一种感光树脂组合物制造技术

本发明专利技术公开了一种感光树脂组合物，它包括碱可溶性聚合物、具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物和光引发剂；所述碱可溶性聚合物的质量含量为40‑70％，所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物的质量含量为20‑50％，所述光引发剂的质量含量为0.5‑20％。该组合物具有优异的耐显影液性能，有助于提高精密线路的附着力及解析度；固化膜具有优异的剥离特性，有效避免电镀夹膜现象，提升生产良率及效率。另外，感光树脂组合物在355、405nm处都具有较强的光敏性，可使用激光直接成像曝光机在较低的曝光能量下进行曝光，获得高密度精细线路，有利于PCB/FPC生产企业进行曝光作业，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种干膜抗蚀剂用感光树脂组合物。
技术介绍
自感光树脂组合物问世以来，感光树脂组合物已成为现代电子领域、特别是印刷电路板领域的重要材料。传统的曝光工艺使用掩膜版来进行图形转移，会造成5um左右的线路偏差。随着电子设备的高度集成化，对具有窄配线和窄间距图形的高度集成电路的需求不断增加。近年来，出现利用激光进行直接成像的技术，即无掩膜版曝光正在快速发展。但和通常的高压汞灯曝光相比，无掩膜版曝光的时间较长。另外，作为激光直接成像的光源多使用350-410nm的光谱，不同生产厂家的激光直接成像曝光机光源也不同，尤以i线(355nm)和h线(405nm)较多。专利CN201210568156报道了一种在405nm波长下的感光树脂组合物，该感光树脂组合物在405nm波长下具有较强的光敏性，具有较高的解析度及粘附力，但未涉及355nm波长下的光敏性。随着具有窄配线和窄间距图形的高度集成电路的需求不断增加，激光成像曝光机的生产厂家越来越多，对无掩膜版曝光用感光干膜的适用性提出了新的要求，即在两种不同波长下(355和405nm)都具有较高的光敏性，具有较高的解析度和粘附力，可形成高密度电路。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术的不足，提供一种感光树脂组合物，本专利技术具备优异的耐显影液性能，有利于提高线路附着力及解析度，且具有优异的去膜特性，有助于提升生产效率。本专利技术的感光树脂组合物在355nm和405nm都具有较强的光敏性，可在这两种波长下使用激光直接成像曝光机进行曝光。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种感光树脂组合物，它包括碱可溶性聚合物、具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物和光引发剂；其中，所述碱可溶性聚合物的质量含量为40-70％，所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物的质量含量为20-50％，所述光引发剂的质量含量为0.5-20％。进一步地，所述本专利技术的碱可溶性聚合物是(甲基)丙烯酸和(甲基)丙烯酸酯的共聚物；其中，(甲基)丙烯酸包括丙烯酸和甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酸酯选自丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯、甲基丙烯酸羟丙酯，丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、甲基丙烯酸十二烷基酯、丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异冰片酯。进一步地，所述碱可溶性聚合物酸值为140-163mgKOH/g，数均分子量为50000-150000g/mol，玻璃化转变温度为90-140℃。进一步地，所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物包含新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯：其中，n为0-5之间的正整数，R为H或CH3。所述新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯的质量为感光树脂组合物总质量的5-15％。进一步地，n优选为2-4之间的正整数；所述新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯的质量优选为为感光树脂组合物总质量的7-11％。进一步地，所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物还包含单官能团化合物、双官能团化合物和多官能团化合物中的一种或多种，其中，单官能团化合物包括丙烯酸月桂酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸四氢呋喃甲酯、丙烯酸二噁茂酯；双官能团化合物为聚乙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二丙烯酸酸脂、1，6-己二醇二丙烯酸酯；多官能团化合物包括三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧基化三羟基甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧化甘油三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、含氨基甲酸的多官能团(甲基)丙烯酸酯。进一步地，所述光引发剂包含苯甲双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦：所述苯甲双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦的质量为感光树脂组合物总质量的0.5-2％。进一步地，所述光引发剂还包括光聚合引发剂，所述光聚合引发剂选自苯偶姻双甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻丙基醚、苯偶姻苯基醚、噻吨酮、2-氯噻吨酮、4-氯噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、二苯甲酮、4，4’-双(二甲氨基)二苯甲酮(米氏酮)、4，4’-双(二乙氨基)二苯甲酮、异丙基硫杂蒽酮、2-氯硫杂蒽酮、2，4-二乙基硫杂蒽酮、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、N，N-二甲基苯甲酸乙酯、苯甲酸二甲氨基乙酯、N，N-二甲基乙醇胺、2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-二咪唑、2，2’-双(2-溴-5-甲氧基苯)-4，4’，5，5’-四苯基二咪唑、2，2’-双(2，4-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基二咪唑、苯甲双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦和四乙基米氏酮的按重量比3:2组成的混合物。