线，其中，所述部分被图案化在DUT板的另一层上，并且其中，基于所述第一信号线的磁场的变化经由至少一条第二信号线来感应至少一个复制信号。第一长度可以是固定的，而与测试数据的信号频率无关。第一信号线的阻抗可以基本等于至少一条第二信号线的阻抗。测试接口板可以包括：DUT板，包括至少两个半导体器件；以及母板，包括编码器、信号复制器和解码器。根据一个或更多个其他实施例，测试系统包括：自动测试器，经由通道传输测试数据以测试至少两个半导体器件，其中：半导体器件安装在测试接口板上，测试数据是经相位调制的，并通过感应耦合施加到至少两个半导体器件。至少两个半导体器件可以安装在测试接口板上，测试接口板可以包括：第一编码器，通过相位调制来数字地编码测试数据并将编码的测试数据作为调制信号输出；第一信号复制器，通过感应地耦合调制信号来复制调制信号并输出与调制信号相同的至少一个复制信号；以及第一解码器，将调制信号和至少一个复制信号进行解码并将分别与调制信号和至少一个复制信号对应的解码的信号传输到至少两个半导体器件。第一信号复制器可以复制调制信号并输出与调制信号相同的n-1个复制信号，其中，n≥2，并且在相同时间的半导体器件的数量可以等于通道的数量的n倍。第一信号复制器可以包括：第一信号线，传输调制信号；以及至少一条第二信号线，其中，至少一条第二信号线的一部分具有第一长度并平行于第一信号线，其中，所述部分可以被图案化，并且其中，可以基于第一信号线的磁场的变化经由至少一条第二信号线来感应至少一个复制信号。第一长度可以是固定的，而与测试数据的信号频率无关。第一编码器可以通过曼彻斯特编码来编码测试数据。自动测试设备可以包括：第二编码器，通过相位调制来数字地编码测试数据并将编码的测试数据作为调制信号输出；第二信号复制器，通过感应地耦合调制信号来复制调制信号并输出与调制信号相同的至少一个复制信号；以及第二解码器，将调制信号和至少一个复制信号进行解码并将分别与调制信号和至少一个复制信号对应的解码的信号传输到至少两条通道中的每条。第二信号复制器可以包括：第一信号线，传输调制信号；以及至少一条第二信号线，其中，至少一条第二信号线的一部分具有第一长度并平行于第一信号线，其中，所述部分是图案化的，并且其中，基于第一信号线的磁场的变化经由至少一条第二信号线来感应至少一个复制信号。第一长度可以是固定的，而与测试数据的信号频率无关。第二编码器可以通过曼彻斯特编码来编码测试数据。测试系统可以包括：第三编码器，经由通道接收测试数据，通过相位调制来数字地编码测试数据，以及将编码的测试数据作为调制信号输出；第三信号复制器，通过感应地耦合调制信号来复制调制信号并输出与调制信号相同的至少一个复制信号；以及第三解码器，将调制信号和至少一个复制信号进行解码。第三信号复制器可以复制调制信号并输出与调制信号相同的n-1个复制信号，将第三解码器与测试接口板电连接的通道的数量是将自动测试设备与第三编码器电连接的通道的数量的n倍。测试接口板可以包括：第一编码器，利用第一数字编码方法来数字地编码从第一解码器接收的信号并将编码的信号作为第一调制信号输出，第一数字编码方法包括相位调制；第一信号复制器，通过感应地耦合第一调制信号来复制第一调制信号并输出与第一调制信号相同的至少一个第一复制信号；以及第一解码器，将第一调制信号和至少一个第一复制信号进行解码并将分别与第一调制信号和至少一个第一复制信号对应的解码的信号传输到至少两个半导体器件。自动测试设备可以包括：第二编码器，利用第二数字编码方法来数字地编码测试数据并将编码的测试数据作为第二调制信号输出，第二数字编码方法包括相位调制；第二信号复制器，通过感应地耦合第二调制信号来复制第二调制信号并输出与第二调制信号相同的至少一个第二复制信号；以及第二解码器，将第二调制信号和至少一个第二复制信号进行解码并将分别与第二调制信号和至少一个第二复制信号对应的解码的信号传输到至少两条通道中的每条。第一数字编码方法和第二数字编码方法可以是相同的。根据一个或更多个其他实施例，测试方法包括：通过将测试数据进行相位调制来数字地编码测试数据；通过感应耦合来复制相位调制的测试数据；输出与相位调制的测试数据相同的至少一段复制数据；将相位调制的测试数据和至少一段复制数据进行解码；将通过解码获得的数据传输到待测试的至少两个半导体器件；以及测试所述至少两个半导体器件。数字地编码测试数据的步骤可以包括使测试数据与跟测试数据同步的时钟异或。复制相位调制的测试数据的步骤可以包括：将相位调制的测试数据提供到第一信号线；以及根据第一信号线的磁场的变化从第一信号线到第二信号线进行感应，其中，第二信号线的一部分具有第一长度并平行于第一信号线。测试方法可以包括：接收测试数据；以及输出测试至少两个半导体器件的结果。根据一个或更多个其他实施例，一种装置包括：编码器，数字地编码测试数据以产生调制信号；信号复制器，通过感应耦合调制信号来产生复制信号；以及解码器，将调制信号和复制信号进行解码以测试至少两个半导体器件，其中，信号复制器包括：第一信号线，传输调制信号；以及至少一条第二信号线，包括平行于第一信号线的具有第一长度的部分，基于第一信号线的磁场的变化经由第二信号线来感应地耦合复制信号。