用于制备颗粒硅的流化床反应器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于制备颗粒硅的流化床反应器，由顶部的扩大段、中部的直筒段和底部的圆筒段密封构成，其中顶部的扩大段上设有尾气出口和籽晶进口；中部的直筒段包括反应器外面的壳体、内衬以及位于内衬和客体之间的加热装置；直筒段和底部的圆筒段通过气体分布器连接，颗粒硅产品出口设于反应器底部，底部还设有反应气体进口和流态化气体进口，反应气体和流态化气体经由气体分布器进入反应器，顶部的扩大段还设有具有导流孔的导流板和辅助气体进口，导流板位于籽晶进口的上方。本实用新型专利技术通过在流化床扩大段设置特定的导流板，结合辅助气体进口，能够减少流化床反应器器壁沉积，避免硅粉对后端系统带来的危害。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏产业的原料多晶硅制备
，具体涉及一种用于制备颗粒硅的流化床反应器。
技术介绍
光伏原材料多晶硅的制备通常采用改良西门子法和流化床法。流化床法因其具有沉积效率高、连续运行、成本低等特点被广大多晶硅厂商竞相追捧。流化床法是美国联合碳化学公司早年研发的多晶硅制备工艺技术。该方法是以四氯化硅（SiCl4）、H2、HCl和工业硅为原料，在高温高压流化床内（沸腾床）生成三氯氢硅（SiHCl3），将SiHCl3再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅（SiH2Cl2），继而歧化生成硅烷，硅烷或氯硅烷通入加有颗粒硅籽晶（也叫做“硅籽晶”）、500℃~1200℃反应温度的流化床反应器内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅产品。按照通入流化床反应器内的含硅气体的种类，通常分为硅烷流化床和氯硅烷流化床（例如三氯氢硅流化床）。由于在流化床反应器内参与反应的颗粒硅表面积大，故该方法生产效率高、电耗低、成本低。流化床法的另一优点是：在下游的晶体生长过程中，颗粒硅可以直接装入晶体生长的坩埚中，但传统的改良西门子法生产的棒状多晶硅产品在装入坩埚之前需要进行破碎和分选处理，另外还需要例如用高纯度无机酸刻本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制备颗粒硅的流化床反应器，由顶部的扩大段、中部的直筒段和底部的圆筒段三段壳体密封构成反应空间，其中顶部的扩大段上设有尾气出口（1）和籽晶进口（2）；中部的直筒段包括反应器外面的壳体、内衬（3）以及位于内衬和壳体之间的加热装置（4）；直筒段和底部的圆筒段通过气体分布器（5）连接，颗粒硅产品出口（6）设于反应器底部，并贯穿气体分布器（5）和反应器底部，反应器底部还设有反应气体进口（7）和流态化气体进口（8），反应气体和流态化气体经由气体分布器（5）进入反应器，其特征在于，顶部的扩大段还设有具有导流孔的导流板（9）和辅助气体进口（10），所述导流板（9）位于籽晶进口（2）的上方。

【技术特征摘要】
1.一种用于制备颗粒硅的流化床反应器，由顶部的扩大段、中部的直筒段和底部的圆筒段三段壳体密封构成反应空间，其中顶部的扩大段上设有尾气出口（1）和籽晶进口（2）；中部的直筒段包括反应器外面的壳体、内衬（3）以及位于内衬和壳体之间的加热装置（4）；直筒段和底部的圆筒段通过气体分布器（5）连接，颗粒硅产品出口（6）设于反应器底部，并贯穿气体分布器（5）和反应器底部，反应器底部还设有反应气体进口（7）和流态化气体进口（8），反应气体和流态化气体经由气体分布器（5）进入反应器，其特征在于，顶部的扩大段还设有具有导流孔的导流板（9）和辅助气体进口（10），所述导流板（9）位于籽晶进口（2）的上方。2.根据权利要求1所述的用于制备颗粒硅的流化床反应器，其特征在于，所述导流板（9）的中间区域设有导流孔。3.根据权利要求2所述的用于制备颗粒硅的流化床反应器，其特征在于，所述导流板（9）中间区域面积不超过流化床反应器直筒段横截面积的90%。4.根据权利要求1所述的用于制备颗粒硅的流化床反应器，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：周舟，陈文龙，吕磊，蒋立民，马军，
申请(专利权)人：江苏中能硅业科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32