进一步地，所述光聚合引发剂优选由苯甲双(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦和四乙基米氏酮的按重量比3:2组成的混合物。本专利技术的有益效果是，1、本专利技术的感光树脂组合物在355、405nm处都具有较强的光敏性，可使用激光直接成像曝光机在较低的曝光能量下进行曝光，更利于PCB/FPC生产企业进行曝光作业，提高生产效率。2、本专利技术所包含的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯有利于提升耐化学性，有效避免“电镀夹膜”现象，从而形成更高解析度的线路，优异的剥膜特性有助于缩短生产时间，提升生产效率。具体实施方式以下进一步详细阐述本专利技术。本专利技术的碱可溶性聚合物是(甲基)丙烯酸和(甲基)丙烯酸酯的共聚物。(甲基)丙烯酸包括丙烯酸和甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酸酯选自丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯、甲基丙烯酸羟丙酯，丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、甲基丙烯酸十二烷基酯、丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异冰片酯。考虑到感光树脂组合物的显影性及机械强度，本专利技术的碱可溶性聚合物酸值为140-163mgKOH/g，数均分子量为50000-150000g/mol，玻璃化转变温度为90-140℃的线性高分子，在感光树脂组合物中的含量为40-70重量％。本专利技术的具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物包含新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯，提升了感光树脂组合物对显影液的耐化学性能，进而提高线路密着程度和解析度，并具有优异的固化膜剥离特性。在本专利技术中，包含新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯含量为5-15重量％，优选7-11重量％。包含新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯的含量小于5重量％时，耐化学性提升效果较差；包含新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯的含量超过15重量％时，显影时间会急剧增加。除包含新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯外，本专利技术的具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物还包含以下单体：所述的单体既可以为单官能团化合物、双官能团化合物、多官能团化合物，其中单官能团化合物为丙烯酸月桂酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸四氢呋喃甲酯、丙烯酸二噁茂酯等；双官能团化合物为聚乙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二甲基丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二丙烯酸酸脂、1，6-己二醇二丙烯酸酯等；多官能团化合物可以是三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光树脂组合物，其特征在于，它包括碱可溶性聚合物、具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物和光引发剂等；其中，所述碱可溶性聚合物的质量含量为40‑70％，所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物的质量含量为20‑50％，所述光引发剂的质量含量为0.5‑20％。

【技术特征摘要】
1.一种感光树脂组合物，其特征在于，它包括碱可溶性聚合物、具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物和光引发剂等；其中，所述碱可溶性聚合物的质量含量为40-70％，所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物的质量含量为20-50％，所述光引发剂的质量含量为0.5-20％。2.根据权利要求1所述感光树脂组合物，其特征在于，所述本发明的碱可溶性聚合物是(甲基)丙烯酸和(甲基)丙烯酸酯的共聚物；其中，(甲基)丙烯酸包括丙烯酸和甲基丙烯酸，(甲基)丙烯酸酯选自丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯、甲基丙烯酸羟丙酯，丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、甲基丙烯酸十二烷基酯、丙烯酸异辛酯、甲基丙烯酸异冰片酯。3.根据权利要求2所述感光树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性聚合物酸值约为140-163mgKOH/g，数均分子量约为50000-150000g/mol，玻璃化转变温度约为90-140℃。4.根据权利要求1所述的感光树脂组合物，其特征在于，所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物包含新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯：其中，n为0-5之间的正整数，R为H或CH3。所述新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯的质量为感光树脂组合物总质量的5-15％。5.根据权利要求4所述的感光树脂组合物，其特征在于，n优选为2-4之间的正整数；所述新戊二醇单元的环三羟甲基丙烷缩甲醛(甲基)丙烯酸酯的质量优选为为感光树脂组合物总质量的7-11％。6.根据权利要求4所述的感光树脂组合物，其特征在于，所述具有乙烯基不饱和基团的可光聚合化合物还包含单官能团化合物、双官能团化合物和多官能团化合物中的一种或多种，其中，单官能团化合物包括丙烯酸月桂...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟杰，严晓慧，周光大，
申请(专利权)人：杭州福斯特光伏材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33