第一长度可以是固定的，而与测试数据的信号频率无关。第一信号线的阻抗可以基本等于第二信号线的阻抗。编码器可以通过曼彻斯特编码来编码测试数据。附图说明通过参照附图详细描述示例性实施例，对本领域技术人员而言，特征将变得明显，在附图中：图1示出了测试接口板的实施例；图2A至图2C示出了数字编码方法的示例；图3示出了测试接口板的另一实施例；图4A至图4E示出了信号复制器的示例；图5A至图5C示出了测试接口板的其它实施例；图6示出了测试接口板的另一实施例；图7示出了测试系统的实施例；图8示出了测试接口板的另一实施例；图9示出了测试接口板的另一实施例；图10至图13示出了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试接口板，所述测试接口板包括：编码器，数字地编码测试数据并输出调制信号；信号复制器，通过感应地耦合调制信号来复制调制信号并输出与调制信号对应的至少一个复制信号；以及解码器，将调制信号和所述至少一个复制信号进行解码以测试至少两个半导体器件。

【技术特征摘要】
2015.07.23 KR 10-2015-01043561.一种测试接口板，所述测试接口板包括：编码器，数字地编码测试数据并输出调制信号；信号复制器，通过感应地耦合调制信号来复制调制信号并输出与调制信号对应的至少一个复制信号；以及解码器，将调制信号和所述至少一个复制信号进行解码以测试至少两个半导体器件。2.根据权利要求1所述的测试接口板，所述测试接口板还包括：被测器件板，包括所述至少两个半导体器件，其中，编码器、信号复制器和解码器在被测器件板中。3.根据权利要求2所述的测试接口板，其中，信号复制器包括：第一信号线，被图案化在被测器件板的层上以传输调制信号；以及至少一条第二信号线，其中，所述至少一条第二信号线的一部分具有第一长度并平行于第一信号线，其中，所述一部分被图案化在被测器件板的另一层上，其中，基于第一信号线的磁场的变化经由所述至少一条第二信号线来感应所述至少一个复制信号。4.根据权利要求3所述的测试接口板，其中，第一长度是固定的，而与测试数据的信号频率无关。5.根据权利要求3所述的测试接口板，其中，第一信号线的阻抗基本等于所述至少一条第二信号线的阻抗。6.根据权利要求1所述的测试接口板，所述测试接口板还包括：被测器件板，包括所述至少两个半导体器件；以及母板，包括编码器、信号复制器和解码器。7.根据权利要求1所述的测试接口板，其中，编码器通过曼彻斯特编码来编码测试数据。8.一种测试系统，所述测试系统包括：自动测试器，经由通道传输测试数据以测试至少两个半导体器件，其中：半导体器件安装在测试接口板上，并且测试数据是经相位调制的，并通过感应耦合施加到所述至少两个半导体器件。9.根据权利要求8所述的测试系统，其中：所述至少两个半导体器件安装在测试接口板上，并且测试接口板包括：第一编码器，通过相位调制来数字地编码测试数据并将编码的测试数据作为调制信号输出；第一信号复制器，通过感应地耦合调制信号来复制调制信号并输出与调制信号相同的至少一个复制信号；以及第一解码器，将调制信号和所述至少一个复制信号进行解码并将分别与调制信号和所述至少一个复制信号对应的解码的信号传输到所述至少两个半导体器件。10.根据权利要求9所述的测试系统，其中：第一信号复制器复制调制信号并输出与调制信号相同的n-1个复制信号，其中n≥2，并且在相同时间的半导体器件的数量等于通道的数量的n倍。11.根据权利要求10所述的测试系统，其中，第一信号复制器包括：第一信号线，传输调制信号；以及至少一条第二信号线，其中，所述至少一条第二信号线的一部分具有第一长度并平行于第一信号线，其中，所述一部分被图案化，并且其中，基于第一信号线的磁场的变化经由所述至少一条第二信号线来感应所述至少一个复制信号。12.根据权利要求11所述的测试系统，其中，第一长度是固定的，而与测试数据的信号频率无关。13.根据权利要求9所述的测试系统，其中，第一编码器通过曼彻斯特编码来编码测试数据。14.根据权利要求8所述的测试系统，其中，自动测试器包括：第二编码器，通过相位调制来数字地编码测试数据并将编码的测试数据作为调制信号输出；第二信号复制器，通过感应地耦合调制信号来复制调制信号并输出与调制信号相同的至少一个复制信号；以及第二解码器，将调制信号和所述至少一个复制信号进行解码并将分别与调制信号和所述至少一个复制信号对应的解码的信号传输到至少两条通道中的每条。15.根据权利要求14所述的测试系...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹柱盛，宋基在，张熊镇，崔云燮，金在显，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR