【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种雪崩探测器,尤其涉及一种1064nm硅基雪崩探测器及其制作方法。
技术介绍
硅基雪崩光电二极管是一种具有内部增益的光电探测器,它具有内部增益功能,其响应速度快、光谱范围宽、灵敏度和信噪比S/N都比较高,已广泛应用于弱光场测量、光子计数、光纤通信、激光测距等领域。目前,日本滨松、德国FirstSensor、美国OSI等公司研制的硅基雪崩探测器种类繁多、性能优良,已广泛应用于各个领域。国内研制硅雪崩光电二极管的厂家较少,关键技术掌握不足,尤其是1064nm硅基雪崩探测器存在击穿电压温度系数偏大、高温击穿特性稳定性较差、噪声大等缺点,无法满足工程需求,因此需要依赖进口。由于1064nm硅基雪崩探测器工作在较高的电压下,PN结边缘处由于边缘场效应,存在较高的边缘电场,容易导致1064nm硅基雪崩探测器在边缘处提前击穿,使器件稳定性和可靠性变差甚至失效。
技术实现思路
针对
技术介绍
中的问题,本专利技术提出了一种1064nm硅基雪崩探测器,所述1064nm硅基雪崩探测器包括衬底层、光敏区、雪崩区、保护环和截止环,所述光敏区、雪崩区、保护环和截止环均形成在衬底层上;所述保护环设置在光敏区外围,所述截止环设置在保护环的外围,所述雪崩区形成在光敏区中部,其特征在于:保护环的数量为两个,第一保护环设置在光敏区外围,光敏区的外周边沿位于第一保护环的径向中部,雪崩区与第一保护环之间留有间隔,第二保护环设置在第一保护环的外围,第二保护环和第一保护环之间留有间隔,截止环设置在第二保护环的外围,截止环和第二保护环之间留有间隔。本专利技术的原理是:本专利技术所涉及的106 ...
【技术保护点】
一种1064nm硅基雪崩探测器,所述1064nm硅基雪崩探测器包括衬底层(11)、光敏区(8)、雪崩区(9)、保护环和截止环(3),所述光敏区(8)、雪崩区(9)、保护环和截止环(3)均形成在衬底层(11)上;所述保护环设置在光敏区(8)外围,所述截止环(3)设置在保护环的外围,所述雪崩区(9)形成在光敏区(8)中部,其特征在于:保护环的数量为两个,第一保护环(10)设置在光敏区(8)外围,光敏区(8)的外周边沿位于第一保护环(10)的径向中部,雪崩区(9)与第一保护环(10)之间留有间隔,第二保护环(4)设置在第一保护环(10)的外围,第二保护环(4)和第一保护环(10)之间留有间隔,截止环(3)设置在第二保护环(4)的外围,截止环(3)和第二保护环(4)之间留有间隔。
【技术特征摘要】
1.一种1064nm硅基雪崩探测器,所述1064nm硅基雪崩探测器包括衬底层(11)、光敏区(8)、雪崩区(9)、保护环和截止环(3),所述光敏区(8)、雪崩区(9)、保护环和截止环(3)均形成在衬底层(11)上;所述保护环设置在光敏区(8)外围,所述截止环(3)设置在保护环的外围,所述雪崩区(9)形成在光敏区(8)中部,其特征在于:保护环的数量为两个,第一保护环(10)设置在光敏区(8)外围,光敏区(8)的外周边沿位于第一保护环(10)的径向中部,雪崩区(9)与第一保护环(10)之间留有间隔,第二保护环(4)设置在第一保护环(10)的外围,第二保护环(4)和第一保护环(10)之间留有间隔,截止环(3)设置在第二保护环(4)的外围,截止环(3)和第二保护环(4)之间留有间隔。2.根据权利要求1所述的1064nm硅基雪崩探测器,其特征在于:所述第一保护环(10)和第二保护环(4)的径向宽度均为10μm~20μm,第一保护环(10)和第二保护环(4)之间的间隔距离为6μm~20μm。3.一种1064nm硅基雪崩探测器的制作方法,其特征在于:所述制作方法的步骤为:1)提供硅衬底,获得衬底层(11);2)采用硼离子注入工艺在衬底层(11)的正面形成截止环(3);3)采用磷离子注入工艺和高温推结工艺在衬底层(11)的正面形成第一保护环(10)和第二保护环(4);4)采用硼离子注入工艺在衬底层(11)的正面形成雪崩区(9);5)采用磷离...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄烈云,姜华男,黄建,罗春林,伍明娟,龙雨霞,
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十四研究所,
类型:发明
国别省市:重庆;50
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